下载炉体结构及半导体装置的技术资料

文档序号:36391834

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本实用新型公开了一种炉体结构及半导体装置,该炉体结构包括炉本体、加热组件和电极组件,炉本体具有容纳产品的容纳腔,加热组件设在容纳腔内,且为至少一个,每个加热组件包括多个并联设置的加热件,每个加热件为环形波浪结构,且每个加热件上具有缺口以使得...
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