一种扩散炉净化台冷却系统，包括净化台框架和冷却装置，所述冷却装置包括风冷装置、水冷装置，所述风冷装置包括进风口、出风口以及电机，进风口以及电机设置于净化台框架的上方，出风口位于净化台框架内部；所述水冷装置包括水冷盘、水冷管道和风机，所述...

一种扩散炉的保温结构，包括设置在扩散炉内部的内管以及设置在内管外侧的保温层和隔离层，所述保温层设置为内管外侧的第一层，隔离层设置于保温层的外侧；本实用新型中扩散炉的整个内壁设置环绕式分布的炉丝，并且炉丝之间保持设定距离，保证了扩散炉内部...

本实用新型为一种载片装置，包括舟托；舟托用于设置舟，舟用于承载硅片；舟托的侧部设置有桨支撑位，舟托的前部和后部设置有抓手抓取位，舟托的底部设置有缓存支撑位；通过在舟托上设置桨支撑位、抓手抓取位以及缓存支撑位，使舟托能够从多个部位被对应的...

本实用新型为一种匀流板，其特征在于，包括匀流筒以及支架；匀流筒设置于支架；匀流筒包括透气板，透气板上设置有透气孔；通过在炉管的进气管一端设置匀流筒，使进气管输入的反应气体首先通过匀流筒，通过透气板的匀流作用，使反应气体均匀通向炉管内的待...

本实用新型为一种共用气路的设备，包括进气管路以及炉管；进气管路包括总进气管路以及分支进气管路；分支进气管路包括共用分支进气管路；一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通；一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接；一个炉管...

本实用新型为一种刮酸装置，包括接酸盘以及刮片结构；接酸盘设置于炉口的下方以及炉门的待机位置的下方；刮片结构设置于炉门待机位置的接酸盘上；通过在炉门待机位置与炉口之间设置刮片结构，使炉门在打开和关闭时，炉门的底部会经过刮片结构，通过挡板的...

本实用新型为一种匀流装置，包括匀流筒以及支架；匀流筒设置于支架；支架设置于炉管内部；匀流筒包括插片筒和透气板；透气板卡接于插片筒内；透气板上均匀设置有透气孔；通过在炉管的进气管一端设置匀流筒，使进气管输入的反应气体首先通过匀流筒，通过透...

本实用新型公开了一种用于钝化设备的载具装置，包括载具后板、载具左侧板、载具右侧板、载具底板以及载具上板，载具底板对切片电池进行支撑，载具后板、载具左侧板以及载具右侧板安装在载具底板上，载具后板、载具左侧板、载具右侧板以及载具底板形成承载...

本实用新型公开了一种钝化设备，包括隔离箱和钝化箱，钝化箱位于隔离箱内部，钝化箱内包括载具装置、喷淋装置以及加热装置，喷淋装置位于载具装置和加热装置之间，喷淋装置喷淋氧气或钝化气体，喷淋装置喷淋钝化气体与切片电池的断面接触，本实用新型采用...

本实用新型为一种扩散炉用水冷法兰，包括炉管以及水冷法兰；炉管的管口部位设置有连接法兰；连接法兰呈圆环状，套接设置于炉管的外周；水冷法兰设置于连接法兰；通过在炉管的外周设置连接法兰，并在连接法兰的两侧分别设置前法兰和后法兰构成水冷法兰，在...

本实用新型公开了一种硼扩散设备,包括供源装置和扩散炉，所述供源装置包括供源组件、主管道以及多组分管道，扩散炉包括石英管组件，石英管组件包括石英管、尾部匀流组件、炉口匀流组件、进气管和气路管，进气管、分管道与输气管连通，形成工艺气体流通通...

本发明公开了一种真空脱脂烧结系统及其使用方法,包括真空管路和脱脂机构，真空管路至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路，一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的系统压力，脱脂机构对工件进行脱脂处理，本发明采用高...

本实用新型提供一种PECVD镀膜机，包括用于镀膜操作的真空炉腔，还包括硅片载具，硅片载具包括多个镂空载板，多个镂空载板上下排列且等间距均布，单个镂空载板上至少设有一个镂空部位和一个安装部位；所述真空炉腔的上表面设有台板，台板上开设有入料...

本发明公开了一种钝化设备,包括隔离箱、位于隔离箱的钝化箱以及位于钝化箱内部的载具装置以及加热装置，载具装置承载切片电池，加热装置控制钝化箱内的温度，载具装置与加热装置间设有喷淋装置，喷淋装置喷淋氧气或对切片电池的断面喷淋钝化气体，还提供...

一种扩散炉净化台净化系统，包括净化台框架和净化装置，所述净化装置包括空气过滤净化器、风机以及进风口构成；所述空气过滤净化器、风机以及进风口设置于净化台框架的上方；本实用新型通过设置空气过滤净化器对进入搬舟结构的气体进行净化，其一能够有效...

本实用新型公开了一种新型桨结构，包括两个桨，桨可设置在舟托两侧；桨包括用于支撑舟托的固定部和用于连接控制桨的设备的稳固部；本实用新型提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型桨结构。身重量轻的一种新型桨结构。身重量轻的一种新型桨...

本实用新型公开了一种集中供源装置,包括源瓶、为源瓶提供源液的源桶以及为源瓶保温的控温腔体，所述源桶上设置有压力控制装置、补充源液的进酸管道和为源瓶输送源液的补液件，所述源瓶上设置有输入载气的进气管和管路输送机构，所述管路输送机构包括输出...

本实用新型公开了一种炉内支撑结构,包括支撑件和支撑柱，所述支撑件固设于机架上，所述支撑件与炉管固设连接，所述支撑柱与支撑件固设连接，所述舟承载硅片，所述支撑柱支撑舟，本实用新型结构简单，安装方便，本设备将舟的重量施加在两端固定的支撑件上...

一种共用推舟装置，包括推送装置、升降装置以及桨固定装置；所述推送装置共两组，两组推送装置对称设置；所述升降装置设置于两组推送装置之间；每组推送装置上都设置有桨固定装置；本实用新型通过背对背设置两组推送装置实现一个推舟装置对两个炉管的桨同...

本实用新型公开了一种新型法兰结构，包括气环层、液冷层、密封层、固定层，气环层一侧依次设置液冷层、密封层和固定层；本实用新型提供了一种结构简单，设计合理，便于维护的一种新型法兰结构。新型法兰结构。新型法兰结构。