真空密封门及真空炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空密封门及真空炉，该真空密封门包括密封门板、压紧板、压紧模组和驱动模组，所述压紧板可滑动地设在真空炉的炉体上，压紧模组设在压紧板上且与密封门板相连，以驱动密封门板贴合或者脱离真空炉的外侧壁，驱动模组与压紧板相连，驱动模组用于驱动压紧板滑动，以使密封门板封闭或者远离炉体的炉门口。该真空密封门在打开和关闭过程中真空密封圈的磨损较小，保证了真空密封门的密封效果，延长了真空密封门的使用寿命。延长了真空密封门的使用寿命。延长了真空密封门的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
真空密封门及真空炉


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种真空密封门及真空炉。

技术介绍

[0002]真空设备一般将炉体内部抽成真空后去完成工艺过程。工艺过程开始前和完成后，要打开炉门，向腔体内送入或取出元件，常规炉门为铰链式结构或平行四边形连杆结构，密封门在启闭过程中都有旋转运动，导致密封门上的密封圈和炉体的外侧壁之间有一个相对滑动的过程，密封圈表面因此可能被划伤，影响其密封性能，缩短使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术的第一个目的在于提出一种真空密封门，该真空密封门在打开和关闭过程中真空密封圈受到的磨损较小，保证了真空密封门的密封效果，延长了真空密封门的使用寿命。
[0004]本使用新型的第二个目的在于提出一种真空炉，该真空炉的空密封门的密封效果较好，且真空炉的工作寿命较长。
[0005]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0006]本技术公开了一种真空密封门，所述真空密封门包括：密封门板；压紧板，所述压紧板可滑动地设在所述真空炉的炉体上；压紧模组，所述压紧模组设在所述压紧板上且与所述密封门板相连，以驱动所述密封门板贴合或者脱离所述真空炉的外侧壁；驱动模组，所述驱动模组与所述压紧板相连，所述驱动模组用于驱动所述压紧板滑动，以使所述密封门板封闭或者远离所述炉体的炉门口。
[0007]在一些实施例中，所述驱动模组包括驱动源和驱动滑块，所述驱动滑块与所述压紧板相连，且与所述驱动源传动配合。
[0008]在一些具体的实施例中，所述真空密封门还包括两个限位模组，两个所述限位模组间隔设在所述炉体上，所述限位模组用于限制所述驱动滑块。
[0009]在一些具体的实施例中，每个所述限位模组包括：限位驱动件，所述限位驱动件设在所述炉体上；限位件，所述限位件连接在所述限位驱动件的动力输出端，所述限位件能够插入所述驱动滑块上的限位槽内；限位开关，所述限位开关设在所述炉体上，所述限位开关能够检测所述驱动滑块的位置；其中：所述限位开关检测到所述驱动滑块时，所述限位驱动件驱动所述限位件运动以将所述限位件插入所述限位槽内。
[0010]在一些具体的实施例中，所述限位模组还包括止挡件，所述止挡件设在所述炉体上，所述止挡件用于止挡所述驱动滑块。
[0011]在一些实施例中，所所述压紧模组包括：压紧驱动组件，所述压紧驱动组件连接在所述压紧板上，所述压紧驱动组件用于驱动所述密封门板运动以将所述密封门板压紧在所述炉体的外侧壁上；弹性组件，所述弹性组件的一端与所述密封门板相连，另一端穿设在所述压紧板上，所述弹性组件用于驱动所述密封门板脱离所述炉体的外侧壁上。
[0012]在一些具体的实施例中，所述压紧驱动组件包括：压紧气缸，所述压紧气缸连接在所述压紧板上；压紧块，所述压紧块连接在所述压紧气缸的活塞杆上；气缸减震件，所述气缸减震件设在所述压紧气缸的缸体上。
[0013]在一些具体的实施例中，所述压紧板上设有安装孔，所述安装孔为台阶孔，所述弹性组件包括：连接杆，所述连接杆的一端与所述密封门板相连，另一端穿出所述安装孔；弹性件，所述弹性件套设在所述连接杆上，且一端止抵在所述安装孔的台阶面上；弹性套，所述弹性套连接在所述连接杆穿出所述安装孔的一端，且所述弹性件的另一端连接在所述弹性套上；直线轴承，所述直线轴承穿设在所述安装孔内且套设在所述连接杆上。
[0014]在一些实施例中，所述密封门板上设有观察孔，所述观察孔为台阶孔；所述真空密封门还包括配合在所述观察孔内的视窗模组，所述视窗模组包括：透镜，所述透镜配合在所述观察孔内以封闭所述观察孔；压盖，所述压盖连接在所述密封门板上以压紧所述透镜；减震垫，所述减震垫夹设在所述压盖与所述透镜之间，以及所述透镜与所述观察孔的台阶面之间；密封件，所述密封件夹设在所述透镜与所述密封门板之间。
[0015]本技术还公开了一种真空炉，包括炉体和前文所述的真空密封门，所述炉体上设有炉门口，所述真空密封门能够打开或者封闭所述炉门口。
