一种卧式LPCVD设备上下料系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种卧式LPCVD设备上下料系统,包括水平移动单元、垂直升降单元以及悬臂桨单元，悬臂桨单元承载装载有晶圆的石英舟，水平移动单元和垂直升降单元控制悬臂桨单元将装载有晶圆的石英舟输送至反应腔室的上料工序以及将装载已工艺晶圆的石英舟从反应腔室输出的下料工序，本实用新型专利技术通过一组水平移动单元1和一组垂直升降单元2的运动组合，实现了向高低位置不同的反应腔室送入和取出晶圆，节约了设备内部空间，同时也为工艺后的晶圆降低温度增加了空间，提高了晶圆的降温速度，减少了晶圆的降温时间，方便人员操作维护。方便人员操作维护。方便人员操作维护。

【技术实现步骤摘要】
一种卧式LPCVD设备上下料系统


[0001]本技术属于卧式LPCVD设备领域，涉及一种卧式LPCVD设备上下料系统。

技术介绍

[0002]卧式LPCVD工艺是在晶圆表面生长出厚度均匀的薄膜，具有较高的沉积速度，是薄膜沉积工艺的关键设备，设备主要由石英舟自动上下料系统、石英舟、反应腔室、特气系统、真空及控制系统等组成，石英舟自动上下料系统主要作用是将装载有晶圆的石英舟送入设备的反应腔室或从腔室内取出，自动上下料系统是卧式LPCVD的核心部件之一，现有的上下料系统包括多组移动舟部件，移动舟部件包括同步带传动系统、导轨、悬臂桨和悬臂桨支架等组成，它们安装在同一支架上，悬臂桨支架通过同步带传动系统和悬臂桨将石英舟运送至设备反应腔室中进行薄膜沉积工艺；每组移动舟部件完成对应的一个反应腔室的薄膜沉积工艺，它们之间相互独立，结构较为复杂，运动过程不平稳，生产成本和维护成本较高，本技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种卧式LPCVD设备上下料系统。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种卧式LPCVD设备上下料系统,其特征在于：包括水平移动单元、垂直升降单元以及悬臂桨单元，悬臂桨单元承载装载有晶圆的石英舟，水平移动单元和垂直升降单元控制悬臂桨单元将装载有晶圆的石英舟输送至反应腔室的上料工序以及将装载已工艺晶圆的石英舟从反应腔室输出的下料工序。
[0005]进一步的；所述水平移动单元包括水平驱动组件和水平移动组件，水平移动组件包括水平导轨安装底板和水平移动导轨，水平移动导轨安装在水平导轨安装底板。
[0006]进一步的；所述水平导轨安装底板上固设有水平固定板，水平驱动组件通过水平固定板安装在水平导轨安装底板上，水平驱动组件包括水平驱动电机、水平减速机、水平联轴器和水平滚珠丝杆，水平驱动电机的输出轴通过水平联轴器与水平滚珠丝杆连接，水平滚珠丝杆的另一端与水平固定板转动连接，水平驱动电机驱动水平滚珠丝杆转动，水平驱动电机与控制系统连接，控制系统控制水平驱动电机的开启、停止以及输出的转速。
[0007]进一步的；所述水平移动单元还包括水平限位机构，水平限位机构包括第一检测开关和第二检测开关，第一检测开关和位于第二检测开关位于水平滚珠丝杆的两端，第一检测开关和第二检测开关控制悬臂桨单元的水平位置和行程。
[0008]进一步的；所述垂直升降单元包括垂直驱动组件和垂直移动组件，垂直移动组件包括垂直导轨安装底板和垂直移动导轨，垂直导轨安装底板与水平移动单元相对的侧面上固设有垂直丝杠螺母，垂直丝杠螺母与水平滚珠丝杆连接，垂直导轨安装底板与水平移动导轨滑动连接，水平驱动电机通过水平滚珠丝杆驱动垂直丝杠螺母运动，带动垂直升降单元沿水平移动导轨水平移动，垂直移动导轨安装在垂直导轨安装底板。
[0009]进一步的；所述垂直导轨安装底板上固设有垂直固定板，垂直驱动组件通过垂直
固定板安装在垂直导轨安装底板上，垂直驱动组件包括垂直驱动电机、垂直减速机、垂直联轴器和垂直滚珠丝杆，垂直驱动电机的输出轴通过垂直联轴器与垂直滚珠丝杆连接，垂直滚珠丝杆的另一端与垂直固定板转动连接，垂直驱动电机驱动垂直滚珠丝杆转动，垂直驱动电机与控制系统连接，控制系统控制垂直驱动电机的开启、停止以及输出的转速。
[0010]进一步的；所述垂直升降单元还包括垂直限位机构，垂直限位机构包括第三检测开关、第四检测开关和第五检测开关，第三检测开关、第四检测开关和第五检测开关分别与多组高低方向布置的反应腔室位置相对，使装载有晶圆的石英舟与对应的反应腔室位置相对，第三检测开关和第四检测开关控制悬臂桨单元的竖直位置和行程。
