一种抓片装置，包括壳体和吸盘主体，壳体内安装有五十片吸盘主体，壳体内设有气腔，气腔内设有安装单元，安装单元包括卡块和固定轴，卡块和固定轴都有两个，它们通过两端的固定块进行连接；本实用新型专利技术的有益效果是：本实用新型专利技术的多吸盘结构设计有助于装置一次性抓取大量的吸盘，提高工作效率；本实用新型专利技术采用耐高温材料制作吸盘，适用于高温条件；新颖的吸盘结构设计配合多气槽的同心分布，可以增大吸盘与片状材料之间的吸力，使送料时片状材料很难脱落；插片部位的设置让吸盘很容易的插入到摆放在一起的片状元件之间，大大方便了送/取料操作。
【技术实现步骤摘要】
一种抓片装置
本技术涉及送/取料
，尤其涉及用于一种半导体材料或光伏材料加工的吸盘。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，目前行业虽然已经有不少相关设备，但是某一些技术问题仍未得到解决，比如如何实现半导体和光伏片状原料的快速取/送料，片状的半导体和光伏材料轻薄易碎，人工取/送料极易损毁；半导体和光伏片状原料难以进行大量取/送料，导致加工过程中取/送料阶段花费大量时间；此外，半导体和光伏中的部分加工工艺需要在高温条件下进行，比如材料的镀膜、扩散、氧化、LPCVD等管式炉上下料，例如超薄硅片，它需要在低压高温氛围下实现化学反应和沉积成膜，而现实生活中应用较多的：普通片状材料的送/取料，它采用的是吸盘式送/取料机构，很显然，这种机构无法应用在这样的高温环境下，因为吸盘的材料大多是硅胶、聚氨酯，他们在高温下会熔化，无法完成进出料操作。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种抓片装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的一种抓片装置，包括壳体和吸盘主体，壳体内安装有五十片吸盘主体，作为优选的技术方案，壳体内安装有一片以上吸盘主体，本技术并不对吸盘主体的数量进行限定。多片吸盘主体的设置有助于装置一次性抓取大量的吸盘，提高工作效率。优选的，壳体内设有气腔，气腔内设有安装单元，安装单元包括卡块和固定轴，卡块和固定轴都有两个，它们通过两端的固定块进行连接。优选的，壳体上设有负压装置，负压装置能够减小气腔内的气压，负压装置包括与气腔连通的抽气连接口和进气连接口，抽气连接口和进气连接口可以通过气管与气泵连接，作为优选的技术方案，负压装置能够只包括抽气孔，抽气孔可以与密闭活塞连接，通过外拉活塞也可以在气腔内形成负压，本技术并不限定负压装置的具体选取。优选的，吸盘主体包括安装部位和吸附部位，安装部位与安装单元对应，安装部位上设有配对的卡槽和安装孔，安装部位利用卡槽和安装孔能够连接气腔内的安装单元，吸附部位能够用于吸附片状原料。优选的，吸附部位上设有三个环状同心分布且槽深相同的气槽，作为优选的技术方案，气槽可以是环状、螺旋状、方形状，它们成扩散状分布在吸附部位表面；作为优选的技术方案，气槽至少有一个，也可以有多个，当气槽为多个时，气槽以尽量均匀分布在吸附部位表面的方式来布置，从而使吸盘主体对片状原料的吸附力尽可能均匀，这种多气槽的同心分布设置可以增大气槽与片状材料之间的吸力，使送/取料时片状材料很难脱落。优选的，每个环形气槽的底部皆设有一个气孔，作为优选的技术方案，气槽设置在吸附部位的表面，作为优选的技术方案，气孔位于气槽的侧壁。三个气孔呈直线排布在该吸盘的对称面上，且皆位于环形气槽靠近安装部位的一侧上，吸盘主体内设有个抽气通道，作为优选的技术方案，吸盘主体内设有至少一个抽气通道。抽气通道的截面呈扁长方形状，且该抽气通道穿过安装部位连通吸附部位内的三个气孔，当吸盘主体通过安装部位装入壳体内时，气槽与气腔连通，在吸附部位表面被片状原料覆盖时，通过负压装置就可以使环形气槽内压力降低，能将片状原料吸附在吸附部位的表面。优选的，安装部位的厚度比吸附部位的厚度大，安装部位与吸附部位连接在一起，呈阶梯状设置，它们之间的厚度差能够用于容纳片状原料。优选的，吸附部位外端设有插片部位，插片部位的厚度较吸附部位要小，形成一个易于插入片状原料之间的导向结构，插片部位采用对称的双斜面设置，使吸附部位的外端截面呈尖状，尖状的锋锐处进行磨平处理，尖状角部对称设有倒角，这样的设计方便吸盘主体插入摆放在一起的片状元件之间。优选的，吸盘主体采用耐高温材料制成，耐高温材料包括：陶瓷、碳化硅、氧化铝、氧化锆及一些耐高温非金属氧化物等。