一种舟缓存结构，包括支撑柱、存储底座以及托盘，所述存储底座设置于支撑柱与托盘之间；所述托盘设置于存储底座，托盘包括风扇以及水冷层；本实用新型通过在存储底座中设置限位块以及在托盘上设置隔离槽实现对舟定位，保证舟在工艺过程中不会产生偏移。证...

本实用新型公开了一种源瓶温控柜,包括柜体、温控加热系统和管路系统，所述柜体内设置有密闭腔，源瓶、温控加热系统和管路系统设置于密闭腔内部，所述温控加热系统通过调控密闭腔内气体温度来控制源瓶温度，所述管路系统用于源瓶内镀膜介质的输送。本实用...

一种多工艺腔体共用真空泵组，包括管道、真空泵以及阀门；所述真空泵包括真空泵一和真空泵二；一个真空泵一对应至少一个工艺腔体；一个真空泵二对应至少一个工艺腔体；所述管道设置于工艺腔体与真空泵之间；所述阀门设置于管道上；本实用新型通过设置共用...

一种反应炉腔内载片结构，包括舟托、舟；所述舟托上设置有至少一个舟，舟的长度方向与舟托的长度方向垂直或近似垂直；硅片设置于舟，硅片与舟的长度方向垂直或近似垂直；本实用新型通过多个舟分别载硅片并设置于舟托或桨上，同时舟与舟托或桨垂直设置，硅...

一种尾排共用装置，包括管道、预抽阀、截止阀、蝶阀以及泵；所述管道设置于泵以及两个炉管尾盖之间；所述预抽阀、截止阀以及蝶阀设置于管道上；一个泵与两个炉管尾盖连接；本实用新型通过将两个炉管用管道和阀门进行联通，实现了两个炉管共用一个真空泵，...

本实用新型提供一种连续式真空扩散炉，包括上料部分和反应炉部分，所述真空扩散炉至少包括两个反应炉，每个反应炉对应一套上料部分，至少两个反应炉呈上下或左右并排排列；每个反应炉和上料部分均能够独立工作，实现连续生产。本实用新型能够实现炉体的真...

本实用新型公开了一种舟缓存装置，包括存储架支撑柱、存储底座，存储底座与存储架支撑柱连接，存储底座用于固定舟托，且存储底座能旋转一定角度；本实用新型提供了一种结构简单，设计合理，便于维护的一种舟缓存装置。

本实用新型公开了一种搬舟碰撞检测装置,包括搬舟手臂、固定装置和搬舟碰撞机构，所述搬舟碰撞机构包括舟检测机构、舟碰撞机构和搬舟手臂防撞机构，所述舟检测机构包括防撞板和搬舟防撞顶板，所述搬舟防撞顶板上设置有舟放置机构，所述舟安放在舟放置机构...

一种高温气体相变散热器，包括气道、阀门机构、真空发生器；所述阀门机构设置于气道的侧面；所述气道包括进气端和出气端；所述真空发生器设置于气道的出气端；本实用新型通过设置水流入口，利用水相变吸热，实现高温气体的快速降温，同时利用压缩空气实现...

一种炉门冷却装置，包括炉门、散热器；所述散热器包括散热片、进气管以及抽风口；所述进风口以及抽风管设置于炉门的侧面，进风口和通风管设置于炉门圆心的两侧；本实用新型通过设置散热器，实现炉门的风冷散热，既保证了密封圈不会因为遭受高温而损坏，又...

一种开合炉门装置，包括安装板、支撑板、驱动装置、传动结构、炉门调节装置以及炉门；所述支撑板垂直设置于安装板上方；所述驱动电机设置于支撑板；所述炉门调节装置设置于支撑板，炉门调节装置和驱动电机之间设置传动结构；所述炉门设置于炉门调节装置；...

一种龙门式抓片装置，包括龙门机构和抓片机构，抓片机构包括移动组件和抓片装置，移动组件包括第一方向移动单元、第二方向移动单元、第三方向移动单元；本实用新型中的抓片机构能够进行空间内相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向的精准调整，实现精准...

本实用新型提供一种低压扩散炉，包括机架和多根炉管，机架上设有对应每根炉管的安装部位，所述多根炉管呈卧式并列排布。本实用新型通过在一个设备内，设置双排卧式炉管，每排炉管都可以有多层结构，通过增加炉管的数量来提高一套设备的产能，并且，由于炉...

一种抓片装置，包括壳体和吸盘主体，壳体内安装有五十片吸盘主体，壳体内设有气腔，气腔内设有安装单元，安装单元包括卡块和固定轴，卡块和固定轴都有两个，它们通过两端的固定块进行连接；本实用新型的有益效果是：本实用新型的多吸盘结构设计有助于装置...

一种上下料传送结构，其特征在于，包括上料通道、下料通道和升降机构，上料和下料通道安装于斜面支撑座上，上料通道包括上料工位、取放片工位；本实用新型的有益效果是：通过斜面支撑座使第一传送带装置、第二传送带装置及花篮倾斜，使所有的片状原料依靠...

一种气体管道结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括真空泵和真空计，真空泵能够将工艺炉管内的气体抽入气体管道，真空计能够监控管内真空数值并控制真空泵启停；本实用新型的气体管道结构无需人工控制，真空计能自动监控炉管内...

一种气体净化结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置被配置为用于连接净化进气部分，冷凝装置连接过滤装置，过滤装置配置为用于连接净化出气部分，进入气体净化结构内的气体先经过冷凝装置后经过过...

一种搬舟装置的搬舟抓手，包括抓手滑座、抓手角度调节块、抓手旋转板、抓手垫板、防撞检测板、舟托检测板；所述抓手垫板设置于防撞检测板；所述防撞检测板设置于舟托检测板的一侧；所述舟托检测板设置于防撞检测板以及抓手滑座之间；所述抓手旋转板与抓手...

本实用新型公开了一种翻舟固定装置，包括固定板和用于固定花篮的移动台,固定板和移动台之间设置有传动机构，使得移动台能够相对于固定板移动。能保证翻舟机构在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落；通过传动块和...

本实用新型公开了一种新型小舟，包括顶板、底板和槽棒；顶板和底板通过槽棒连接，槽棒上分布设置槽口，槽口内设置斜切面，使放置物与斜切面通过点接触或线接触，斜切面设置成三角形或梯形状；本实用新型提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新...