一种基板上料机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基板上料机,包括上料机构、料盒搬运机构和料盒，上料机构分别与基板拾取机构和料盒搬运机构对应，上料机构将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构搬运位于取料位的料盒便于基板拾取机构从料盒中取出基板，料盒搬运机构将取料后的空载料盒移出，本实用新型专利技术通过料盒在上料机构以及料盒搬运机构的流转，装载基板的料盒移动至取料位后，基板拾取机构将基板依次从料盒中取出，并将基板输送到后续工艺设备，简化了各工艺设备，各工艺之间衔接顺利，降低了成本。降低了成本。降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种基板上料机


[0001]本技术属于半导体领域，涉及一种基板上料机。

技术介绍

[0002]半导体后段封装工艺中，对基板的平整有一定的要求和限制，而基板一般是翘曲的，基板须在外部机构的作用下实现平整，目前通常在各个工艺设备装配基板平整机构，但各个基板平整机构不一致，增加了各个工艺设备的难度，不利于各工艺顺利衔接，本技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种基板上料机。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种基板上料机,其特征在于：包括上料机构、料盒搬运机构和料盒，上料机构分别与基板拾取机构和料盒搬运机构对应，上料机构将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构搬运位于取料位的料盒便于基板拾取机构从料盒中取出基板，料盒搬运机构将取料后的空载料盒移出。
[0005]进一步的；所述上料机构包括上料机架、上料驱动组件和上料感应组件，上料驱动组件和上料感应组件分别安装在上料机架，上料驱动组件驱动料盒运行，将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构位于上料驱动组件驱动料盒的运行方向，取料位设置为上料机构上与料盒搬运机构相对的一端，上料位设置为上料机构上与料盒搬运机构相背的一端，装载基板的料盒放置在上料位，装载基板的料盒通过上料驱动组件移动至取料位，上料感应组件位于取料位，用于感应装载基板的料盒是否到位，上料感应组件感应料盒到位后使上料驱动组件停止运行。
[0006]进一步的；所述上料机架包括上料底板、活动上料侧板和固定上料侧板，活动上料侧板和固定上料侧板平行设置，固定上料侧板与上料底板固设连接，固定上料侧板上固设有贯穿的基板出口，基板出口与取料位位置相对，料盒位于取料位位置时，基板拾取机构从料盒中取出基板，并经基板出口输送到后续工艺设备，活动上料侧板通过连接组件和固定组件与上料底板固设连接，连接组件和固定组件位于活动上料侧板的两侧将活动上料侧板与上料底板固设连接。
[0007]进一步的；所述上料机构还包括平台，平台位于上料底板的上方，且与上料底板平行设置，平台上方固设有若干平台轨道，料盒搬运机构将已取出基板的空载料盒移动至平台轨道，便于转移机构将空载料盒移走，活动上料侧板固设有贯穿的通腔，平台的一端与固定上料侧板固设连接，平台的另一端贯穿通腔并与活动上料侧板固设连接，平台与活动上料侧板通过安装组件连接，通过安装组件调节活动上料侧板与平台的相对固定位置。
[0008]进一步的；所述上料驱动组件包括上料电机，上料电机的输出轴固设有动力轮，安装腔前后位置安装有两组传动辊，两组传动辊上分别固设有若干带轮,且两组传动辊上的带轮一一对应，相互对应的两组带轮通过输送同步带动力连接，上层输送同步带位于上料
底板的上方，下层输送同步带位于上料底板的的下方，与料盒搬运机构相对的传动辊上固设有连接轮，动力轮和连接轮通过皮带动力连接，料盒位于两组输送同步带上，上料电机通过动力轮和连接轮的传动带动带轮转动，带轮转动使输送同步带传动，输送同步带传动带动料盒移动，上料驱动组件还包括挡块，挡块安装在取料位，挡块将料盒定位在取料位，上料感应组件包括感应开关和浮动感应块，感应开关固设在上料底板下端面，感应开关和浮动感应块配合，上料电机通过输送同步带将料盒移动至取料位时，料盒使浮动感应块摆动角度，感应开关发出信号，上料电机停止运行使料盒停留在取料位，便于料盒搬运机构对料盒的搬运和移动，以及便于基板拾取机构从料盒中取出基板。