综上所述，本技术的有益效果是：本技术采用耐高温材料制作吸盘，适用于高温条件；本技术的壳体上安装有大量的吸盘主体，每一片吸盘主体能都进行片状材料的吸附，这样的结构设计有助于装置一次性抓取大量的吸盘，大大提高了工作效率；吸盘主体内设有多个同心分布的气槽，多个同心分布的气槽可以增大吸盘与片状材料之间的吸力，让吸附后的片状材料更加稳定，有效防止送料时片状材料脱落；插片部位采用对称的双斜面设置，使吸附部位的外端截面呈尖状，并针对尖状的锋锐处进行磨平处理，尖状角部对称设有倒角，这样的设计让吸盘很容易的插入到摆放在一起的片状元件之间，大大方便了送/取料操作。附图说明图1是本装置的整体结构图；图2是壳体的底部示意图；图3是安装单元的结构示意图；图4是吸盘主体的整体结构示意图；图5是安装单元安装上吸盘主体后的结构示意图；图6是本装置的左视图；图7是图4中“A-A”方向的剖视图；图8是图6中“B-B”方向的剖视图。具体实施方式以下结合附图对本技术的实施方式做进一步详细描述，应当指出的是，实施例只是对本技术的详细阐述，不应视为对本技术的限定，本技术的实施例中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均能够以任何方式组合。参照附图1，本实施例提供一种抓片装置，包括壳体20和吸盘主体10，壳体20内安装有五十片吸盘主体10，在一些其他实施方式中，壳体20内安装有一片以上吸盘主体10，本技术并不对吸盘主体10的数量进行限定。多片吸盘主体10的设置有助于装置一次性抓取大量的吸盘，提高工作效率。参照附图2和附图3，壳体20内设有气腔21，气腔21内设有安装单元22，安装单元22包括卡块23和/或固定轴24，在本实施例中，卡块23和固定轴24都有两个，它们通过两端的固定块进行连接。参照附图1和附图2，壳体20上设有负压装置，负压装置能够减小气腔21内的气压，负压装置包括与气腔21连通的抽气连接口25和进气连接口26，抽气连接口25和进气连接口26通过各自的气管与气泵连接，气泵通过抽气连接口25对腔体21进行抽气，气泵通过进气连接口26往腔体21进气，能够实现腔体21内的气体流动，从而形成负压，在一些其他实施方式中，负压装置能够只包括抽气孔，抽气孔可以与密闭活塞连接，通过外拉活塞也可以在气腔21内形成负压，本技术并不限定负压装置的具体选取。参照附图4，吸盘主体10包括安装部位19和吸附部位14，安装部位19与安装单元22对应，安装部位14上设有配对的卡槽11和/或安装孔13，安装部位19利用卡槽11和/或安装孔13能够连接气腔21内的安装单元22，具体方式为：将吸盘主体10上的安装孔13套入安装单元22内的两根固定轴24上，将吸盘主体10上的卡槽11卡入安装单元22内的两块卡块23本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种抓片装置，其特征在于，包括壳体和吸盘主体，壳体内安装有至少一片吸盘主体，其中，吸盘主体采用耐高温材料制成，吸盘主体包括安装部位和吸附部位，安装部位连接壳体，吸附部位用于吸附片状原料。/n
【技术特征摘要】
1.一种抓片装置，其特征在于，包括壳体和吸盘主体，壳体内安装有至少一片吸盘主体，其中，吸盘主体采用耐高温材料制成，吸盘主体包括安装部位和吸附部位，安装部位连接壳体，吸附部位用于吸附片状原料。
2.根据权利要求1所述的一种抓片装置，其特征在于，壳体内设有气腔，气腔内设有安装单元，安装单元连接安装部位。
3.根据权利要求2所述的一种抓片装置，其特征在于，壳体上设有负压装置，负压装置能够减小气腔内的气压。
4.根据权利要求1所述的一种抓片装置，其特征在于，吸附部位上设有气槽，气槽能呈环形、方形、椭圆形、螺旋形，且当气槽数量大于等于两个时，气槽呈同心分布。
5.根据权利要求2或4所述的一种抓片装置，其特征在于，气槽与气腔连通。
6.根据权利要求1所述的一种抓片装置，其特征在于，安装部位的厚度比吸附部位的厚度大，安装部位与吸附部位连接在一起，呈阶梯状设置，它们之间的厚度差能够用于容纳片状原料。
7.根据权利要求1所述的一种抓片装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，庞爱锁，刘群，朱太荣，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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