高温炉管及高温炉制造技术

本实用新型专利技术属于太阳能电池制备技术领域，公开了一种高温炉管及高温炉。该高温炉管包括高温炉管本体，还包括喷淋管和喷淋管安装结构。该喷淋管穿设于该高温炉管本体的尾部且沿该高温炉管本体的轴向延伸设置；该喷淋管安装结构设在该高温炉管本体内侧壁上且被配置为安装该喷淋管。该高温炉管结构可靠，便于安装，同时能够保证喷淋工序可靠有效。同时能够保证喷淋工序可靠有效。同时能够保证喷淋工序可靠有效。

【技术实现步骤摘要】
高温炉管及高温炉


[0001]本技术涉及太阳能电池制备
，尤其涉及一种高温炉管及高温炉。

技术介绍

[0002]在晶硅太阳能电池生产工艺的扩散工艺和氧化工艺使用的等高温管式炉中，需要通入气体，为了实现气体通入，需要在高温管式炉的内壁布置喷淋管用于喷淋式进气。在这一过程中，需要保证喷淋管在高温管式炉的内壁上的可靠安装，进而提升喷淋工序的可靠性。
[0003]因此，亟需一种高温炉管及高温炉，以解决以上问题。

技术实现思路

[0004]根据本技术的一个方面，目的在于提供一种高温炉管，该高温炉管结构可靠，便于安装，同时能够保证喷淋工序可靠有效。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]高温炉管，包括高温炉管本体，还包括喷淋管和喷淋管安装结构；所述喷淋管穿设于所述高温炉管本体的尾部且沿所述高温炉管本体的轴向延伸设置；所述喷淋管安装结构设在所述高温炉管本体内侧壁上且被配置为安装所述喷淋管。
[0007]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管安装结构包括与所述高温炉管本体一体成型的多个安装凸台，多个所述安装凸台沿所述高温炉管本体的轴向间隔布置，位于所述高温炉管本体的同一轴向位置的多个所述安装凸台沿所述高温炉管本体的周向间隔布置，所述安装凸台被配置为支撑所述喷淋管。
[0008]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管安装结构包括与所述高温炉管本体一体成型的多个安装凸条，所述安装凸条沿所述高温炉管本体的轴向延伸设置，多个所述安装凸条沿所述高温炉管本体的周向间隔布置，所述安装凸条被配置为支撑所述喷淋管。
[0009]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管安装结构包括多个安装套筒，多个所述安装套筒的安装孔正对，沿所述高温炉管本体的轴向间隔连接于所述高温炉管本体的内壁，多个所述安装套筒被配置为插设所述喷淋管。
[0010]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管安装结构包括多个安装挂钩，多个所述安装挂钩沿所述高温炉管本体的轴向间隔连接于所述高温炉管本体的内壁，多个所述安装挂钩被配置为挂装所述喷淋管。
[0011]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管的一端为封闭端，所述封闭端伸入所述高温炉管本体，另一端为进气端，所述进气端连通进气装置。
[0012]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管沿其轴向间隔开设多个喷淋孔，所述喷淋孔用于向所述高温炉管本体内喷淋气体。
[0013]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，多个所述喷淋孔呈并排的两列开设
于所述喷淋管侧部，每列的多个所述喷淋孔的中心的连线平行于所述高温炉管本体的轴向。
[0014]作为本技术提供的高温炉管的优选方案，所述喷淋管和所述高温炉管本体的长度比为3:4。
[0015]根据本技术的另一个方面，目的在于提供一种高温炉，该高温炉包括进气装置，还包括上述方案任一所述的高温炉管，所述喷淋管连通于所述进气装置。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术提供的高温炉管包括高温炉管本体，还包括喷淋管和喷淋管安装结构。该喷淋管安装于该高温炉管本体内，即该喷淋管能够用于向高温炉管本体内喷洒挥发的液态硼源或磷源的气体。该喷淋管安装结构沿该高温炉管本体的轴向设置于该高温炉管本体的内壁，被配置为安装该喷淋管，即通过该喷淋管安装结构能够保证喷淋管在高温炉管本体的内壁上的可靠安装，进而提升喷淋工序的可靠性。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例一提供的高温炉管的结构示意图；
[0019]图2是图1中结构标记为A处的剖视图；
[0020]图3是图1中结构标记为B处的剖视图；
[0021]图4是本技术实施例一提供的喷淋管的部分结构示意图；
[0022]图5是本技术实施例二提供的高温炉管的结构示意图；
[0023]图6是图5中结构标记为C处的剖视图；
[0024]图7是图5中结构标记为D处的剖视图；
[0025]图8是本技术实施例三提供的高温炉管的内部结构示意图；
[0026]图9是图8中结构标记为E处的放大图；
[0027]图10是本技术实施例四提供的高温炉管的内部结构示意图；
[0028]图11是图10中结构标记为F处的剖视图。
[0029]图中：
[0030]100、高温炉管本体；
[0031]200、喷淋管；210、喷淋孔；
[0032]310、安装凸台；320、安装凸条；330、安装套筒；340、安装挂钩。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0034]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0036]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0037]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0038]实施例一
[0039]本实施例提供了一种高温炉管和一种高温炉，该高温炉包括进气装置，还包括本实施例提供的高温炉管。该进气装置能够为高温炉管提供硼源或磷源挥发的气体，该高温炉管沿水平方向设置，该高温炉管的轴向垂直于该水平方向。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高温炉管，包括高温炉管本体(100)，其特征在于，还包括：喷淋管(200)，所述喷淋管(200)穿设于所述高温炉管本体(100)的尾部且沿所述高温炉管本体(100)的轴向延伸设置；喷淋管安装结构，所述喷淋管安装结构设在所述高温炉管本体(100)内侧壁上且被配置为安装所述喷淋管(200)。2.根据权利要求1所述的高温炉管，其特征在于，所述喷淋管安装结构包括与所述高温炉管本体(100)一体成型的多个安装凸台(310)，多个所述安装凸台(310)沿所述高温炉管本体(100)的轴向间隔布置，位于所述高温炉管本体(100)的同一轴向位置的多个所述安装凸台(310)沿所述高温炉管本体(100)的周向间隔布置，所述安装凸台(310)被配置为支撑所述喷淋管(200)。3.根据权利要求1所述的高温炉管，其特征在于，所述喷淋管安装结构包括与所述高温炉管本体(100)一体成型的多个安装凸条(320)，所述安装凸条(320)沿所述高温炉管本体(100)的轴向延伸设置，多个所述安装凸条(320)沿所述高温炉管本体(100)的周向间隔布置，所述安装凸条(320)被配置为支撑所述喷淋管(200)。4.根据权利要求1所述的高温炉管，其特征在于，所述喷淋管安装结构包括多个安装套筒(330)，多个所述安装套筒(330)的安装孔正对，多个所述安装套筒(330)沿所述高温炉管本体(100)的轴向间隔连接于所述高温炉管本体(100)的内壁，多...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，伍明辉，祁文杰，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：