[0009]进一步的；所述料盒搬运机构包括水平移动机构、垂直升降机构以及夹爪机构，夹爪机构包括上夹爪组件、下夹爪组件以及夹爪升降组件，夹爪升降组件控制上夹爪组件升降，使上夹爪组件以及下夹爪组件夹取或放松料盒，夹爪机构安装在垂直升降机构，垂直升降机构控制夹爪机构做升降往复移动，垂直升降机构与水平移动机构连接，水平移动机构控制垂直升降机构做水平往复移动。
[0010]进一步的；所述水平移动机构包括水平驱动组件和底座，底座上固设有两组对称的水平导轨，水平导轨上滑动设置有水平滑块，垂直升降机构与水平滑块固设连接，水平驱动组件包括水平电机、水平支座、水平联轴器和水平滚珠丝杆，水平支座固设在底座，水平电机固设在水平支座，水平电机的输出轴贯穿水平支座并与水平滚珠丝杆通过水平联轴器连接，通过水平联轴器将水平电机的转动传递给水平滚珠丝杆，水平滚珠丝杆螺旋连接有水平滚珠丝杆螺母，水平滚珠丝杆螺母与垂直升降机构转动连接，水平滚珠丝杆的轴线方向与水平导轨的方向平行，水平电机启动驱动水平滚珠丝杆转动，带动垂直升降机构沿水平导轨做水平往复移动，水平电机驱动垂直升降机构移动至前移动位置，水平电机通过驱动垂直升降机构控制夹爪机构移动至取料位夹紧料盒，水平电机驱动垂直升降机构移动至后移动位置，水平电机通过驱动垂直升降机构控制夹爪机构将料盒脱离上料机构，便于将空载的料盒移动至平台轨道，水平移动机构还包括水平拖链和水平感应器，水平拖链一端与底座固设连接，另一端与垂直升降机构固设连接，通过水平拖链限制垂直升降机构在水平方向的移动行程，水平感应器固设在底座，水平感应器用于确认垂直升降机构在水平方向是否移动到位。
[0011]进一步的；所述垂直升降机构包括垂直驱动组件和垂直支架，垂直支架包括支架底板和支架侧板，支架侧板与支架底板固设连接，支架底板与水平滑块固设连接，垂直滚珠丝杆螺母与支架侧板转动连接，垂直驱动组件包括垂直电机、垂直联轴器和垂直滚珠丝杆，垂直电机固设在支架侧板，垂直电机的输出轴贯穿支架侧板并向下与垂直滚珠丝杆通过垂直联轴器连接，通过垂直联轴器将垂直电机的转动传递给垂直滚珠丝杆，垂直滚珠丝杆的轴线方向与水平导轨的方向垂直，垂直滚珠丝杆螺旋连接有垂直滚珠丝杆螺母，垂直滚珠丝杆螺母与夹爪机构的下夹爪组件转动连接，垂直电机启动驱动垂直滚珠丝杆转动，带动夹爪机构做竖直往复移动，将空载的料盒移动至平台轨道，垂直升降机构还包括垂直拖链，垂直拖链一端与支架底板固设连接，另一端与夹爪机构固设连接，垂直拖链限制夹爪机构在竖直方向的移动行程，支架底板上固设有垂直导轨，垂直导轨的轴线与垂直滚珠丝杆的轴线平行，垂直导轨上滑动设置有若干垂直滑块，一部分垂直滑块与上夹爪组件固设连接，另一部分垂直滑块与下夹爪组件固设连接，下夹爪组件与垂直滚珠丝杆螺母转动连接，垂
直电机启动驱动垂直滚珠丝杆转动，带动上夹爪组件和下夹爪组件沿竖直方向同步做升降运动，将空载的料盒移动至平台轨道。
[0012]进一步的；所述上夹爪组件包括上夹爪座以及上夹爪，上夹爪固设在上夹爪座，上夹爪包括活动夹爪、弹簧和浮动夹头，活动夹爪的一端与上夹爪座固设连接，另一端通过弹簧和浮动夹头弹性连接，浮动夹头的下端面设置为圆弧面，自由状态下，浮动夹头在弹簧的作用下离开活动夹爪，夹取料盒时，料盒的上端面与浮动夹头的圆弧面表面紧贴，浮动夹头具有浮动量，弹簧产生的弹力使料盒在被夹取后受到预紧力，下夹爪组件包括下夹爪座和若干固定夹爪，若干固定夹爪固设在下夹爪座，固定夹爪与上夹爪位置相对，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板上料机,其特征在于：包括上料机构、料盒搬运机构和料盒，上料机构分别与基板拾取机构和料盒搬运机构对应，上料机构将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构搬运位于取料位的料盒便于基板拾取机构从料盒中取出基板，料盒搬运机构将取料后的空载料盒移出。2.