本实用新型公开了一种立式炉升降机构,包括升降平台底板、升降动力组件、升降传动组件、位置控制组件和升降组件，升降动力组件、升降传动组件和位置控制组件分别安装在升降平台底板，升降动力组件通过升降传动组件、升降组件控制升降平台底板做升降运动，...

本实用新型公开了一种碳化硅高温氧化激活炉升降装置,包括机架、升降机构、托盘机构以及承托机构，承托机构用于承托元器件，托盘机构用于承托承托机构，机架为分体式结构，机架包括调平机构，升降机构通过托盘机构控制元器件垂直进出工艺室，本实用新型有...

本实用新型公开了一种转运装置，包括中转机构、升降机构和传输机构，中转机构用于接驳装载已工艺或未工艺硅片的承载装置，传输机构控制承载装置在中转机构以及升降机构间的横向流转，承载装置的长度方向与传输机构的传输方向垂直或近似垂直，本实用新型中...

本实用新型公开了一种硅片加工设备，包括转运机构、插卸片机构以及至少一组主机，转运机构和插卸片机构与主机并列排布，主机包括净化台、炉体柜和气柜，转运机构控制承载装置在主机以及插卸片机构间的流转，转运机构包括中转机构、升降机构和传输机构，中...

本实用新型公开了一种自清洗真空泵,包括泵体，泵体设置有泵腔和螺杆，泵体设置有介质进管，清洗介质沿介质进管通入泵腔对螺杆以及泵腔进行清洗，本实用新型采用真空泵，相比常规隔膜泵，真空泵对颗粒产物的容许度大，本实用新型实现了真空泵的自清洗功能...

本实用新型提供了一种红外加热装置及炉管，其中红外加热装置包括加热管、连接件以及石英套管；其中加热管设置于石英套管内，加热管与石英套管通过连接件连接；通过采用加热管，实现炉管内迅速升温，另外在加热管的外侧套接石英套管形成隔绝，使加热管不会...

本实用新型为一种新型尾气处理装置，包括过滤装置、净化装置以及真空泵；其中过滤装置设置于净化装置的进气端；真空泵设置于净化装置上，用于将尾气吸入净化装置；尾气经过进气管进入波纹管，在波纹管结构中消音后进入过渡管，并进入过滤罐，经过过滤罐内...

本实用新型为一种磁悬浮式皮带流线，包括传送装置以及载具；其中载具设置于传送装置上，跟随传送装置的传动而产生位移；载具和传送装置之间还设置有磁力互斥结构；通过在载具和传送装置之间设置磁力互斥结构，实现将部分压力通过磁力互斥结构直接转接到传...

本实用新型公开了一种进气结构，包括匀流装置，匀流装置采用桶状结构，包括桶体，桶体一端开口，桶体另一端连接封闭面，封闭面上设有开孔。本实用新型中，桶体的设置能够将进入匀流装置的气体集中起来，避免气体向四周扩散。气体从封闭面上的开孔流出，被...

本实用新型公开了一种硅片镀膜托盘,包括若干托盘槽和安装槽，托盘槽中空设置，用于硅片的双面镀膜，安装槽用于卡扣组件和固定组件的安装和定位，本实用新型通过中空的托盘槽设计以实现对硅片进行双面镀膜，在托盘的正面以及背面均配置安装槽用于固定组件...

本发明公开了一种新型硼扩散湿氧工艺，本发明采用H2+O2进行湿法氧化工艺，两者在一定的压力和温度下生成水蒸气，水蒸气可以溶解管壁上的B2O3，再通过尾排泵的抽空系统排出管外，多余的水蒸气会经过尾排管路，同样对尾排管路和泵中残余的B2O3...

本发明公开了一种具有高均匀性的硼扩散方法，通过不同压力与温度条件下的沉积，调整BC13在整管内的沉积分布，从而实现更好的均匀性。本发明的硼扩散方法，使得炉口炉尾区域硅片方阻较为均匀，使得炉管整体方阻均匀性得到提升。本发明的方法能够适用于...

本实用新型公开了一种CVD反应炉炉体冷却结构,包括炉壳冷却装置和密封冷却装置，炉壳冷却装置包括炉体，炉体设置有进出水接头和冷却腔体，进出水接头以及冷却腔体形成炉壳冷却通道，冷却介质沿炉壳冷却通道流通对炉体外壳进行冷却，密封冷却装置包括密...

本实用新型公开了一种碳化硅高温氧化激活炉,包括氧化激活工艺室、工艺气体系统、真空及压力控制系统和控制中心，氧化激活工艺室包括加热器和工艺管，加热器和工艺管采用相同材质的耐高温材料，工艺气体系统至少包括主供气气路和辅供气气路，主供气气路用...

本实用新型公开了一种新型冷却装置,包括滤筒、滤芯和制冷系统，滤筒内部设置有至少一组用于安装滤芯的过滤腔，制冷系统控制滤芯以及过滤腔的温度，滤芯用于对气体或/和液体的冷却过滤，本实用新型设计冷却装置对尾气和尾液进行冷却过滤处理，在对尾气和...

本实用新型公开了一种石英管管端密封支撑结构,包括密封装置和固定装置，密封装置包括密封法兰和密封耐热密封环，固定装置包括固定法兰和固定耐热密封环，密封装置和固定装置用于石英管与炉体的固定密封，石英管包括进料端和炉尾端，密封装置用于进料端与...

本实用新型公开了一种新型尾气和尾液的处理系统,包括冷却模组、泵和清洗管道，冷却模组对尾气和尾液进行处理，清洗管道至少与泵连通，清洗介质沿清洗管道通入泵对泵进行清洗，本实用新型设计清洗介质对泵进行清洗，极大的提高了泵的维护周期；本实用新型...

本实用新型公开一种卧式LPCVD设备上下料系统,包括水平移动单元、垂直升降单元以及悬臂桨单元，悬臂桨单元承载装载有晶圆的石英舟，水平移动单元和垂直升降单元控制悬臂桨单元将装载有晶圆的石英舟输送至反应腔室的上料工序以及将装载已工艺晶圆的石...

本实用新型公开了一种用于电阻炉的冷却装置,包括热风循环机构和冷却机构，热风循环机构包括风机和排气组件，冷却机构包括热交换器，热风循环机构和冷却机构将炉腔内热量通过热量交换排出炉体，本实用新型通过冷风连接杆固定连接冷风固定端和冷风连接端，...

本实用新型公开了一种进气管,包括进气管主体，进气管主体包括出气端和进气端，出气端的端口密封，出气端沿炉尾插入炉管，出气端固设有出气口装置，进气端、出气端以及出气口装置形成气体流通通道，工艺气体沿气体流通通道向炉管喷气，本实用新型将出气端...