一种石英管管端密封支撑结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英管管端密封支撑结构,包括密封装置和固定装置，密封装置包括密封法兰和密封耐热密封环，固定装置包括固定法兰和固定耐热密封环，密封装置和固定装置用于石英管与炉体的固定密封，石英管包括进料端和炉尾端，密封装置用于进料端与炉体的固定密封，固定装置用于炉尾端与炉体的固定密封，本实用新型专利技术通过密封装置以及固定装置分别将石英管的进料端以及炉尾端与炉体固定密封连接，不仅保证了石英管与炉体的同轴度，同时实现石英管与炉门和炉尾法兰之间的完全密封，满足工艺真空及安全要求。足工艺真空及安全要求。足工艺真空及安全要求。

【技术实现步骤摘要】
一种石英管管端密封支撑结构


[0001]本技术属于半导体领域，涉及一种石英管管端密封支撑结构。

技术介绍

[0002]CVD(化学气相沉积)是在不改变基体材料的成分和性能的条件下，赋予材料表面一些特殊性能的一种材料表面改性技术，设备主要由石英管制作的反应室、炉体外壳及热场等组成，CVD工序中把反应所需要的气体引入反应室后并达到产生化学反应所需条件(反应室内的温度、气体成分、浓度和真空度)后，在位于石英管内的衬底表面发生化学反应，并把固体产物沉积到衬底表面生成薄膜，现有的石英管管端密封，是在石英管管端和石英管外圆靠近端面的地方各布置1个O型密封圈，O型密封圈的表面在压紧力的作用下紧贴在石英管表面，热场产生的热量经过石英管传递给密封圈，密封圈的温度升高从而失去密封功能，缩短使用寿命，本技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种石英管管端密封支撑结构。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种石英管管端密封支撑结构,其特征在于：包括密封装置和固定装置，密封装置包括密封法兰和密封耐热密封环，固定装置包括固定法兰和固定耐热密封环，密封装置和固定装置用于石英管与炉体的固定密封，石英管包括进料端和炉尾端，密封装置用于进料端与炉体的固定密封，固定装置用于炉尾端与炉体的固定密封。
[0005]进一步的；所述密封装置还包括密封塞体，密封法兰包括第一密封法兰和第二密封法兰，密封塞体安装在炉体，密封塞体向炉体外侧延伸，且密封塞体的端面位于炉体的外侧；第一密封法兰和第二密封法兰安装在密封塞体，密封耐热密封环位于第一密封法兰和第二密封法兰之间，且密封耐热密封环的外环面通过第一密封法兰和第二密封法兰与密封塞体隔离，密封耐热密封环套设在石英管，使密封耐热密封环的内环面与进料端的外表面相抵，密封耐热密封环通过第一密封法兰和第二密封法兰的夹紧力挤压变形，使炉体与石英管的进料端密封连接。
[0006]进一步的；所述第一密封法兰和第二密封法兰分别带有水冷结构，通过第一密封法兰和第二密封法兰带有的水冷结构降低石英管的进料端的表面温度，满足密封耐热密封环对温度的使用要求。
[0007]进一步的；所述进料端的端面位于炉体的端面外侧，便于第一密封法兰和第二密封法兰的散热。
[0008]进一步的；所述进料端设置有炉门，炉门的尺寸大于进料端的尺寸，炉门相对进料端的侧面安装有第一密封圈，第一密封圈压紧在第二密封法兰的外端面，使炉门与石英管的密封连接，炉门与进料端无接触。
[0009]进一步的；所述炉尾端包括平端和弧端，固定装置包括固定塞体，固定法兰包括第
一固定法兰和第二固定法兰，固定塞体安装在炉体与第一固定法兰和第二固定法兰安装在固定塞体，固定耐热密封环位于第一固定法兰和第二固定法兰之间，且固定耐热密封环的外环面通过第一固定法兰和第二固定法兰与固定塞体隔离，固定耐热密封环套设在石英管，使固定耐热密封环的内环面与炉尾端的平端外表面相抵，固定耐热密封环通过第一固定法兰和第二固定法兰的夹紧力挤压变形，使炉体与炉尾端的平端密封连接。
[0010]进一步的；所述第一固定法兰和第二固定法兰分别带有水冷结构，通过第一固定法兰和第二固定法兰带有的水冷结构降低炉尾端的平端表面温度，满足固定耐热密封环对温度的使用要求。
[0011]进一步的；所述固定塞体、第一固定法兰、第二固定法兰以及固定耐热密封环与密封塞体、第一密封法兰、第二密封法兰以及密封耐热密封环一一对应，使炉体的中心轴线与石英管的中心轴线共线设置。
[0012]进一步的；所述炉尾端固设有工艺管和观察窗管，工艺气体沿工艺管通入石英管，通过观察窗管观察石英管内的工作情况，炉体的端面固设有尾端法兰，尾端法兰分别与工艺管以及观察窗管固定密封连接，观察窗管贯穿尾端法兰，观察窗管与尾端法兰之间设有内法兰、外法兰以及观察窗耐热密封环，观察窗耐热密封环位于内法兰和外法兰之间，且观察窗耐热密封环的外环面通过内法兰和外法兰与尾端法兰隔离，观察窗耐热密封环套设在观察窗管，使观察窗耐热密封环的内环面与观察窗管外表面相抵，观察窗耐热密封环通过内法兰和外法兰的夹紧力挤压变形，使观察窗管与尾端法兰密封连接，观察窗管位于尾端法兰外侧的端面设有观察板，观察板通过压紧法兰固设在外法兰，观察板与压紧法兰之间以及观察板与外法兰之间分别设置有第二密封圈，观察板与观察窗管无接触，工艺管贯穿尾端法兰，工艺管与尾端法兰之间设有第一压板、第二压板以及第三密封圈，通过第一压板、第二压板以及第三密封圈使工艺管与尾端法兰密封连接。
