一种载片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种载片装置，包括舟托；舟托用于设置舟，舟用于承载硅片；舟托的侧部设置有桨支撑位，舟托的前部和后部设置有抓手抓取位，舟托的底部设置有缓存支撑位；通过在舟托上设置桨支撑位、抓手抓取位以及缓存支撑位，使舟托能够从多个部位被对应的外部装置托起，减少了同一支撑位的使用频率，减少了磨损，延长使用寿命。延长使用寿命。延长使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种载片装置


[0001]本技术涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种载片装置。

技术介绍

[0002]目前的光伏电池片制造设备，比如扩散炉、退火炉、氧化炉、低压化学气相沉积LPCVD、等离子增强化学气相沉积PECVD等大多是采用卧式多管设备，并且多管设备共用一个净化台和上下料设备。其中每根炉管都设置有独立的气路、桨、系统以及加热模块等。在上述的设备中扩散炉用于扩散的工艺，目的是为了制备PN节；退火炉用于激活掺杂元素、改变应力、改变晶态等用途；氧化炉用于在硅片表面制备氧化层；LPCVD设备用于生长隧穿氧化层、本征非晶硅、掺杂非晶硅和二氧化硅薄膜；PECVD设备具有镀氮化硅、碳化硅、氧化硅等功能。随着光伏产业的高速发展，对于产能的要求也是逐步提高，硅片的尺寸也越来越大，这对于石英件的强度和形变要求越来越高。常规的一体式舟，用于装载硅片以及转运硅片，其中舟的槽棒上开设有500～800槽口，槽口用于卡接硅片，一根槽棒上大量的槽口，增加了槽棒的加工难度，使槽棒成品率低；另一方面由于舟承重后槽棒会发生弯曲，直接影响槽口内设置的硅片的夹取；另一方面，槽口的槽齿损坏者需要更换整个舟，增加了生产成本。因此需要一种能够载片装置，能够实现槽口与舟的分离。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种载片装置，结构简单，使用方便。
[0004]一种载片装置，包括舟托；舟托用于设置舟，舟用于承载硅片；舟托的侧部设置有桨支撑位，舟托的前部和后部设置有抓手抓取位，舟托的底部设置有缓存支撑位。
[0005]进一步的，所述舟托包括前挡板、后挡板以及连接杆，其中连接杆设置于前挡板以及后挡板之间；连接杆共两根，两根连接杆相互平行设置；两根连接杆位于同一水平面；舟位于两根连接杆之间；前挡板以及后挡板的形状、结构一致。
[0006]进一步的，所述连接杆上表面设置有至少一处缺口，缺口用于卡接舟的舟耳。
[0007]进一步的，所述前挡板整体呈方形，其中前挡板远离后挡板的一面上设置有抓手抓取位；抓手抓取位呈长条状。
[0008]进一步的，所述前挡板的左右两侧边缘向两侧凸起，形成桨支撑位。
[0009]进一步的，所述桨支撑位的下表面为水平面。
[0010]进一步的，所述前挡板的底部设置有缓存支撑位；前挡板的底部的两侧设置有凸起的舟脚，将两侧舟脚之间的凹陷部位作为缓存支撑位。
[0011]进一步的，所述连接杆上还设置有中部挡板，中部挡板位于连接杆的中间部位，中部挡板于前挡板或者后挡板平行设置；前挡板、后挡板以及中部挡板的中间部位设置为镂空。
[0012]进一步的，所述舟包括上盖板、下盖板以及槽棒；槽棒设置于上盖板与下盖板之间。
[0013]进一步的，所述上盖板以及下盖板呈方形；槽棒上设置有舟齿；舟还包括舟耳，舟耳设置于槽棒上或者上盖板和下盖板上。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]通过在舟托上设置桨支撑位、抓手抓取位以及缓存支撑位，使舟托能够从多个部位被对应的外部装置托起，减少了同一支撑位的使用频率，减少了磨损，延长使用寿命；
[0016]通过将槽棒与舟托分离，并且将槽棒设置于舟上，在槽棒损坏时只需更换舟，减少了槽棒损坏的更换成本；
