真空炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空炉，该真空炉包括真空炉体和供气系统，真空炉体上设有压力检测器、进气口、抽真空口、排气口和自动安全阀组，抽真空口通过抽真空控制阀与抽真空设备相连，排气口设置有自动排气阀，进气口连接进气自动控制阀；供气系统包括储气罐和供气阀组，储气罐的出口通过供气阀组与进气自动控制阀相连。该真空炉能够及时控制真空炉体内的压力，减小真空炉体内的压力波动范围，且能够较好地满足不同制品对真空炉体内的压力的需求。好地满足不同制品对真空炉体内的压力的需求。好地满足不同制品对真空炉体内的压力的需求。

【技术实现步骤摘要】
真空炉


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种真空炉。

技术介绍

[0002]在真空气压炉上安装机械式压力控制阀，炉内压力的变化达到设定值时自动启闭控制阀，实现炉内压力的控制。这种结构的缺点就是阀门灵敏度低，炉内压力的变化和阀门的启闭中间有一段响应时间，阀门工作压力的设定比较困难而且耗时，不易满足不同制品对炉内压力调整的要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种真空炉，该真空炉能够及时控制真空炉体内的压力，减小真空炉体内的压力波动范围，且能够较好地满足不同制品对真空炉体内的压力的需求。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]本技术公开了一种真空炉，包括真空炉体和供气系统，所述真空炉体上设有压力检测器、进气口、抽真空口、排气口和自动安全阀组，所述抽真空口通过抽真空控制阀与抽真空设备相连，所述排气口设置有自动排气阀，所述进气口连接进气自动控制阀；所述供气系统包括储气罐和供气阀组，所述储气罐的出口通过所述供气阀组与所述进气自动控制阀相连。
[0006]在一些实施例中，所述自动安全阀组包括至少一个设在所述真空炉体上的自动泄压阀。
[0007]在一些实施例中，所述真空炉体还包括爆破安全装置，所述爆破安全装置设在所述真空炉体上，所述爆破安全装置的爆破压力大于所述自动安全阀组的开启压力。
[0008]在一些具体的实施例中，所述真空炉体上设有安装座，所述安装座上设有与所述真空炉体内部连通的连通口，所述爆破安全装置包括支撑座和爆破片，所述支撑座设在所述安装座上，所述爆破片安装在所述支撑座上以封闭所述连通口。
[0009]在一些实施例中，所述进气自动控制阀具有多个进气口，所述供气系统为多个，多个所述供气系统分别与多个所述进气口连通。
[0010]在一些实施例中，所述供气阀组包括依次连接的截止阀和减压阀，所述截止阀与所述储气罐的出口相连，所述减压阀与所述截止阀的出口相连。
[0011]在一些具体的实施例中，所述供气阀组还包括流量调节阀，所述流量调节阀设在所述减压阀与所述进气自动控制阀之间。
[0012]在一些更具体的实施例中，所述供气阀组还包括流量计，所述流量计设在所述流量调节阀与所述进气自动控制阀之间。
[0013]在一些实施例中，所述储气罐上设有压力开关。
[0014]在一些实施例中，所述真空炉体上设有多个阀座，所述阀座用于安装所述自动安
全阀组、所述抽真空控制阀、所述进气自动控制阀以及所述自动排气阀。
[0015]本技术的真空炉的有益效果：在实际工作过程中，根据压力检测器的检测结果，进气自动控制阀、自动排气阀和自动安全阀组能够快速实现不同的启闭状态，维持炉内压力在指定的范围之间，从而减小真空炉体内压力的波动值。并且通过设置进气自动控制阀、自动排气阀和自动安全阀组的启闭压力，能够可以获得不同范围的真空炉体内压力，满足不同制品对空炉体内压力的不同要求。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例的真空炉体的结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例的真空炉体与供气系统的连接示意图。
[0019]附图标记：
[0020]1、真空炉体；11、压力检测器；12、进气口；13、抽真空口；14、排气口；15、自动泄压阀；16、安装座；17、阀座；
[0021]2、抽真空控制阀；3、自动排气阀；4、进气自动控制阀；
[0022]5、供气系统；51、储气罐；511、压力开关；52、供气阀组；521、截止阀；522、减压阀；523、流量调节阀；
[0023]6、爆破安全装置。
具体实施方式
[0024]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]下面参考图1
‑
图2描述本技术实施例的真空炉的具体结构。
[0029]本技术公开了一种真空炉，如图1
‑
图2所示，本实施例的真空炉包括真空炉体
1和供气系统5，真空炉体1上设有压力检测器11、进气口12、抽真空口13、排气口14和自动安全阀组，抽真空口13通过抽真空控制阀2与抽真空设备相连，排气口14设置有自动排气阀3，进气口12连接进气自动控制阀4；供气系统5包括储气罐51和供气阀组52，储气罐51的出口通过供气阀组52与进气自动控制阀4相连。
[0030]可以理解的是，可以设置进气自动控制阀4的关闭压力为P1，自动排气阀3的开启压力为P2，自动安全阀组的开启压力为P3,P3大于P2，P2大于P1。由此，在实际工作过程中，首先关闭真空炉体1的炉门，开启抽真空控制阀2，将真空炉体1内的气压抽取到0.1Pa～0.5Pa(具体可以根据实际需要选择，此处数据仅仅为了方便说明)。开启自动控制阀组，真空炉体1开始工作时，压力检测器11能够实时检测真空炉体1内的压力，具体情况存在以下几种：
[0031]第一：当真空炉体1内的压力小于P1时，进气自动控制阀4自动打开，气体按设定的工艺流进真空炉体1内；
[0032]第二：当真空炉体1内的压力大于P1小于P2时，进气自动控制阀4自动关闭；
[0033]第三：当真空炉体1内的压力大于P2时，自动排气阀3打开，气体从真空炉体1内的排出，真空炉体1内的压力下降。泄压使得真空炉体1内的压力小于P2后，自动排气阀3关闭；
[0034]第四：当真空炉体1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空炉，其特征在于，包括真空炉体(1)和供气系统(5)，所述真空炉体(1)上设有压力检测器(11)、进气口(12)、抽真空口(13)、排气口(14)和自动安全阀组，所述抽真空口(13)通过抽真空控制阀(2)与抽真空设备相连，所述排气口(14)设置有自动排气阀(3)，所述进气口(12)连接进气自动控制阀(4)；所述供气系统(5)包括储气罐(51)和供气阀组(52)，所述储气罐(51)的出口通过所述供气阀组(52)与所述进气自动控制阀(4)相连。2.根据权利要求1所述的真空炉，其特征在于，所述自动安全阀组包括至少一个设在所述真空炉体(1)上的自动泄压阀(15)。3.根据权利要求1所述的真空炉，其特征在于，所述真空炉体(1)还包括爆破安全装置(6)，所述爆破安全装置(6)设在所述真空炉体(1)上，所述爆破安全装置(6)的爆破压力大于所述自动安全阀组的开启压力。4.根据权利要求3所述的真空炉，其特征在于，所述真空炉体(1)上设有安装座(16)，所述安装座(16)上设有与所述真空炉体(1)内部连通的连通口，所述爆破安全装置(6)包括支撑座和爆破片，所述支撑座设在所述安装座(16)上，所述爆破片安装在所述支撑座上以封闭所述连通口。5.根据权利要求1所述的真空炉，...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：