一种进气结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种进气结构，包括匀流装置，匀流装置采用桶状结构，包括桶体，桶体一端开口，桶体另一端连接封闭面，封闭面上设有开孔。本实用新型专利技术中，桶体的设置能够将进入匀流装置的气体集中起来，避免气体向四周扩散。气体从封闭面上的开孔流出，被均匀打散，避免气流直接对硅片进行冲击，能够改善扩散片间均匀性，减小片间方阻极差。减小片间方阻极差。减小片间方阻极差。

【技术实现步骤摘要】
一种进气结构


[0001]本专利技术涉及太阳能N型及P型电池制造领域，具体涉及一种进气结构。

技术介绍

[0002]能源作为社会发展的三大支柱置益，不仅是人类生产活动进行和发展的动力，同时对人类社会经济发展也起着巨大的推动作用。数十年来，世界各国为了自身的发展，大力开采化石燃料。然而化石燃料的过度使用却对空气造成了严重的污染，已成为全球性的重大问题。为应对传统化石能源对环境造成的影响，须减少传统化石能源的消费比重，开发太阳能、风能和生物能等绿色能源。其中，太阳能作为理想的可再生能源，符合环境保护和可持续发展的要求，因此受到了各个国家的广泛关注。
[0003]当前，规模化生产制作单晶硅太阳能电池的流程一般为：制绒—硼扩散—刻蚀—磷扩散—去PSG/BSG—镀减反射膜—电极印刷—烧结。其中扩散是最关键的工序之一，扩散制作的PN结是太阳能电池的心脏，它决定了太阳能电池PN结的结深，表面杂质浓度等参数。扩散的不均匀会直接影响电池电性能参数的正态分布，导致电池低效率比例的增加。对于做发射极高方阻扩散工艺的电池而言，其对电池性能的影响将会更严重。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种进气结构，能够改善扩散片间均匀性，减小片间方阻极差。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0006]一种进气结构，包括匀流装置，匀流装置采用桶状结构，包括桶体，桶体一端开口，桶体另一端连接封闭面，封闭面上设有开孔。
[0007]进一步地，匀流装置下部设有支撑件，支撑件与桶体固定连接。
[0008]进一步地，所述支撑件为圆柱形。
[0009]进一步地，支撑件内部中空。
[0010]进一步地，支撑件一端开口。
[0011]进一步地，匀流装置还包括连接件，连接件连接支撑件。
[0012]进一步地，连接件位于桶体开口这一侧。
[0013]进一步地，所述进气结构还包括补气管，补气管被配置为能够用于补充气体，所述气体可以是氮气或/和惰性气体。
[0014]进一步地，补气管采用堵头的形式，补气管一端封闭，另一端开口，用于通入气体，补气管上设有气体出口。
[0015]进一步地，补气管从炉尾插入炉管，伸向炉口；补气管靠近炉口的那一端封闭，另一端开口。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017](1)本技术中，进气结构包括匀流装置，匀流装置采用桶状结构，包括桶体，桶
体另一端连接封闭面(即另一端封闭)，封闭面上设有开孔；桶体的设置能够将进入匀流装置的气体集中起来，避免气体向四周扩散。气体从封闭面上的开孔流出，被均匀打散，避免气流直接对硅片进行冲击，能够改善炉尾上中下硅片方阻的片间差异。
[0018](2)本技术中，封闭面不是整个面都设有开孔，开孔区域的形状与小舟形状对应(可以根据小舟的形状设置)，有利于气体更集中的去往小舟而不是从小舟边上流走。这种桶状的匀流装置在炉管内的稳定性更好，不会晃动，且增加了连接件，便于放进炉管和从炉管种拿出来。
[0019](3)本技术中，连接件的形状类似于拱形拉手，连接件的两端分别连接两个圆柱形支撑件的一端，连接件便于使用者抓握，有利于向炉管中拿取或者放置匀流装置，同时，连接件位于桶体开口这一侧，可以平衡整个装置的重量分布，使得整个结构较为稳定。
