放电机构及沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种放电机构及沉积设备，该放电机构包括绝缘杆、放电极板、极板绝缘套和限位件，放电极板为至少两个，放电极板套设在绝缘杆上，且至少两个放电极板间隔设置，极板绝缘套套设在绝缘杆上，且位于相邻的两个放电极板之间，极板绝缘套的外周壁上设有沉积槽，限位件成对设置，至少两个放电极板设在成对设置的两个限位件之间。该放电机构能够较好地避免相对设置的放电极板导通的现象发生，避免放电极板短路的现象发生，从而确保等离子稳定生产以确保产品镀膜效果。定生产以确保产品镀膜效果。定生产以确保产品镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
放电机构及沉积设备


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种放电机构及沉积设备。

技术介绍

[0002]半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如太阳能电池片，将片状材料送入反应腔室中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来给片状材料镀膜，因此需要用到PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积)加工设备。
[0003]放电装置作为PECVD加工设备的主要部分，通过绝缘杆在反应腔室内部对片状材料进行间隔、支撑，通过向放电装置的相对设置的放电极板加载电力进行电离以形成等离子体，等离子体参与反应后生成薄膜(如具备导电性的氮化硅)，薄膜附着于待镀膜的产品上。此时，如果薄膜附着于绝缘杆上，导致相对设置放电极板连通就会出现放电极板短接的现象，则可能会导致等离子体形成不良现象，例如薄膜在片状材料部分区域形成彩虹片、膜厚相差大等不良附着效果。

技术实现思路

[0004]本技术的第一个目的在于提出一种放电机构，该放电机构能够较好地避免相对设置的放电极板导通的现象发生，避免放电极板短路的现象发生，从而确保等离子稳定生产以确保产品镀膜效果。
[0005]本技术的第二个目的在于提出一种沉积设备，该沉积设备的工作可靠性较好，能够较好地避免放电机构出现放电极板短路的现象，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
[0006]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0007]本技术公开了一种放电机构，该放电机构包括：绝缘杆；放电极板，所述放电极板为至少两个，所述放电极板套设在所述绝缘杆上，且至少两个所述放电极板间隔设置；极板绝缘套，所述极板绝缘套套设在所述绝缘杆上，且位于相邻的两个所述放电极板之间，所述极板绝缘套的外周壁上设有沉积槽；限位件，所述限位件成对设置，至少两个所述放电极板设在成对设置的两个所述限位件之间。
[0008]在一些实施例中，所述限位件包括插接在所述绝缘杆上的销钉或者套设在所述绝缘杆上的挡圈。
[0009]在一些实施例中，所述极板绝缘套包括：第一绝缘套筒，所述第一绝缘套筒套设在所述绝缘杆上；第二绝缘套筒，所述第二绝缘套筒与所述第一绝缘套筒螺纹配合，且所述第二绝缘套筒能够止抵在所述放电极板上。
[0010]在一些具体的实施例中，所述第二绝缘套筒具有缺口，所述第一绝缘套筒能够从所述缺口插入所述第二绝缘套筒内。
[0011]在一些具体的实施例中，所述第二绝缘套筒上设有锁定孔，所述第二绝缘套筒通过穿设在所述锁定孔内的锁紧件锁死在所述第一绝缘套筒上。
[0012]在一些具体的实施例中，所述第二绝缘套筒上与所述第一绝缘套筒配合的一端设有环绕所述第一绝缘套筒设置的环形槽。
[0013]在一些实施例中，所述极板绝缘套包括套设在所述绝缘杆上的绝缘螺纹件，所述绝缘螺纹件的外周面具有外螺纹，所述外螺纹构成所述沉积槽。
[0014]本技术还公开了一种沉积设备，包括前文所述的放电机构。
[0015]本技术的放电机构的有益效果：在实际工作过程中，由于极板绝缘套的外周壁上设有沉积槽，在放电机构实际工作过程中，沉积物会沉积到沉积槽的波谷(最低处)，避免了极板绝缘套上出现连续沉积镀膜导致两个放电极板导通的现象发生，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
[0016]本技术的沉积设备的有益效果：由于具有前文所述的放电机构，该沉积设备的工作可靠性较好，能够较好地避免放电机构出现放电极板短路的现象，从而确保产品镀膜效果，提升产品制造良率。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例的放电机构的剖面结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例的第一种极板绝缘套的结构示意图；
[0020]图3是本技术实施例的第二种极板绝缘套的分解结构示意图；
[0021]图4是图3所示的极板绝缘套的第二种第二绝缘套筒的结构示意图；
[0022]图5是图3所示的极板绝缘套的第三种第二绝缘套筒的结构示意图；
[0023]图6是图3所示的极板绝缘套的第四种第二绝缘套筒的结构示意图；
[0024]图7是本技术实施例的第三种极板绝缘套的分解结构示意图；
[0025]图8是图7所示的极板绝缘套的第二种第二绝缘套筒的结构示意图；
[0026]图9是图7所示的极板绝缘套的第三种第二绝缘套筒的结构示意图；
[0027]图10是图7所示的极板绝缘套的第四种第二绝缘套筒的结构示意图；
[0028]图11是本技术实施例的第四种极板绝缘套的分解结构示意图；
[0029]图12是本技术实施例的第五种极板绝缘套的分解结构示意图；
[0030]图13是本技术实施例的第六种极板绝缘套的分解结构示意图。
[0031]附图标记：
[0032]1、绝缘杆；
[0033]2、放电极板；
[0034]3、极板绝缘套；301、沉积槽；31、绝缘螺纹件；32、第一绝缘套筒；33、第二绝缘套筒；331、缺口；332、锁定孔；333、环形槽。
具体实施方式
[0035]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0036]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0037]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0038]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0039]下面参考图1
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图13描述本技术实施例的放电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.放电机构，其特征在于，包括：绝缘杆(1)；放电极板(2)，所述放电极板(2)为至少两个，所述放电极板(2)套设在所述绝缘杆(1)上，且至少两个所述放电极板(2)间隔设置；极板绝缘套(3)，所述极板绝缘套(3)套设在所述绝缘杆(1)上，且位于相邻的两个所述放电极板(2)之间，所述极板绝缘套(3)的外周壁上设有沉积槽(301)；限位件，所述限位件成对设置，至少两个所述放电极板(2)设在成对设置的两个所述限位件之间。2.根据权利要求1所述的放电机构，其特征在于，所述限位件包括插接在所述绝缘杆(1)上的销钉或者套设在所述绝缘杆(1)上的挡圈。3.根据权利要求1所述的放电机构，其特征在于，所述极板绝缘套(3)包括：第一绝缘套筒(32)，所述第一绝缘套筒(32)套设在所述绝缘杆(1)上；第二绝缘套筒(33)，所述第二绝缘套筒(33)的一端止抵在所述放电极板(2)上，另一端与所述第一绝缘套筒(32)配合；其中，所述第一绝缘套筒(32)和/或所述第二绝缘套筒(33)的外侧壁设有所述沉积槽(301)。4.根据权利要求3所述的放电机构，其特征在于，所述第二绝缘套筒(33)具有缺口(331)，所述第二绝缘套筒(33)通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：