炉体结构及半导体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种炉体结构及半导体装置，该炉体结构包括炉本体、加热组件和电极组件，炉本体具有容纳产品的容纳腔，加热组件设在容纳腔内，且为至少一个，每个加热组件包括多个并联设置的加热件，每个加热件为环形波浪结构，且每个加热件上具有缺口以使得加热组件沿周向具有间隔的两端，电极组件成对设置，成对设置的电极组件均穿设在炉本体上，且连接在加热组件的周向两端。该炉体结构在一个加热件烧断时能够稳定工作，确保了炉体结构的可靠性，且炉体结构的加热件能够较好地吸收其工作过程中产生的热变形，延长加热件的使用寿命。延长加热件的使用寿命。延长加热件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
炉体结构及半导体装置


[0001]本技术涉及半导体装置
，尤其涉及一种炉体结构及半导体装置。

技术介绍

[0002]半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如将片状材料送入炉中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来获得所需产品，因此需要用到热加工设备。
[0003]炉体结构作为热加工设备的主体部分，通常在大气环境中使用，电热元件的材质一般为铬镍合金，为单相整根螺旋形，安装在炉体结构的保温层中，保温层材质为耐温保温材料，外层包裹钢质外壳。电热元件一般为单相整根螺旋形，工作时电热元件烧断将影响炉体结构的正常使用，且螺旋形外形不易吸收电热元件工作时热胀产生的膨胀量，从而降低了电热元件的使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的第一个目的在于提出一种炉体结构，该炉体结构在一个加热件烧断时能够稳定工作，确保了炉体结构的可靠性，且炉体结构的加热件能够较好地吸收其工作过程中产生的热变形，延长加热件的使用寿命。
[0005]本技术的第二个目的在于提出一种半导体装置，该半导体装置的可靠性较好，使用寿命较长。
[0006]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0007]本技术公开了一种炉体结构，包括：炉本体，所述炉本体具有容纳产品的容纳腔；加热组件，所述加热组件设在所述容纳腔内，且为至少一个，每个所述加热组件包括多个并联设置的加热件，每个所述加热件为环形波浪结构，且每个所述加热件上具有缺口以使得所述加热组件沿周向具有间隔的两端；电极组件，所述电极组件成对设置，成对设置的所述电极组件均穿设在所述炉本体上，且连接在所述加热组件的周向两端。
[0008]在一些实施例中，所述容纳腔的内侧壁具有多个安装槽，每个所述安装槽内安装有一个所述加热件。
[0009]在一些具体的实施例中，所述安装槽内设有挂杆，所述加热件设有与所述挂杆配合的挂孔。
[0010]在一些更具体的实施例中，所述挂杆的下端套设有绝缘套筒和/或所述挂杆的上端设有绝缘垫片。
[0011]在一些实施例中，所述加热组件还包括两个连接板，两个所述连接板分别连接在所述加热件的周向两端，且与成对设置的电极组件分别连接。
[0012]在一些具体的实施例中，每个所述加热件的周向两端均设有固定部，所述连接板上设有与所述固定部对应设置的连接部，所述电极组件与所述连接部及所述固定部相连。
[0013]在一些实施例中，所述炉本体包括外壳、隔热主体和端板，所述外壳的两端敞开设
置，所述端板设在所述外壳的两端，所述隔热主体设在所述外壳内，且所述隔热主体包括多个拼接结构，多个所述拼接结构沿圆周方向依次拼接。
[0014]在一些实施例中，所述外壳具有位于所述隔热主体径向外侧且环绕所述隔热主体设置的冷却流道。
[0015]在一些实施例中，所述炉体结构包括穿设在所述炉本体上的测温组件，所述测温组件用于测量所述加热组件的加热温度。
[0016]本技术公开了一种半导体装置，所述半导体装置包括前文所述的炉体结构。
[0017]本技术的炉体结构的有益效果：由于每个加热组件至少包括两个并联设置的加热件，由于并联的连接关系，即便某个加热件在工作过程中被烧断也不会影响到加热组件的正常工作，确保了加热组件的工作可靠性。由于每个加热件为环形波浪结构，波浪结构具有较好的弹性，在加热件发生变形时能够较好地吸收变形量，避免了加热件变形过度导致的使用寿命下降的现象发生。
[0018]本技术的半导体装置的有益效果：由于具有前文所述的炉体结构，该半导体装置的可靠性较好，使用寿命较长。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]图1是本技术实施例一的炉体结构的示意图；
[0021]图2是本技术实施例一的炉体结构的剖视图；
[0022]图3是本技术实施例一的炉体结构的局部结构剖视图；
[0023]图4是图3圈示A处的放大示意图；
[0024]图5是本技术实施例一的加热组件的结构示意图；
[0025]图6是本技术实施例一的炉体结构的另一个局部结构剖视图；
[0026]图7是本技术实施例二的炉体结构局部结构剖视图；
[0027]图8是图7圈示B处的放大示意图；
[0028]图9是本技术实施例二的炉体结构的另一个局部结构剖视图。
[0029]附图标记：
[0030]1、炉本体；11、外壳；111、冷却流道；112、电极安装座；113、测温安装座；12、隔热主体；121、拼接结构；1211、安装槽；13、端板；
[0031]2、加热组件；21、加热件；211、固定部；212、挂孔；22、连接板；221、连接部；
[0032]3、电极组件；4、测温组件；5、挂杆；6、挡销；7、绝缘套筒；8、绝缘垫片。
具体实施方式
[0033]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0034]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0035]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0036]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0037]下面参考图1
‑
图9描述本技术实施例的炉体结构的具体结构。
[0038]本技术公开了一种炉体结构，如图1
‑
图4所示，本实施例的炉体结构包括炉本体1、加热组件2和电极组件3，炉本体1具有容纳产品的容纳腔，加热组件2设在容纳腔内，且为至少一个，每个加热组件2包括多个并联设置的加热件21，每个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉体结构，其特征在于，包括：炉本体(1)，所述炉本体(1)具有容纳产品的容纳腔；加热组件(2)，所述加热组件(2)设在所述容纳腔内，且为至少一个，每个所述加热组件(2)包括多个并联设置的加热件(21)，每个所述加热件(21)为环形波浪结构，且每个所述加热件(21)上具有缺口以使得所述加热组件(2)沿周向具有间隔的两端；电极组件(3)，所述电极组件(3)成对设置，成对设置的所述电极组件(3)均穿设在所述炉本体(1)上，且连接在所述加热组件(2)的周向两端。2.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述容纳腔的内侧壁具有多个安装槽(1211)，每个所述安装槽(1211)内安装有一个所述加热件(21)。3.根据权利要求2所述的炉体结构，其特征在于，所述安装槽(1211)内设有挂杆(5)，所述加热件(21)设有与所述挂杆(5)配合的挂孔(212)。4.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，所述挂杆(5)的下端套设有绝缘套筒(7)和/或所述挂杆(5)的上端设有绝缘垫片(8)。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的炉体结构，其特征在于，所述加热组件(2)还包括两个连接板(22)，两个所述连接板(22)分别连接在所述加热件(21)的周向两端，且与成对设置的所述电极组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，龙占勇，李洪，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：