真空炉体及真空设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空炉体及真空设备，真空炉体包括炉体外壳、炉体内壳、炉壳联结环、炉尾法兰、炉门法兰和真空抽取管，炉体外壳的两端敞开设置，炉体内壳的外侧壁与炉体外壳的内侧壁间隔设置以限定出两端敞开设置的冷却流道，冷却流道具有冷却出口和冷却入口，炉壳联结环与炉体外壳以及炉体内壳的一端焊接连接，炉壳联结环用于封闭冷却流道的一端，炉尾法兰与炉壳联结环焊接连接，且位于炉壳联结环背离炉体外壳的一侧，炉门法兰与炉体外壳以及炉体内壳的另一端焊接连接，炉门法兰用于封闭冷却流道的另一端，真空抽取管的一端穿设且焊接在炉体外壳和炉体内壳上。该真空炉体在检修过程中能够非常方便地检测漏点，且制造良率高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
真空炉体及真空设备


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，尤其涉及一种真空炉体及真空设备。

技术介绍

[0002]半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如将片状材料送入炉中，在一定温度、压力以及气体氛围等工艺条件下进行反应来获得所需产品，因此需要用到真空加热炉。
[0003]真空加热炉的真空炉体的密封度很大程度上影响到了产品的制造良率，如果在工作过程中真空炉体出现泄露，一方面泄露的工艺气体可能会对工作人员产生危害，另一方面外部空气进入真空炉体会影响产品的加工，降低产品制造良率。现有的真空加热炉的炉体结构在检修过程中不容易找到泄露点。

