一种新型尾气和尾液的处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种新型尾气和尾液的处理系统,包括冷却模组、泵和清洗管道，冷却模组对尾气和尾液进行处理，清洗管道至少与泵连通，清洗介质沿清洗管道通入泵对泵进行清洗，本实用新型专利技术设计清洗介质对泵进行清洗，极大的提高了泵的维护周期；本实用新型专利技术通过加热装置对清洗介质进行处理，提高了清洗介质对泵的清洗效率；本实用新型专利技术通过干燥结构在泵清洗后对泵进行吹扫干燥，保证泵的洁净；本实用新型专利技术设计至少一路冷却组件，无需因检修或其他原因影响尾气和尾液的处理，提高尾气和尾液的处理效率，本实用新型专利技术设计清洗介质对泵和冷却装置进行清洗，极大的提高了泵的维护周期。极大的提高了泵的维护周期。极大的提高了泵的维护周期。

【技术实现步骤摘要】
一种新型尾气和尾液的处理系统


[0001]本技术属于半导体制造和太阳能光伏电池制造领域，涉及一种新型尾气和尾液的处理系统。

技术介绍

[0002]现有的真空尾气处理系统比较简单，一般为尾气口出来，通过一套气体冷却装置，然后直连泵体，泵的出气口直排到外部尾气处理，此系统存在泵体易被抽取的高温腐蚀性介质损耗的问题，导致维护周期短，无法满足生产需求，本技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种新型尾气和尾液的处理系统。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种新型尾气和尾液的处理系统,其特征在于：包括冷却模组、泵和清洗管道，冷却模组对尾气和尾液进行处理，清洗管道至少与泵连通，清洗介质沿清洗管道通入泵对泵进行清洗。
[0005]进一步的；还包括废气和废液收集装置以及尾气和尾液收集装置，废气和废液收集装置收集对泵清洗后的介质，废气和废液收集装置包括废气收集箱和废液收集箱，排污口包括废气排污口和废液排污口，尾气和尾液收集装置用于收集经净化处理的尾气和尾液。
[0006]进一步的；所述冷却模组与真空腔室连通，真空腔室产生的尾气和尾液依次通入冷却模组和泵进行净化处理，冷却模组、真空腔室、泵、废气收集箱和废液收集箱以及尾气和尾液收集装置之间通过管路系统连接。
[0007]进一步的；所述管路系统至少包括第一管路和第二管路，第一管路分别连通冷却模组的进口和真空腔室的出口，真空腔室产生的尾气和尾液通过第一管路通入冷却模组进行净化处理；第二管路分别连通冷却模组的出口和泵的进口，经冷却模组处理的尾气和尾液通过第二管路通入泵，泵的出口与尾气和尾液收集装置连通,净化后的尾气和尾液通入尾气和尾液收集装置，清洗管道包括管道总路和至少一组分路，分路包括第一管道分路，第一管道分路与第二管路连通，泵的出口与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路、第一管道分路以及第二管路通入泵，清洗介质对泵内部结构进行清洗以去除结晶物，清洗后的介质通过废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置。
[0008]进一步的；所述清洗管道包括管道总路和两组分路，分路包括第一管道分路和第二管道分路，第一管道分路与第二管路连通，泵的出口与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路、第一管道分路以及第二管路通入泵，清洗介质对泵内部结构进行清洗以去除结晶物，清洗后的介质通过废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置，管路系统包括包括第一管路、第二管路和第三管路，第二管道分路与第一管路连通，冷却模组的出口与第三管路连通，第三管路与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总
路、第二管道分路以及第一管路通入冷却模组，清洗介质对冷却模组内部结构进行清洗以去除结晶物，清洗后的介质通过第三管路、废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置。
[0009]进一步的；所述冷却模组至少包括一路冷却组件，一路冷却组件至少包括一组冷却装置，各路冷却组件以并联方式分别与真空腔室和泵连通，各路冷却组件内的若干冷却装置以串联方式连接。
[0010]进一步的；所述冷却装置包括滤筒、滤芯和制冷系统，滤筒内部设置有至少一组用于安装滤芯的过滤腔，制冷系统控制滤芯以及过滤腔的温度，滤芯用于对气体或/和液体的冷却过滤。
[0011]进一步的；所述滤筒包括筒体、筒板和滤盖，筒体和筒板固设连接，滤盖与筒板固定连接，使过滤腔形成密闭的空间，筒体固设有与过滤腔连通的至少一组进气口和至少一组出气口，进气口、过滤腔以及出气口形成尾气和尾液的流通通道，所述滤筒的内表面设有滤筒涂层，滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质；所述滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，滤芯的长度与筒体的长度相配，滤芯外表面固设有滤芯涂层，滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质。
[0012]进一步的；所述制冷系统包括制冷装置和散热装置，制冷装置对滤芯或/和滤筒制冷，散热装置用于制冷装置的散热，散热装置包括散热座，散热座通过固定板固定安装在滤盖上，散热座上固设有至少一组散热管道，散热管道的进口以及出口分别与散热进口以及散热出口连接，散热座上固设有腔体,制冷装置安装在腔体内，散热装置在散热管道内通入冷却介质，制冷装置包括半导体冷端和半导体热端，半导体热端安装在腔体内，散热装置通过冷却介质使半导体热端处于散热状态，半导体冷端设置在滤芯或/和滤筒，半导体冷端安装在滤芯的外表面或内部，或/和半导体冷端安装在滤筒的内表面，半导体冷端对滤芯或/滤筒进行冷却。
