热炉炉体制造技术

本发明专利技术公开了一种热炉炉体，该热炉炉体包括保温体、支撑装置和加热装置，支撑装置沿保温体的轴向方向延伸且与保温体连接，加热装置与保温体可拆卸连接。该热炉炉体的加热装置与保温体可拆卸连接，加热装置损坏时不需要更换整段保温体，只需要将加热装置从保温体上拆下更换即可，提升了更换效率和维修效率。提升了更换效率和维修效率。提升了更换效率和维修效率。

【技术实现步骤摘要】
热炉炉体


[0001]本专利技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种热炉炉体。

技术介绍

[0002]高温热炉是半导体制造
的常用设备，目前的高温热炉一般采用通电螺旋加热丝在高温热炉的炉体内形成高温热场，为了确保高温热场的稳定性，高温热炉的炉体通常具有保温体，而螺旋加热丝安装在保温体上的安装槽内。在实际生产制造中，一般用吸覆成形技术，把螺旋加热丝与保温体做成一个整体，这种结构需要将制造保温体的模具覆盖在螺旋加热丝上并且固定，此固定方式需要的时间相当长，很浪费时间，降低了热炉炉体的组装效率，并且当螺旋加热丝损坏后，由于保温体和螺旋加热丝为一体式结构，很难更换螺旋加热丝。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提出一种热炉炉体，该热炉炉体的加热装置与保温体可拆卸连接，在提升热炉炉体的组装效率的同时还能够方便加热装置更换。
[0004]为实现上述技术效果，本专利技术的技术方案如下：
[0005]本专利技术公开了热炉炉体，包括：保温体；支撑装置，所述支撑装置沿所述保温体的轴向方向延伸且与所述保温体连接；加热装置，所述加热装置与所述保温体可拆卸连接。
[0006]在一些实施例中，所述支撑装置为支架，所述保温体沿其轴向的一端设置第一固定环，所述第一固定环上设有第一固定部，所述支架与所述第一固定部配合。
[0007]在一些具体的实施例中，每个所述支架包括支杆和卡接块，所述支杆的一端与所述第一固定部配合，所述卡接块与所述支杆相连，且所述卡接块上设有卡槽，所述卡槽卡接所述加热装置。
[0008]在一些更具体的实施例中，所述卡接块包括套筒部和卡接部，所述套筒部套设于所述支杆，所述卡接部具有所述卡槽。
[0009]在一些更具体的实施例中，所述卡槽包括开口部和限位部，所述螺旋加热丝能够从所述开口部卡入所述卡接块以使所述加热装置配合于所述限位部。
[0010]在一些具体的实施例中，所述支架为支撑管，所述保温体沿其轴向的另一端设置第二固定环，所述第二固定环上设有第二固定部，所述支架的另一端与所述第二固定部配合，所述加热装置沿所述保温体的轴向螺旋延伸设置且所述加热装置套设于所述支架。
[0011]在一些更具体的实施例中，所述第一固定环与所述第二固定环中的至少一个为法兰盘，所述法兰盘与所述保温体相连，所述第一固定部和所述第二固定部为所述法兰盘的法兰孔。
[0012]在一些实施例中，所述加热装置为螺旋加热丝。
[0013]在一些具体的实施例中，所述螺旋加热丝为多个，且沿所述保温体的周向设置，每个所述螺旋加热丝沿所述保温体的轴向螺旋延伸设置。
[0014]在一些更具体的实施例中，所述支撑装置为多个，且每个所述螺旋加热丝套设在一个所述支撑装置上。
[0015]在一些具体的实施例中，多个所述螺旋加热丝沿所述保温体的轴向设置，每个所述螺旋加热丝沿所述保温体的周向螺旋延伸设置。
[0016]在一些更具体的实施例中，所述支撑装置为多个，且沿所述保温体的周向设置，在同一个圆周面上，多个所述支撑装置与一个所述螺旋加热丝相连。
[0017]在一些实施例中，所述保温体包括一体成型的保温筒体或者多段连接的保温筒体。
[0018]本专利技术的高温热炉的有益效果：由于加热装置与保温体可拆卸连接，加热装置与保温层之间没有刚性连接或直接连接，使得保温体可以制造为标准件，不需要根据实际的加热装置数量以及安装位置特殊化定制，在降低保温体的制造成本以及提高加工效率的同时还能够使得保温体具有通用性，方便热炉炉体组装。与此同时，由于加热装置直接安装在支撑装置上，在加热装置安装完成后，加热装置与保温体的接触面积非常小，相比于现有技术中加热装置有至少一半的结构隐藏在保温体的凹槽内，本专利技术的加热装置的表面积利用率更高，使得热炉炉体内的热场的温度变化更快，也就是说热炉炉体内的热场可以更快的升温或者降温至指定温度，从而有利于提升生产效率；由于加热装置与所述支撑装置可拆卸连接，加热装置损坏后不需要连同整段保温层都进行更换，只需要将损坏的加热装置拆下来更换。