[0016]本技术的真空密封门的有益效果：在实际工作过程中，驱动模组能够驱动密封门板在封闭炉体的炉门口的第一位置和远离炉体的炉门口的第二位置之间往复运动，在由第一位置运动到第二位置时，首先压紧模组先驱动密封门板脱离炉体，然后驱动模组驱动压紧板运动，从而带动密封门板由第二位置运动到第一位置，在由第二位置运动到第一位置时，驱动模组驱动压紧板运动，带动密封门板由第二位置运动到第一位置，然后压紧模组先驱动密封门板贴合在炉体上。由此，在密封门板打开或者封闭炉门口时，密封圈受到的磨损较小，保证了真空密封门的密封效果，延长了真空密封门的使用寿命。
[0017]本技术的真空炉的有益效果：由于具有前文所述的真空密封门，该真空炉的空密封门的密封效果较好，且真空炉的工作寿命较长。
[0018]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例的真空密封门的结构示意图；
[0020]图2是本技术实施例的真空密封门的另一个方向的结构示意图；
[0021]图3是本技术实施例的真空密封门的压紧板与压紧模组的配合示意图；
[0022]图4是本技术实施例的真空密封门的压紧驱动组件与密封门板配合结构的剖面示意图；
[0023]图5是本技术实施例的真空密封门的压紧驱动组件的压紧块的结构示意图；
[0024]图6是本技术实施例的真空密封门的弹性组件与密封门板配合结构的剖面示意图；
[0025]图7是本技术实施例的真空密封门的驱动模组和限位模组的配合结构示意图；
[0026]图8是本技术实施例的真空密封门的视窗模组与密封门板配合结构的剖面示
意图；
[0027]图9是本技术实施例的真空炉的局部结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]1、密封门板；11、观察孔；
[0030]2、压紧板；21、安装孔；22、配合槽；
[0031]3、压紧模组；31、压紧驱动组件；311、压紧气缸；312、压紧块；3121、定位销；313、气缸减震件；32、弹性组件；321、连接杆；322、弹性件；323、弹性套；324、直线轴承；
[0032]4、驱动模组；41、驱动源；42、驱动滑块；421、限位槽；
[0033]5、限位模组；51、限位驱动件；52、限位件；521、限位板；522、限位滚轮；53、限位开关；54、止挡件；
[0034]6、视窗模组；61、透镜；62、压盖；63、减震垫；64、密封件；
[0035]7、导向模组；71、导向滑轨；72、导向滑块；
[0036]8、真空密封圈；
[0037]100、炉体；110、炉门口；120、真空抽取口；130、真空解除口。
具体实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空密封门，其特征在于，所述真空密封门包括：密封门板(1)；压紧板(2)，所述压紧板(2)可滑动地设在真空炉的炉体(100)上；压紧模组(3)，所述压紧模组(3)设在所述压紧板(2)上且与所述密封门板(1)相连，以驱动所述密封门板(1)贴合或者脱离所述炉体(100)的外侧壁；驱动模组(4)，所述驱动模组(4)与所述压紧板(2)相连，所述驱动模组(4)用于驱动所述压紧板(2)滑动，以使所述密封门板(1)封闭或者远离所述炉体(100)的炉门口(110)。2.根据权利要求1所述的真空密封门，其特征在于，所述驱动模组(4)包括驱动源(41)和驱动滑块(42)，所述驱动滑块(42)与所述压紧板(2)相连，且与所述驱动源(41)传动配合。3.根据权利要求2所述的真空密封门，其特征在于，所述真空密封门还包括两个限位模组(5)，两个所述限位模组(5)间隔设在所述炉体(100)上，所述限位模组(5)用于限制所述驱动滑块(42)。4.根据权利要求3所述的真空密封门，其特征在于，每个所述限位模组(5)包括：限位驱动件(51)，所述限位驱动件(51)设在所述炉体(100)上；限位件(52)，所述限位件(52)连接在所述限位驱动件(51)的动力输出端，所述限位件(52)能够插入所述驱动滑块(42)上的限位槽(421)内；限位开关(53)，所述限位开关(53)设在所述炉体(100)上，所述限位开关(53)能够检测所述驱动滑块(42)的位置；其中：所述限位开关(53)检测到所述驱动滑块(42)时，所述限位驱动件(51)驱动所述限位件(52)运动以将所述限位件(52)插入所述限位槽(421)内。5.根据权利要求4所述的真空密封门，其特征在于，所述限位模组(5)还包括止挡件(54)，所述止挡件(54)设在所述炉体(100)上，所述止挡件(54)用于止挡所述驱动滑块(42)。6.根据权利要求1
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5中任一项所述的真空密封门，其特征在于，所述压紧模组(3)包括：压紧驱动组件(31)，所述压紧驱动组件(31)连接在所述压紧板(2)上，所述压紧驱动组件(31)用于驱动所述密封门板(1)运动以将所述密封门板(1)压紧在所述炉体(100)的外侧壁上；弹性组件(32)，所述弹性组件(32)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：