本实用新型专利技术公开了一种真空炉在线实时测温装置，包括安装底座、升降杆和升降弹簧，所述升降杆顶部设置有测温探头，所述升降弹簧套设在升降杆上，所述升降杆活动设置在安装底座上，当所述升降杆顶部受力向下移动时，所述升降弹簧被压缩，当所述升降杆顶部的压力减小时，所述升降弹簧能恢复初始状态，并带动所述升降杆向上运动；能够对升降中的工件及不同尺寸的工件进行精确测温。寸的工件进行精确测温。寸的工件进行精确测温。
【技术实现步骤摘要】
一种真空炉在线实时测温装置
[0001]本技术涉及温度检测
，尤其涉及一种真空炉在线实时测温装置。
技术介绍
[0002]真空炉，即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分气体排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态。
[0003]真空炉在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接，炉膛真空度可达133
×
(10
‑
2～10
‑
4)Pa，炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热，最高温度可达600℃左右，主要用于半导体基板与芯片、芯片与引线框架等的精密封装焊接。
[0004]真空炉在半导体封装焊接过程种对温度的过程控制要求非常高，其内部温度的控制与生产出的产品质量息息相关，因此，对高温真空炉的炉温测量、监控是控制产品质量的重要手段。
[0005]现在真空炉测温装置主要采用两种方式，第一种方式是测温仪在真空炉外，将测温线通过真空炉的密封门胶圈送入真空炉内，利用密封胶圈压紧的方式保持真空炉真空度，第二种方式是使用随炉测温记录仪，将测温仪直接放在真空炉内测温；而两种方式中的测温仪均无法对移动中进行升降的工件，也无法对不同尺寸的工件进行精确测温。
技术实现思路
[0006]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种能够对升降中的工件及不同尺寸的工件进行精确测温的真空炉在线实时测温装置。
[0007]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种真空炉在线实时测温装置，包括安装底座、升降杆和升降弹簧，所述升降杆顶部设置有测温探头，所述升降弹簧套设在升降杆上，所述升降杆活动设置在安装底座上，当所述升降杆顶部受力向下移动时，所述升降弹簧被压缩，当所述升降杆顶部的压力减小时，所述升降弹簧能恢复初始状态，并带动所述升降杆向上运动。
[0008]进一步地，所述安装底座由一体成型的安装部和限位部组成，所述安装部和限位部的轴线重合，所述安装部与加热板底部连接，所述限位部位于加热板内。
[0009]进一步地，所述限位部和安装部内均设置有通孔，且两个所述通孔相连通形成供升降杆穿过的升降通孔，所述升降通孔与安装部及限位部的轴线重合。
[0010]进一步地，所述限位部上还开设有让位槽，所述让位槽与升降通孔连通并与升降弹簧的尺寸相匹配，所述升降通孔的直径小于让位槽。通过与升降弹簧尺寸相匹配的让位槽的设置，以供升降弹簧的放置，将生姜瞳孔的直径设置为小于让位槽，能有效避免升降弹簧的掉落。
[0011]进一步地，所述升降杆顶部设置有挡板，所述挡板的直径大于升降弹簧。将挡板的
直径设置为大于升降弹簧，能对升降弹簧的移动范围进行限制，使升降弹簧仅能在挡板和让位槽之间利用弹性做升降运动。
[0012]进一步地，每块所述加热板上设置有两个测温装置，两个所述测温装置分别位于加热板两侧。以对工件的两侧同时进行测温，保证工件的受热均匀，同时对多处测温也能提高真空炉内测温的精准性。
[0013]进一步地，所述安装部上设置有四个安装孔，四个所述安装孔绕安装部的圆心均匀分布。通过均匀布设的多个安装孔能有效避免安装底座在使用过程中松动或偏移。
[0014]本技术与现有技术相比，其有益效果在于：通过安装底座、升降杆和升降弹簧之间的配合，使测温探头能在工件的自重和升降弹簧的弹性下做升降运动，测温探头和工件之间能够保持良好的检测距离，从而可以实时精准测定工件温度；本技术公开的测温装置安装于可升降的加热板底部，加热板在通过驱动设备(如气缸)等驱动其做升降运动时，能带动测温装置一起进行移动，当输送机构装载着工件至加热板上方时，加热板将会升起对其进行加热，并能根据需要的加热温度改变加热板与工件之间的距离，此时工件将会与测温探头接触，并通过自身的重量将测温探头压下，当加热板向下运动，远离工件时，测温探头能在升降弹簧的弹性下向上运动，避免与工件之间的距离过大，导致检测数据不精准。