[0013]进一步的；还包括加热装置和干燥结构,加热装置安装在管道总路，所述清洗介质采用气体或液体或气液混合物，干燥结构在泵清洗后对泵进行吹扫干燥；冷却装置还包括密封结构、自动清洗装置和干燥装置，密封结构包括密封圈，筒板或滤盖上固设有密封槽，密封圈安装在密封槽内，密封圈采用耐酸碱腐蚀材质；自动清洗装置包括清洗介质，清洗介质将滤芯或/滤筒收集的有害物质以及结晶物、杂质进行清理，干燥装置使冷却装置在清洗或过滤后保持干燥状态。
[0014]综上所述，本技术的有益之处在于：
[0015]1)、本技术设计清洗介质对泵进行清洗，极大的提高了泵的维护周期；本技术通过加热装置对清洗介质进行处理，提高了清洗介质对泵的清洗效率；本技术通过干燥结构在泵清洗后对泵进行吹扫干燥，保证泵的洁净；本技术设计至少一路冷却组件，无需因检修或其他原因影响尾气和尾液的处理，提高尾气和尾液的处理效率。
[0016]2)、本技术设计清洗介质对泵和冷却装置进行清洗，极大的提高了泵的维护周期。
[0017]3)本技术设计冷却装置对尾气和尾液进行冷却过滤处理，在对尾气和尾液冷却的同时收集有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，对泵起到关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期。
[0018]4)、本技术将滤筒设计密封结构，保证滤腔的密封性。
[0019]5)、本技术的密封圈采用耐酸碱腐蚀材质、滤筒的滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质，滤芯的滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时密封圈、滤筒以及滤芯的耐受性。
[0020]6)、本技术的制冷装置采用半导体制冷原理对滤芯或/和滤筒进行制冷，散热装置对制冷装置进行散热，达到快速冷却的目的。
[0021]7)、本技术中滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，方便去除滤芯收集的有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，方便直接更换其中若干滤芯。
[0022]8)、本技术中冷却装置通过清洗介质进行自动清洗，可将滤芯或/滤筒收集的有害物质以及结晶物、杂质等自动清理，有害物质以及结晶物、杂质等和清洗后的介质排出至废气和废液收集装置，从而实现了冷却装置在线自维护功能以及杂质在线收集和自动清理功能。
[0023]9)、本技术的冷却装置可对真空系统产生的真空尾气和尾液中的有害物质进行冷却过滤，对泵起到了关键性的保护作用，极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型尾气和尾液的处理系统,其特征在于：包括冷却模组、泵和清洗管道，冷却模组对尾气和尾液进行处理，清洗管道至少与泵连通，清洗介质沿清洗管道通入泵对泵进行清洗。2.根据权利要求1所述的一种新型尾气和尾液的处理系统，其特征在于：还包括废气和废液收集装置以及尾气和尾液收集装置，废气和废液收集装置收集对泵清洗后的介质，废气和废液收集装置包括废气收集箱和废液收集箱，排污口包括废气排污口和废液排污口，尾气和尾液收集装置用于收集经净化处理的尾气和尾液。3.根据权利要求2所述的一种新型尾气和尾液的处理系统，其特征在于：所述冷却模组与真空腔室连通，真空腔室产生的尾气和尾液依次通入冷却模组和泵进行净化处理，冷却模组、真空腔室、泵、废气收集箱和废液收集箱以及尾气和尾液收集装置之间通过管路系统连接。4.根据权利要求3所述的一种新型尾气和尾液的处理系统，其特征在于：所述管路系统至少包括第一管路和第二管路，第一管路分别连通冷却模组的进口和真空腔室的出口，真空腔室产生的尾气和尾液通过第一管路通入冷却模组进行净化处理；第二管路分别连通冷却模组的出口和泵的进口，经冷却模组处理的尾气和尾液通过第二管路通入泵，泵的出口与尾气和尾液收集装置连通,净化后的尾气和尾液通入尾气和尾液收集装置，清洗管道包括管道总路和至少一组分路，分路包括第一管道分路，第一管道分路与第二管路连通，泵的出口与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路、第一管道分路以及第二管路通入泵，清洗介质对泵内部结构进行清洗以去除结晶物，清洗后的介质通过废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置。5.根据权利要求3所述的一种新型尾气和尾液的处理系统，其特征在于：所述清洗管道包括管道总路和两组分路，分路包括第一管道分路和第二管道分路，第一管道分路与第二管路连通，泵的出口与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路、第一管道分路以及第二管路通入泵，清洗介质对泵内部结构进行清洗以去除结晶物，清洗后的介质通过废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置，管路系统包括第一管路、第二管路和第三管路，第二管道分路与第一管路连通，冷却模组的出口与第三管路连通，第三管路与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路、第二管道分路以及第一管路通入冷却模组，清洗介质对冷却模组内部结构进行清洗以去除结晶物，清洗后的介质通过第三管路、废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，姜毅，朱太荣，刘再福，肖阳，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：