[0020](4)本技术中，进气结构还包括补气管，可以用于补充氮气，可以在不改变现有的抽气结构下改善抽气口位置片间的均匀性，且几乎对其他舟内的方阻无影响，可实现单独调空区域方阻。本技术通过对炉口片间均匀性的改善可以使得产能及均匀性都得到提升，不需要增加炉管长度，节省了机台空间与机台制造成本。扩散后方阻的均匀性较好有利于后续工艺的匹配，整体电性能也更加稳定。
附图说明
[0021]图1是匀流装置的结构示意图。
[0022]图2是从另一个角度看，匀流装置的结构示意图(显示出了连接件的结构)。
[0023]图3是匀流装置安装在炉管内部的示意图。
[0024]图4是补气管在炉管内部的结构示意图(隐去了炉管中其他部件)。
[0025]图5是不加补气管时炉管的剖视图(图中显示出了气流的变化)。
[0026]图6是增加补气管时炉管的剖视图(图中显示出了气流的变化)。
具体实施方式
[0027]以下结合附图对本技术的技术方案做进一步详细说明，应当指出的是，具体实施方式只是对本技术的详细说明，不应视为对本技术的限定。
[0028]实施例1
[0029]如图1
‑
2所示，一种进气结构包括匀流装置，匀流装置采用桶状结构，包括桶体1a，桶体1a一端开口(此为第一开口7a)，桶体1a另一端连接封闭面(即将桶体另一端封闭)，封闭面2a上设有开孔3a。桶体1a能够将进入匀流装置的气体集中起来，避免气体向四周扩散；气体从封闭面2a上的开孔3a流出，被均匀打散，避免气流直接对硅片进行冲击。
[0030]在一些优选的方式中，开孔3a的形状可以为圆形、椭圆、方形、三角形等形状，本申请不对开孔的形状进行限制。开孔的数量也可以根据实际需要进行设置。本实施例中，开孔形状为圆形。
[0031]在一些优选的方式中，如图1
‑
2所示，匀流装置下部设有支撑件4a，支撑件4a与桶体1a固定连接，支撑件4a能够支撑整个匀流装置，同时支撑件4a可以用于将匀流装置稳定放置在某一位置，比如可以将匀流装置放置在炉管内部。在一些优选的方式中，支撑件4a的形状与炉管内部放置区域的形状相匹配，有利于将匀流装置稳定放置于炉管内部。
[0032]在一些优选的方式中，所述支撑件4a为圆柱形，圆柱形的支撑件4a与圆形炉管接触部位相匹配。本实施例中，如图1
‑
2所示，匀流装置包括两个圆柱形的支撑件4a。
[0033]在一些优选的方式中，如图1所示，支撑件4a内部中空，并且支撑件4a一端开口(此为第二开口8a)，可以将支撑件4a套在相对应的固定件6a上，如图1
‑
3所示，支撑件4a的开口方向与桶体1a的开口方向相反，匀流装置被放置在炉管内部，支撑件4a套在炉管内部的固定件上。因为支撑件4a内部中空，这样还可以减轻整个匀流桶的重量。图3中显示出了一种匀流装置的安装方式，支撑件套在固定件6a上，实现匀流装置与炉管的连接。在其他实施方式中，可以采用其他方式进行安装，比如类似于卡扣形式的安装，炉管内设有卡槽，能够与支撑件配合，实现匀流装置与炉管的连接。
[0034]本申请中的匀流装置，在使用时，可以让气体先通过封闭面的开孔3a,再经过桶体流出；也可以先让气体通过桶体1a，再从开孔3a流出。
[0035]在一些优选的方式中，如图2所示，匀流装置还包括连接件5a，连接件5a连接支撑件4a，连接件5a配置为能够用于使用者抓握，而且连接件5a与支撑件4a连接在一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进气结构，其特征是，包括匀流装置，匀流装置采用桶状结构，包括桶体，桶体一端开口，桶体另一端连接封闭面，封闭面上设有开孔；所述进气结构还包括补气管，补气管被配置为能够用于补充气体，所述气体是氮气或/和惰性气体。2.根据权利要求1所述的一种进气结构，其特征是，匀流装置下部设有支撑件，支撑件与桶体固定连接。3.根据权利要求2所述的一种进气结构，其特征是，所述支撑件为圆柱形。4.根据权利要求2所述的一种进气结构，其特征是，支撑件内部中空。5.根据权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，祁文杰，梁笑，范伟，毛文龙，卢佳，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：