[0013]进一步的；所述密封塞体的外端面、第二密封法兰的外端面以及石英管的进料端端面平齐，尾端法兰与第二固定法兰之间通过T型的支撑结构连接，T型的支撑结构与第二固定法兰之间通过第四密封圈密封，T型支撑结构与尾端法兰通过第五密封圈密封，炉体设置有炉膛，石英管安装在炉体的炉膛，炉体上还固设有与炉膛连通的第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体为环形结构，密封装置位于第一腔体内将进料端和炉体固定密封，固定装置位于第二腔体将炉尾端与炉体固定密封。
[0014]综上所述，本技术的有益之处在于：
[0015]1)、本技术通过密封装置以及固定装置分别将石英管的进料端以及炉尾端与炉体固定密封连接，不仅保证了石英管与炉体的同轴度，同时实现石英管与炉门和炉尾法兰之间的完全密封，满足工艺真空及安全要求。
[0016]2)、本技术采用密封耐热密封环、固定耐热密封环作为石英管与炉体之间的密封件，首先保证了高温密封性，以及自润滑性、耐腐蚀性、不老化、不发脆，能在复杂工况下稳定使用，极大提高了设备运行的可靠性，同时第一密封法兰和第二密封法兰以及第一固定法兰和第二固定法兰分别带有水冷结构，降低了石英管的表面温度，并满足密封耐热密封环和固定耐热密封环对温度的使用要求。
[0017]3)、本技术工艺管以及观察窗管与尾端法兰之间采用完善的密封结构，降低了设备生产时泄露工艺气体的可能性，保证设备使用安全。
[0018]4)、本技术中炉门与石英管无接触，石英管不会受到来自炉门密封产生的压力，观察板与观察窗管无接触，观察窗管不会受到来自观察板密封产生的压力，设备安装操作维护方便。
附图说明
[0019]图1为本技术的装置半剖示意图。
[0020]图2为本技术的石英管进料端安装示意图。
[0021]图3为本技术的石英管炉尾端安装示意图。
[0022]图4为图3中A的放大示意图。
[0023]图中标识：炉体1、炉膛11、第一腔体12、第二腔体13、石英管2、进料端21、炉尾端22、平端221、弧端222、工艺管23、第三密封圈231、第二压板232、第一压板233、观察窗管24、内法兰241、观察窗耐热密封环242、外法兰243、压紧法兰244、观察板245、第二密封圈246、密封装置3、密封塞体31、第一密封法兰32、第二密封法兰本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英管管端密封支撑结构,其特征在于：包括密封装置和固定装置，密封装置包括密封法兰和密封耐热密封环，固定装置包括固定法兰和固定耐热密封环，密封装置和固定装置用于石英管与炉体的固定密封，石英管包括进料端和炉尾端，密封装置用于进料端与炉体的固定密封，固定装置用于炉尾端与炉体的固定密封。2.根据权利要求1所述的一种石英管管端密封支撑结构，其特征在于：所述密封装置还包括密封塞体，密封法兰包括第一密封法兰和第二密封法兰，密封塞体安装在炉体，密封塞体向炉体外侧延伸，且密封塞体的端面位于炉体的外侧；第一密封法兰和第二密封法兰安装在密封塞体，密封耐热密封环位于第一密封法兰和第二密封法兰之间，且密封耐热密封环的外环面通过第一密封法兰和第二密封法兰与密封塞体隔离，密封耐热密封环套设在石英管，使密封耐热密封环的内环面与进料端的外表面相抵，密封耐热密封环通过第一密封法兰和第二密封法兰的夹紧力挤压变形，使炉体与石英管的进料端密封连接。3.根据权利要求2所述的一种石英管管端密封支撑结构，其特征在于：所述第一密封法兰和第二密封法兰分别带有水冷结构，通过第一密封法兰和第二密封法兰带有的水冷结构降低石英管的进料端的表面温度，满足密封耐热密封环对温度的使用要求。4.根据权利要求2所述的一种石英管管端密封支撑结构，其特征在于：所述进料端的端面位于炉体的端面外侧，便于第一密封法兰和第二密封法兰的散热。5.根据权利要求2所述的一种石英管管端密封支撑结构，其特征在于：所述进料端设置有炉门，炉门的尺寸大于进料端的尺寸，炉门相对进料端的侧面安装有第一密封圈，第一密封圈压紧在第二密封法兰的外端面，使炉门与石英管的密封连接，炉门与进料端无接触。6.根据权利要求2所述的一种石英管管端密封支撑结构，其特征在于：所述炉尾端包括平端和弧端，固定装置包括固定塞体，固定法兰包括第一固定法兰和第二固定法兰，固定塞体安装在炉体与第一固定法兰和第二固定法兰安装在固定塞体，固定耐热密封环位于第一固定法兰和第二固定法兰之间，且固定耐热密封环的外环面通过第一固定法兰和第二固定法兰与固定塞体隔离，固定耐热密封环套设在石英管，使固定耐热密封环的内环面与炉尾端的平端外表面相抵，固定耐热密封环通过第一固定法兰和第二固定法兰的夹紧力...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，龙占勇，罗迎春，李洪，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：