根据权利要求1所述的一种基板上料机，其特征在于：所述上料机构包括上料机架、上料驱动组件和上料感应组件，上料驱动组件和上料感应组件分别安装在上料机架，上料驱动组件驱动料盒运行，将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构位于上料驱动组件驱动料盒的运行方向，取料位设置为上料机构上与料盒搬运机构相对的一端，上料位设置为上料机构上与料盒搬运机构相背的一端，装载基板的料盒放置在上料位，装载基板的料盒通过上料驱动组件移动至取料位，上料感应组件位于取料位，用于感应装载基板的料盒是否到位，上料感应组件感应料盒到位后使上料驱动组件停止运行。3.根据权利要求2所述的一种基板上料机，其特征在于：所述上料机架包括上料底板、活动上料侧板和固定上料侧板，活动上料侧板和固定上料侧板平行设置，固定上料侧板与上料底板固设连接，固定上料侧板上固设有贯穿的基板出口，基板出口与取料位位置相对，料盒位于取料位位置时，基板拾取机构从料盒中取出基板，并经基板出口输送到后续工艺设备，活动上料侧板通过连接组件和固定组件与上料底板固设连接，连接组件和固定组件位于活动上料侧板的两侧将活动上料侧板与上料底板固设连接。4.根据权利要求3所述的一种基板上料机，其特征在于：所述上料机构还包括平台，平台位于上料底板的上方，且与上料底板平行设置，平台上方固设有若干平台轨道，料盒搬运机构将已取出基板的空载料盒移动至平台轨道，便于转移机构将空载料盒移走，活动上料侧板固设有贯穿的通腔，平台的一端与固定上料侧板固设连接，平台的另一端贯穿通腔并与活动上料侧板固设连接，平台与活动上料侧板通过安装组件连接，通过安装组件调节活动上料侧板与平台的相对固定位置。5.根据权利要求3所述的一种基板上料机，其特征在于：所述上料驱动组件包括上料电机，上料电机的输出轴固设有动力轮，安装腔前后位置安装有两组传动辊，两组传动辊上分别固设有若干带轮,且两组传动辊上的带轮一一对应，相互对应的两组带轮通过输送同步带动力连接，上层输送同步带位于上料底板的上方，下层输送同步带位于上料底板的下方，与料盒搬运机构相对的传动辊上固设有连接轮，动力轮和连接轮通过皮带动力连接，料盒位于两组输送同步带上，上料电机通过动力轮和连接轮的传动带动带轮转动，带轮转动使输送同步带传动，输送同步带传动带动料盒移动，上料驱动组件还包括挡块，挡块安装在取料位，挡块将料盒定位在取料位，上料感应组件包括感应开关和浮动感应块，感应开关固设在上料底板下端面，感应开关和浮动感应块配合，上料电机通过输送同步带将料盒移动至取料位时，料盒使浮动感应块摆动角度，感应开关发出信号，上料电机停止运行使料盒停留在取料位，便于料盒搬运机构对料盒的搬运和移动，以及便于基板拾取机构从料盒中取出基板。6.根据权利要求1所述的一种基板上料机，其特征在于：所述料盒搬运机构包括水平移动机构、垂直升降机构以及夹爪机构，夹爪机构包括上夹爪组件、下夹爪组件以及夹爪升降组件，夹爪升降组件控制上夹爪组件升降，使上夹爪组件以及下夹爪组件夹取或放松料盒，夹爪机构安装在垂直升降机构，垂直升降机构控制夹爪机构做升降往复移动，垂直升降机
构与水平移动机构连接，水平移动机构控制垂直升降机构做水平往复移动。7.根据权利要求6所述的一种基板上料机，其特征在于：所述水平移动机构包括水平驱动组件和底座，底座上固设有两组对称的水平导轨，水平导轨上滑动设置有水平滑块，垂直升降机构与水平滑块固设连接，水平驱动组件包括水平电机、水平支座、水平联轴器和水平滚珠丝杆，水平支座固设在底座，水平电机固设在水平支座，水平电机的输出轴贯穿水平支座并与水平滚珠丝杆通过水平联轴器连接，通过水平联轴器将水平电机的转动传递给水平滚珠丝杆，水平滚珠丝杆螺旋连接有水平滚珠丝杆螺母，水平滚珠丝杆螺母与垂直升降机构转动连接，水平滚珠丝杆的轴线方向与水平导轨的方向平行，水平电机启动驱动水平滚珠丝杆转动，带动垂直升降机构沿水平导轨做水平往复移动，水平电机驱动垂直升降机构移动至前移动位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，龙占勇，罗迎春，李洪，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：