本实用新型公开了一种管式炉。该管式炉包括外管和炉管，外管包括加热装置，外管的管壁上设置有连通结构，炉管置于外管内，炉管内具有工作腔，工作腔用于容纳待处理的产品，炉管的管壁向工作腔内突出形成凹陷结构，凹陷结构的内部具有测温腔，测温腔与工作...

本实用新型公开了一种真空炉体及真空设备，真空炉体包括炉体外壳、炉体内壳、炉壳联结环、炉尾法兰、炉门法兰和真空抽取管，炉体外壳的两端敞开设置，炉体内壳的外侧壁与炉体外壳的内侧壁间隔设置以限定出两端敞开设置的冷却流道，冷却流道具有冷却出口和...

本实用新型属于半导体技术领域，公开了炉口冷却装置，包括水冷组件；水冷组件包括水冷壳体，水冷壳体内设有水冷管，水冷壳体上设有出风口；该炉口冷却装置还包括风机和连接组件，该连接组件包括连接管道，水冷壳体与风机通过连接管道相连通，以能够使风机...

本实用新型公开了一种热电偶及反应炉。该热电偶包括测温组件、直管、弯管和连接组件。其中，测温组件包括测温段和弯折段，直管的一端封闭，另一端具有第一开口，测温段经第一开口延伸至直管内的预设安装位置；弯管的两端分别具有互通的第二开口和第三开口...

本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，具体公开了一种暂存装置，包括架体和冷却机构，架体上设有多个用于放置载具舟的存放平台，存放平台内设有风道，风道的进口端与冷却机构连通，风道的出口端对应载具舟的底部设置，通过冷却机构可向风道内送入冷风，...

本实用新型公开了一种气源柜。该气源柜包括气柜模组和电柜模组，气柜模组包括气柜柜体和独立设在气柜柜体内的气路组件、气源组件和真空组件，电柜模组包括电柜柜体和独立设在电柜柜体内的射频电源组件、强电组件和弱电组件。气柜柜体和电柜柜体可拆卸连接...

本实用新型属于光伏设备技术领域，具体公开了一种水冷系统，其冷却结构设置炉体上，冷却水从进液管路流入炉体上设置的前炉门组件中，在前炉门组件的第一冷却流道内流通后，进入后炉门组件的第二冷却流道内，之后从出液管路流出，冷却水从炉体的炉口处流向...

本实用新型属于硅片扩散技术领域，公开了一种支架结构及高温反应炉。该支架结构包括支架本体和加强组件，该支架本体用于支撑石英管本体的内壁且该支架本体内部用于容纳石英舟，该支架本体上设有扩散孔；该加强组件设在该支架本体的内侧壁上。该支架结构能...

本发明提供了一种基体表面镀层的制备方法，所述制备方法包括：将二氧化硅、金属氧化物和溶剂混合配制成浆料，再将浆料涂覆在基体表面，形成浆料层；将涂覆浆料层的基体进行固化处理，得到含有表面镀层的基体。本发明所述方法通过浆料涂覆及固化处理的操作...

本发明提供了一种绝缘支撑结构、镀膜装置和沉积装置，所述绝缘支撑结构包括支撑主体和套体，所述支撑主体的一侧支撑侧开设有嵌合凹槽，另一侧支撑侧设置有嵌合凸起；所述套体套设所述支撑主体，所述套体和所述支撑主体之间设置有间隔件，所述间隔件用于连...

本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，公开了一种高温炉管及高温炉。该高温炉管包括高温炉管本体，还包括喷淋管和喷淋管安装结构。该喷淋管穿设于该高温炉管本体的尾部且沿该高温炉管本体的轴向延伸设置；该喷淋管安装结构设在该高温炉管本体内侧壁上且...

本实用新型公开了一种舟托及半导体设备，属于半导体制造技术领域。该舟托包括舟托主体、供能组件和散热组件，舟托主体用于承托舟，供能组件和散热组件安装于舟托主体，散热组件能够在舟托主体的运动过程和/或静置过程中通过热传递的方式降低舟的温度，散...

本实用新型公开了一种工艺炉管,包括炉管本体和至少一组隔离层，炉管本体固设有工艺腔室，工艺腔室用于放置待工艺产品组，工艺气体通入工艺腔室，隔离层安装在工艺腔室，隔离层位于炉管本体的内壁与待工艺产品组之间，隔离层用于降低工艺气体的流速，本实...

本实用新型公开了高温热炉的测温系统及高温热炉，该高温热炉的测温系统包括热电偶测温组件和红外测温组件，热电偶测温组件包括热电偶测温件以及第一驱动件，热电偶测温件配合在高温热炉的第一测温孔内，第一驱动件与热电偶测温件相连以驱动热电偶测温件的...

本实用新型公开了一种基板上料机,包括上料机构、料盒搬运机构和料盒，上料机构分别与基板拾取机构和料盒搬运机构对应，上料机构将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构搬运位于取料位的料盒便于基板拾取机构从料盒中取出基板，料盒搬运机构...

本实用新型公开了一种真空水冷电极,包括水冷接头、电极臂、安装座、绝缘组件、密封组件、隔离组件以及过渡电极，水冷接头与电极臂连接对电极臂温升进行控制，绝缘组件使安装座与炉壳法兰保持绝缘状态，密封组件使安装座与炉壳法兰保持密封状态，通过调整...

本实用新型公开了一种碳化硅高温氧化激活炉炉体,包括炉顶、炉壳、进气法兰、隔热组件、工艺管和内衬管，隔热组件安装在工艺室，设备发热体安装在隔热组件和工艺管之间，本实用新型提高了炉体的最高工作温度，工艺管与内衬管采用耐热材料且表面涂层处理，...

本实用新型公开了一种基于LPCVD的高均匀性原位掺杂气路结构，包括尾端盖与进气管，尾端盖上设有进气孔，所述进气孔被配置为能够允许进气管通过并由此进入炉管内部。本实用新型的新型气路结构可以用于原位掺杂非晶硅镀膜，能够极大提高掺杂非晶硅的掺...

本实用新型公开了一种分体式机架结构,包括框架组件、导轨组件、连接杆、安装底板以及调平机构，框架组件设置两组，两组框架组件对称设置且通过连接杆连接形成框架结构，安装底板安装在框架组件，调平机构用于使导轨组件与水平方向保持垂直或近似垂直状态...

本实用新型公开了一种高温气体快速降温装置,包括供水系统、冷却系统和抽气系统，冷却系统包括雾化器，供水系统为冷却系统供水，抽气系统用于高温气体的抽取，冷却水雾化后的雾化液对高温气体冷却降温，本实用新型采用水气化相变降温的物理原理对高温气体...