本实用新型属于硅片运输技术领域，公开了一种运输机构，包括移动部、承托部以及第一驱动部；该移动部的末端衔接于炉管的管口；该承托部用于承托小舟，该承托部滑动设置于该移动部，该小舟通过定位部固定于该承托部；该第一驱动部用于驱动该承托部进入该炉...

本实用新型公开了一种净化台及光伏薄膜沉积设备。该净化台内设置有固定杆和隔板，隔板安装在固定杆上，固定杆活动连接有踏板，踏板具有隐藏位置和展开位置，处于隐藏位置时踏板被隔板遮挡，处于展开位置时踏板的至少部分伸出隔板。通过使得踏板既能够运动...

本实用新型公开了一种真空密封门及真空炉，该真空密封门包括密封门板、压紧板、压紧模组和驱动模组，所述压紧板可滑动地设在真空炉的炉体上，压紧模组设在压紧板上且与密封门板相连，以驱动密封门板贴合或者脱离真空炉的外侧壁，驱动模组与压紧板相连，驱...

本发明公开了一种热炉炉体，该热炉炉体包括保温体、支撑装置和加热装置，支撑装置沿保温体的轴向方向延伸且与保温体连接，加热装置与保温体可拆卸连接。该热炉炉体的加热装置与保温体可拆卸连接，加热装置损坏时不需要更换整段保温体，只需要将加热装置从...

本发明属于炉体密封技术领域，公开了一种桨的安装结构及半导体加工炉。该桨的安装结构包括移动模组、桨套机构以及桨。移动模组包括导轨和至少两个紧固机构，两个该紧固机构滑动连接于该导轨；桨套机构包括桨套本体和多个桨角度调节组件，两个该紧固机构沿...

本实用新型公开了一种真空炉，该真空炉包括真空炉体和供气系统，真空炉体上设有压力检测器、进气口、抽真空口、排气口和自动安全阀组，抽真空口通过抽真空控制阀与抽真空设备相连，排气口设置有自动排气阀，进气口连接进气自动控制阀；供气系统包括储气罐...

本实用新型公开了一种放电机构及沉积设备，该放电机构包括绝缘杆、放电极板、极板绝缘套和限位件，放电极板为至少两个，放电极板套设在绝缘杆上，且至少两个放电极板间隔设置，极板绝缘套套设在绝缘杆上，且位于相邻的两个放电极板之间，极板绝缘套的外周...

本发明涉及耐高温复合材料领域，尤其涉及一种耐高温复合材料及其制备方法，包括以下步骤：(1)将纤维束编织得到纤维软管，纤维束为SiC纤维束和/或C纤维束和/或SiO2纤维束；(2)所述纤维软管经浸渍、交联，得到复合材料预制体；(3)所述复...

本发明公开了一种沉积组件及半导体装置，该沉积组件包括绝缘支撑件、电极板以及绝缘间隔套，电极板为至少两个，电极板套设在绝缘支撑件上，且至少两个电极板间隔设置，绝缘间隔套套设在绝缘支撑件上，且绝缘间隔套的两端分别止抵在相邻的两个电极板上，绝...

本实用新型属于绕丝成形技术领域，公开了一种绕丝张紧装置，包括绕丝机构、拉伸机构以及张紧机构；该绕丝机构包括绕丝杆，该绕丝杆被配置为绕置丝状样品；该拉伸机构用于拉伸绕过该绕丝杆的该丝状样品；该张紧机构包括张紧组件和调节组件，该张紧组件设在...

本实用新型提供一种用于扩散炉的进气结构，包括进气管，所述进气管设置在扩散炉的炉尾，所述进气管包括进口和出口，所述出口设置在炉尾的壁面上，并连通炉内；所述进气管包括至少一个用于通入小氧和BCl3气体的第一进气支管和至少一个用于通入大氧和大...

本实用新型公开了一种新型石英舟,包括挡板、固板、槽棒装置以及舟齿，槽棒装置连接挡板和固板，槽棒装置连接挡板和固板，槽棒装置包括若干槽棒，舟齿可拆卸设置在至少一根槽棒上，本实用新型将舟齿可拆卸连接在槽棒上，当舟齿出现损坏时，解除损坏舟齿与...

本实用新型公开了一种桨结构，包括桨头和桨体，桨头和桨体可拆卸连接，桨体包括至少一件分体桨，本实用新型中桨头和桨体设置为分体结构，一旦桨头或桨体发生损坏，无需更换整体，只要解除桨头与分体桨的连接关系，对损坏的部件进行更换，从而简化了部件更...

本发明公开了一种炉体结构及半导体装置，该炉体结构包括炉本体、加热组件和电极组件，炉本体具有容纳产品的容纳腔，加热组件设在容纳腔内，且为至少一个，每个加热组件包括多个并联设置的加热件，每个加热件为环形波浪结构，且每个加热件上具有缺口以使得...

本实用新型提供了一种绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置，所述绝缘支撑结构包括支撑主体和套体，所述支撑主体的一侧支撑侧开设有嵌合凹槽，另一侧支撑侧设置有嵌合凸起；所述套体套设所述支撑主体，所述套体和所述支撑主体之间设置有间隔件，所述间隔件用...

本实用新型公开了一种炉体结构及半导体装置，该炉体结构包括炉本体、加热组件和电极组件，炉本体具有容纳产品的容纳腔，加热组件设在容纳腔内，且为至少一个，每个加热组件包括多个并联设置的加热件，每个加热件为环形波浪结构，且每个加热件上具有缺口以...

本实用新型公开了一种绕丝机，该绕丝机包括绕丝杆、送丝模组、驱动模组和夹紧器，送丝模组用于朝向绕丝杆输送炉丝，驱动模组包括平移驱动组件和转动驱动组件，转动驱动组件与绕丝杆相连以驱动绕丝杆转动，平移驱动组件与送丝模组配合，以驱动送丝模组沿绕...

本实用新型属于炉丝加工设备技术领域，具体公开了一种绕丝机，该绕丝机包括机架、绕丝装置、调节装置和送丝装置，绕丝装置包括绕丝驱动模组和绕丝杆，绕丝杆的一端与绕丝驱动模组驱动连接，绕丝杆的另一端架设在调节装置上，通过绕丝驱动模组能够驱动绕丝...

本实用新型公开了一种恒温柜及半导体装置，该恒温柜包括柜体、半导体制冷片、第一散热器和第二散热器，柜体限定出恒温腔、控温通道和散热外腔，控温通道与恒温腔连通设置，散热外腔与外界环境连通，半导体制冷片设在柜体内，第一散热器设在半导体制冷片的...

本实用新型属于膜层沉积技术领域，公开了一种沉积处理装置，沉积处理装置包括炉体，炉体内设有进气板和抽气板，抽气板与进气板相对设置，以能够使基体设置于二者之间；进气板和抽气板上具有均匀分布的第一气孔，进气板和抽气板上还具有第二气孔，第二气孔...