附图说明
[0015]图1为本实施例中加热板的结构示意图；
[0016]图2为图1中A
‑
A方向的剖视图；
[0017]图3为图2的局部放大图。
[0018]图中：
[0019]1‑
安装底座；101
‑
安装部；102
‑
限位部；2
‑
升降杆；3
‑
升降弹簧；4
‑
升降通孔；5
‑
让位槽；6
‑
测温探头；7
‑
加热板。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0021]现有的真空炉在线实时测温装置多为固定安装于真空炉顶上，此类型的测温装置在对尺寸不唯一的工件及加工过程中会进行升降的工件进行测温时，会因为与工件距离过远，导致无法进行精准的测温。
[0022]本实施例公开了一种真空炉在线实时测温装置，参见附图2、附图3所示，包括安装底座1、升降杆2和升降弹簧3，升降弹簧3套设在升降杆2上，升降杆2活动设置在安装底座1上，当升降杆2顶部受力向下移动时，升降弹簧3被压缩，当升降杆2顶部的压力减小时，升降弹簧3能恢复初始状态，并带动升降杆2向上运动，通过安装底座、升降杆和升降弹簧之间的配合，使测温探头能在工件的自重和升降弹簧的弹性下做升降运动，测温探头和工件之间能够保持良好的检测距离，从而可以实时精准测定工件温度。
[0023]参见附图2、附图3所示，安装底座1由一体成型的安装部101和限位部102组成，安
装部101上表面向上凸起形成限位部102，限位部102位于安装部101中心，即安装部101和限位部102的轴线重合，安装部101设置于加热板7底部，本实施例中安装部101为圆柱状，还可设置为长方体或其他便于与加热板7连接的形状，安装部101上设置有安装孔，为提高安装的稳定性，本实施例中的安装孔设置为四个，且四个安装孔绕安装部101的圆心均匀分布，能有效避免安装底座1在使用过程中松动或偏移，加热板7上设置有安装槽，限位部102的尺寸小于安装部101，并位于安装槽内。
[0024]限位部102和安装部101内均设置有通孔，且两个通孔相连通形成供升降杆2穿过的升降通孔4，升降通孔4与安装部101及限位部102的轴线重合，限位部102顶部还开设有让位槽5，让位槽5与升降通孔4连通并与升降弹簧3的尺寸相匹配，能供升降弹簧3放置，升降通孔4的直径小于让位槽5，避免升降弹簧3掉落。
[0025]升降杆2顶部设置有挡板，挡板的直径大于升降弹簧3，对升降弹簧3的移动范围进行限制，使升降弹簧3仅能在挡板和让位槽5之间利用弹性做升降运动。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空炉在线实时测温装置，其特征在于，包括安装底座(1)、升降杆(2)和升降弹簧(3)，所述升降杆(2)顶部设置有测温探头(6)，所述升降弹簧(3)套设在升降杆(2)上，所述升降杆(2)活动设置在安装底座(1)上，当所述升降杆(2)顶部受力向下移动时，所述升降弹簧(3)被压缩，当所述升降杆(2)顶部的压力减小时，所述升降弹簧(3)能恢复初始状态，并带动所述升降杆(2)向上运动。2.根据权利要求1所述的一种真空炉在线实时测温装置，其特征在于：所述安装底座(1)由一体成型的安装部(101)和限位部(102)组成，所述安装部(101)和限位部(102)的轴线重合，所述安装部(101)与加热板(7)底部连接，所述限位部(102)位于加热板(7)内。3.根据权利要求2所述的一种真空炉在线实时测温装置，其特征在于：所述安装部(101)和限位部(102)内均设置有供通孔，且两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：方国银，仲伟余，
申请(专利权)人：康耐威苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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