技术实现思路

[0004]本技术的第一个目的在于提出一种真空炉体，该真空炉体在检修过程中能够非常方便地检测漏点，且制造良率高。
[0005]本技术的第二个目的在于提出一种真空设备，该真空设备的检修较为方便。
[0006]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0007]本技术公开了一种真空炉体，包括：炉体外壳，所述炉体外壳的两端敞开设置；炉体内壳，所述炉体内壳的两端敞开设置，且设在所述炉体外壳内，所述炉体内壳的外侧壁与所述炉体外壳的内侧壁间隔设置以限定出两端敞开设置的冷却流道，所述冷却流道具有冷却出口和冷却入口；炉壳联结环，所述炉壳联结环与所述炉体外壳以及所述炉体内壳的一端焊接连接，所述炉壳联结环用于封闭所述冷却流道的一端；炉尾法兰，所述炉尾法兰与所述炉壳联结环焊接连接，且位于所述炉壳联结环背离所述炉体外壳的一侧；炉门法兰，所述炉门法兰与所述炉体外壳以及所述炉体内壳的另一端焊接连接，所述炉门法兰用于封闭所述冷却流道的另一端；真空抽取管，所述真空抽取管的一端穿设且焊接在所述炉体外壳和所述炉体内壳上，所述真空抽取管的另一端用于与抽真空装置相连。
[0008]在一些实施例中，所述炉体外壳包括外壳本体和焊接在所述外壳本体一端的外封头，所述外封头的外周面为弧形面，所述外封头与所述炉壳联结环焊接相连。
[0009]在一些实施例中，所述炉体内壳包括内壳本体和焊接在所述内壳本体一端的内封头，所述内封头的内周面为弧形面，所述内封头与所述炉壳联结环焊接相连。
[0010]在一些实施例中，所述真空炉体还包括穿设且焊接在所述炉体外壳以及所述炉体内壳上的安全阀座、电极安装座、气体管道座、真空解除安装座、测温安装座、加热安装座；其中：所述安全阀座用于安装安全控制阀，所述电极安装座用于安装电极组件，所述气体管道座用于安装工艺气体管道，所述真空解除安装座用于安装真空解除控制阀，所述测温安装座用于安装测温组件，所述加热安装座用于安装加热组件。
[0011]在一些实施例中，所述真空炉体还包括冷却出口法兰和冷却入口法兰，所述冷却
出口法兰上设有第一卡箍，所述冷却出口法兰穿设在所述冷却出口内且与所述炉体外壳焊接，所述冷却入口法兰穿设在所述冷却入口内且与所述炉体外壳焊接，所述冷却入口法兰上设有第二卡箍，所述第一卡箍和所述第二卡箍分别用于将所述冷却出口法兰和所述冷却入口法兰与冷却管道、盲板法兰、真空规、外部真空泵或者氦质谱检漏仪锁合。
[0012]在一些实施例中，所述真空炉体还包括连接在所述炉体外壳上的炉体支架。
[0013]在一些实施例中，所述真空炉体还包括排胶管，所述排胶管穿设且焊接在所述炉体外壳及所述炉体内壳上。
[0014]本技术还公开了一种真空设备，包括如前文所述的真空炉体、炉门装置，真空装置、炉尾电机以及脱脂组件，所述真空装置连接在所述真空抽取管的另一端上，所述脱脂组件连接在真空炉体的排胶管的另一端上，所述炉尾电机的罩壳连接在所述炉尾法兰上，所述炉门装置可开合地连接在所述炉门法兰上。
[0015]在一些实施例中，所述真空装置包括：真空泵；真空管道组件，所述真空管道组件与所述真空泵相连；真空壳体，所述真空壳体与所述真空管道组件以及真空抽取管相连；真空规，所述真空规设在所述真空壳体上，且用于检测所述真空炉体内的真空度。
[0016]在一些具体的实施例中，所述真空壳体上还设有真空抽取口，所述真空抽取口能够与氦质谱检漏仪相连。
[0017]本技术的真空炉体的有益效果：由于炉壳联结环、炉门法兰和真空抽取管均与炉体外壳以及炉体内壳焊接相连，炉尾法兰与炉壳联结环焊接，在实际检测过程中，在制造完成后，只需要将外部真空泵与冷却出口和冷却出口中的一个相连，氦质谱检漏仪与冷却出口和冷却出口中的另一个相连，将冷却流道抽真空后，启动氦质谱检漏仪的同时依次朝向炉壳联结环、炉门法兰、真空抽取管与炉体外壳以及炉体内壳之间的焊缝喷氦，如果氦质谱检漏仪检测到氦气含量大于预设值时就能够判断出喷氦点出现了泄漏，不需要将刚刚制造的真空炉体安装到特定的检测装置上即可进行检测，使得检测泄漏的操作非常方便，在制造完成后可以通过反复检测漏率以提升制造良率。与此同时，当真空炉体出厂安装到真空设备中后，检修过程中也可以参考上述流程对真空炉体进行单独检修且无需将真空炉体从真空设备上拆卸，方便了检修。
[0018]本技术的真空设备的有益效果，由于具有前文所述的真空炉体，在实际测试过程中，当真空炉体的测试完毕后，可以将氦质谱检漏仪安装到真空炉体上，并且使得氦质谱检漏仪上的真空泵能够抽取真空炉体内的气体，使用真空装置将整个真空设备抽至真空状态，朝向各个零部件的连接处喷氦，如果氦质谱检漏仪检测到氦气含量大于预设值就证明喷氦处存在泄漏，这样可以非常方便地测出整个真空设备的漏点。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]图1是本技术实施例的真空炉体的结构示意图；
[0021]图2是本技术实施例的真空炉体的另一方向的结构示意图；
[0022]图3是本技术实施例的真空炉体的剖面示意图；
[0023]图4是本技术实施例的真空炉体的另一方向的剖面示意图；
[0024]图5是本技术实施例的真空设备的结构示意图。
[0025]附图标记：
[0026]1、炉体外壳；101、外壳本体；102、外封头；2、炉体内壳；201、内壳本体；202、内封头；3、炉壳联结环；4、炉尾法兰；5、炉门法兰；6、真空抽取管；7、安全阀座；8、电极安装座；9、气体管道座；10、真空解除安装座；11、测温安装座；12、加热安装座；13、冷却出口法兰；14、冷却入口法兰；15、第一卡箍；16、第二卡箍；17、炉体支架；18、排胶管；19、冷却流道；
[0027]20、安全控制阀；30、电极组件；40、工艺气体管道；50、真空解除控制阀；60、测温组件；70、加热组件；80、炉门装置；90、真空装置；910、真空泵；920、真空管道组件；930、真空壳体；940、真空规；100、炉尾电机；2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空炉体，其特征在于，包括：炉体外壳(1)，所述炉体外壳(1)的两端敞开设置；炉体内壳(2)，所述炉体内壳(2)的两端敞开设置，且设在所述炉体外壳(1)内，所述炉体内壳(2)的外侧壁与所述炉体外壳(1)的内侧壁间隔设置以限定出两端敞开设置的冷却流道(19)，所述冷却流道(19)具有冷却出口和冷却入口；炉壳联结环(3)，所述炉壳联结环(3)与所述炉体外壳(1)以及所述炉体内壳(2)的一端焊接连接，所述炉壳联结环(3)用于封闭所述冷却流道(19)的一端；炉尾法兰(4)，所述炉尾法兰(4)与所述炉壳联结环(3)焊接连接，且位于所述炉壳联结环(3)背离所述炉体外壳(1)的一侧；炉门法兰(5)，所述炉门法兰(5)与所述炉体外壳(1)以及所述炉体内壳(2)的另一端焊接连接，所述炉门法兰(5)用于封闭所述冷却流道(19)的另一端；真空抽取管(6)，所述真空抽取管(6)的一端穿设且焊接在所述炉体外壳(1)和所述炉体内壳(2)上，所述真空抽取管(6)的另一端用于与抽真空装置(90)相连。2.根据权利要求1所述的真空炉体，其特征在于，所述炉体外壳(1)包括外壳本体(101)和焊接在所述外壳本体(101)一端的外封头(102)，所述外封头(102)的外周面为弧形面，所述外封头(102)与所述炉壳联结环(3)焊接相连。3.根据权利要求1所述的真空炉体，其特征在于，所述炉体内壳(2)包括内壳本体(201)和焊接在所述内壳本体(201)一端的内封头(202)，所述内封头(202)的内周面为弧形面，所述内封头(202)与所述炉壳联结环(3)焊接相连。4.根据权利要求1所述的真空炉体，其特征在于，所述真空炉体还包括穿设且焊接在所述炉体外壳(1)以及所述炉体内壳(2)上的安全阀座(7)、电极安装座(8)、气体管道座(9)、真空解除安装座(10)、测温安装座(11)、加热安装座(12)；其中：所述安全阀座(7)用于安装安全控制阀(20)，所述电极安装座(8)用于安装电极组件(30)，所述气体管道座(9)用于安装工艺气体管道(40)，所述真空解除安装座(10)用于安装真空解除控制阀(50)，所述测温安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，林佳继，刘群，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：