[0017]将槽棒设置于舟上，相比传统的槽棒，使单根槽棒上的舟齿数量大大减少，降低了加工难度，提高槽棒的成品率。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例一的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例一的舟耳设置于上盖板和下盖板时舟与舟托的连接示意图；
[0020]图3为本技术实施例一的舟耳设置于槽棒时舟与舟托的连接示意图；
[0021]图4为本技术实施例一的舟耳与上盖板或下盖板平行时的舟示意图；
[0022]图5为本技术实施例一的桨和舟托连接的左视图；
[0023]图6为本技术实施例一的桨和舟托连接的主视图；
[0024]图7为本技术实施例一的抓手和舟托连接的左视图；
[0025]图8为本技术实施例一的抓手和舟托连接的主视图；
[0026]图9为本技术实施例一的缓存支撑柱与舟托连接的左视图；
[0027]图10为本技术实施例一的缓存支撑柱与舟托连接的主视图。
[0028]附图标识说明：舟托1、前挡板11、后挡板12、连接杆13、缺口131、桨支撑位14、抓手抓取位15、增厚块151、缓存支撑位16、舟脚17、中部挡板18、舟2、上盖板21、下盖板22、槽棒23、舟齿24、舟耳25、桨3、抓手4、缓存支撑柱5。
具体实施方式
[0029]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0030]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0031]实施例一：
[0032]如图1
‑
3所示，一种载片装置，包括舟托1；舟托1用于设置舟2，舟2用于承载硅片；舟托1的侧部设置有桨支撑位14，舟托1的前部和后部设置有抓手抓取位15，舟托1的底部设置有缓存支撑位16。
[0033]如图4所示，所述舟2包括上盖板21、下盖板22以及槽棒23，其中槽棒23设置于上盖板21与下盖板22之间。上盖板21以及下盖板22呈方形。槽棒23上设置有舟齿24，槽棒23共四根，四根槽棒23设置于上盖板21或者下盖板22的四个角上。舟2还包括舟耳25，舟耳25设置于槽棒23上或者上盖板21和下盖板22上，在本例中舟耳25设置于槽棒23上。舟耳25呈板状，舟耳25所处的平面与上盖板21或者下盖板22平行。舟2通过舟耳25架于舟托1上。需要说明的是在一些其他实施方式中舟耳25还能够与上盖板21以及下盖板22垂直设置，此时四根槽棒23中的两根靠近上盖板21或下盖板22的一条边缘设置，另外两根槽棒23分别设置于上盖板21或下盖板22上远离改边缘的两个角上，其中设置与上盖板21或下盖板22的边缘的两根槽棒23用于支撑硅片，设置于上盖板21或下盖板22两个角上的槽棒23用于对硅片形成限位。
[0034]如图5
‑
10所示，所述舟托1包括前挡板11、后挡板12以及连接杆13，其中连接杆13设置于前挡板11以及后挡板12之间。连接杆13共两根，两根连接杆13相互平行设置，并且位于同一水平面，舟2位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载片装置，其特征在于，包括舟托；舟托用于设置舟，舟用于承载硅片；舟托的侧部设置有桨支撑位，舟托的前部和后部设置有抓手抓取位，舟托的底部设置有缓存支撑位。2.根据权利要求1所述的一种载片装置，其特征在于，所述舟托包括前挡板、后挡板以及连接杆，其中连接杆设置于前挡板以及后挡板之间；连接杆共两根，两根连接杆相互平行设置；两根连接杆位于同一水平面；舟位于两根连接杆之间；前挡板以及后挡板的形状、结构一致。3.根据权利要求2所述的一种载片装置，其特征在于，所述连接杆上表面设置有至少一处缺口，缺口用于卡接舟的舟耳。4.根据权利要求2所述的一种载片装置，其特征在于，所述前挡板整体呈方形，其中前挡板远离后挡板的一面上设置有抓手抓取位；抓手抓取位呈长条状。5.根据权利要求2所述的一种载片装置，其特征在于，所述前挡板的左右两侧边缘向两侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，庞爱锁，刘群，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：