[0019]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0020]图1是本专利技术实施例一的热炉炉体的结构示意图；
[0021]图2是本专利技术实施例一的支架与螺旋加热丝的配合结构示意图；
[0022]图3是本专利技术实施例一的支架的结构示意图。
[0023]图4是本专利技术实施例二的热炉炉体的结构示意图；
[0024]图5是本专利技术实施例二的热炉炉体的分解结构示意图；
[0025]图6是本专利技术实施例二的热炉炉体的剖视图；
[0026]图7是本专利技术实施例二的另一种保温体的结构；
[0027]图8是本专利技术实施例二的再一种保温体的结构；
[0028]附图标记：
[0029]1、保温体；11、第一固定环；111、第一固定部；12、保温筒体；13、法兰盘；14、第二固定环；141、第二固定部；
[0030]2、支架；21、支杆；22、卡接块；221、套筒部；222、卡接部；2221、卡槽；22211、开口部；22212、限位部；3、螺旋加热丝。
具体实施方式
[0031]为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0032]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0033]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0034]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0035]下面参考图1
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图8描述本专利技术实施例的热炉炉体的具体结构。
[0036]本专利技术公开了一种热炉炉体，如图1及图6所示，本实施例的热炉炉体包括保温体1、支撑装置和加热装置，支撑装置包括沿保温体1的周向间隔设置的多个，且每个支撑装置沿保温体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.热炉炉体，其特征在于，包括：保温体(1)；支撑装置，所述支撑装置沿所述保温体(1)的轴向方向延伸且与所述保温体(1)连接；加热装置(3)，所述加热装置(3)与所述保温体(1)可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的热炉炉体，其特征在于，所述支撑装置包括支架(2)，所述保温体(1)沿其轴向的一端设置第一固定环(11)，所述第一固定环(11)上设有第一固定部(111)，所述支架(2)与所述第一固定部(111)配合。3.根据权利要求2所述的热炉炉体，其特征在于，每个所述支架(2)包括支杆(21)和卡接块(22)，所述支杆(21)的一端与所述第一固定部(111)配合，所述卡接块(22)与所述支杆(21)相连，且所述卡接块(22)上设有卡槽(2221)，所述卡槽(2221)卡接所述加热装置。4.根据权利要求3所述的热炉炉体，其特征在于，所述卡接块(22)包括套筒部(221)和卡接部(222)，所述套筒部(221)套设于所述支杆(21)，所述卡接部(222)具有所述卡槽(2221)。5.根据权利要求3所述的热炉炉体，其特征在于，所述卡槽(2221)包括开口部(22211)和限位部(22212)，所述加热装置能够从所述开口部(22211)卡入所述卡接块(22)以使所述加热装置配合于所述限位部(22212)。6.根据权利要求2所述的热炉炉体，其特征在于，所述支架(2)为支撑管，所述保温体(1)沿其轴向的另一端设置第二固定环(14)，所述第二固定环(14)上设有第二固定部(141)，所述支架...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭永胜，庞爱锁，刘群，林佳继，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：