[0011]进一步的；所述悬臂桨单元包括悬臂固定组件和悬臂桨，悬臂固定组件包括悬臂安装底板，悬臂安装底板与垂直升降单元相对的侧面上固设有悬臂丝杠螺母，悬臂丝杠螺母与垂直滚珠丝杆连接，悬臂安装底板与垂直移动导轨滑动连接，垂直驱动电机通过垂直滚珠丝杆驱动悬臂丝杠螺母运动，带动悬臂桨单元沿垂直移动导轨竖直移动，悬臂安装底板上固设有两组悬臂固定板，两组悬臂固定板沿水平方向分布，两组悬臂固定板间固设有导向杆，导向杆上固设有悬臂桨支架，悬臂桨支架用于安装悬臂桨，悬臂桨包括桨固定端和桨承载端，桨固定端用于悬臂桨和悬臂固定组件的固定连接，桨承载端用于承载装载有晶圆的石英舟，桨固定端和桨承载端间通过连接端平滑。
[0012]进一步的；所述悬臂桨单元还包括桨调整机构，桨调整机构包括悬臂桨调整套和调节垫板，悬臂桨调整套设置有调整孔，调整孔与桨固定端相配，桨固定端插入调整孔，且桨固定端与调整孔的四周存在调节间隙，调节垫板安装在调节间隙内，通过调节垫板在调节间隙的位置对悬臂桨的水平方向位置与竖直方向位置进行调节。
[0013]进一步的；所述垂直移动导轨设置有两组，且沿竖直方向对称安装在垂直导轨安装底板的左右位置，垂直移动导轨的长度方向与垂直导轨安装底板的长度方向一致，水平移动导轨设置有两组，且沿水平方向对称安装在水平导轨安装底板的上下位置，水平移动导轨的长度方向与水平导轨安装底板的长度方向一致，悬臂桨支架设置有两组，且两组悬臂桨支架位于导向杆的两组。
[0014]综上所述，本技术的有益之处在于：
[0015]本技术通过一组水平移动单元1和一组垂直升降单元2的运动组合，实现了向高低位置不同的反应腔室送入和取出晶圆，节约了设备内部空间，同时也为工艺后的晶圆降低温度增加了空间，提高了晶圆的降温速度，减少了晶圆的降温时间，方便人员操作维护。
附图说明
[0016]图1为本技术的装置示意图。
[0017]图2为本技术的水平移动单元示意图。
[0018]图3为本技术的垂直升降单元示意图。
[0019]图4为本技术的悬臂桨单元示意图。
[0020]图5为图4中A的放大示意图。
具体实施方式
[0021]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0023]本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卧式LPCVD设备上下料系统,其特征在于：包括水平移动单元、垂直升降单元以及悬臂桨单元，悬臂桨单元承载装载有晶圆的石英舟，水平移动单元和垂直升降单元控制悬臂桨单元将装载有晶圆的石英舟输送至反应腔室的上料工序以及将装载已工艺晶圆的石英舟从反应腔室输出的下料工序。2.根据权利要求1所述的一种卧式LPCVD设备上下料系统，其特征在于：所述水平移动单元包括水平驱动组件和水平移动组件，水平移动组件包括水平导轨安装底板和水平移动导轨，水平移动导轨安装在水平导轨安装底板。3.根据权利要求2所述的一种卧式LPCVD设备上下料系统，其特征在于：所述水平导轨安装底板上固设有水平固定板，水平驱动组件通过水平固定板安装在水平导轨安装底板上，水平驱动组件包括水平驱动电机、水平减速机、水平联轴器和水平滚珠丝杆，水平驱动电机的输出轴通过水平联轴器与水平滚珠丝杆连接，水平滚珠丝杆的另一端与水平固定板转动连接，水平驱动电机驱动水平滚珠丝杆转动，水平驱动电机与控制系统连接，控制系统控制水平驱动电机的开启、停止以及输出的转速。4.根据权利要求3所述的一种卧式LPCVD设备上下料系统，其特征在于：所述水平移动单元还包括水平限位机构，水平限位机构包括第一检测开关和第二检测开关，第一检测开关和位于第二检测开关位于水平滚珠丝杆的两端，第一检测开关和第二检测开关控制悬臂桨单元的水平位置和行程。5.根据权利要求3所述的一种卧式LPCVD设备上下料系统，其特征在于：所述垂直升降单元包括垂直驱动组件和垂直移动组件，垂直移动组件包括垂直导轨安装底板和垂直移动导轨，垂直导轨安装底板与水平移动单元相对的侧面上固设有垂直丝杠螺母，垂直丝杠螺母与水平滚珠丝杆连接，垂直导轨安装底板与水平移动导轨滑动连接，水平驱动电机通过水平滚珠丝杆驱动垂直丝杠螺母运动，带动垂直升降单元沿水平移动导轨水平移动，垂直移动导轨安装在垂直导轨安装底板。6.根据权利要求5所述的一种卧式LPCVD设备上下料系统，其特征在于：所述垂直导轨安装底板上固设有垂直固定板，垂直驱动组件通过垂直固定板安装在垂直导轨安装底板上，垂直驱动组件包括垂直驱动电机、垂直减速机、垂直联轴器和垂直滚珠丝杆，垂直驱动电机的输出轴通过垂直联轴器与垂直滚珠丝杆连接，垂直滚珠丝杆的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，龙占勇，罗迎春，李洪，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：