炉口冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体技术领域，公开了炉口冷却装置，包括水冷组件；水冷组件包括水冷壳体，水冷壳体内设有水冷管，水冷壳体上设有出风口；该炉口冷却装置还包括风机和连接组件，该连接组件包括连接管道，水冷壳体与风机通过连接管道相连通，以能够使风机通过连接管道向水冷壳体内送气体。通过风机输送气体至水冷壳体内，然后通过水冷管将进行冷却后，冷却气体进入到炉口腔室内，使炉口腔室处进行快速降温，延长炉门密封圈的使用寿命。延长炉门密封圈的使用寿命。延长炉门密封圈的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
炉口冷却装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种炉口冷却装置。

技术介绍

[0002]高温炉常用于大规模集成电路、电力电子、光伏等行业的热制程工艺中。在现有的技术中，传统高温炉炉门一般采用橡胶密封圈来密封，高温炉在进行工作时，炉门长时间保持高温，橡胶在高温下容易膨胀变形，密封圈很容易失效，从而使炉内的真空度达不到工艺需求，最终导致产品不良，因此需要对密封圈进行冷却，而传统的自然换热冷却方式冷却速度过慢，导致炉口腔室依旧长时间保持高温，炉门密封圈容易损坏失效。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种炉口冷却装置，使冷气迅速带走热气，对炉口腔室处进行快速降温，从而使炉门进行快速降温，延长炉门密封圈的使用寿命。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]炉口冷却装置，用于炉口腔室，包括：风机；水冷组件；所述水冷组件包括水冷壳体，所述水冷壳体内设有水冷管，所述水冷壳体上设有所述炉口腔室连通出风口；连接组件；所述连接组件包括连接管道，所述水冷壳体与所述风机通过所述连接管道相连通；其中：
[0006]所述风机能够通过所述连接管道向水冷壳体内输送气体，气体与所述水冷管换热后流向所述炉口腔室。
[0007]作为优选，所述连接组件还包括变径接头，所述变径接头的一端与所述连接管道连接，所述变径接头的另一端与所述风机连接。
[0008]作为优选，所述连接组件还包括波纹管，所述波纹管的一端连接所述变径接头，所述波纹管的另一端连接所述连接管道。
[0009]作为优选，所述连接组件还包括卡箍，所述波纹管与所述变径接头之间以及所述波纹管与所述连接管道之间通过所述卡箍连接。
[0010]作为优选，所述水冷壳体上设有可拆卸的封板。
[0011]作为优选，所述出风口设有多个，并均匀分布于所述封板上并面向所述炉口方向。
[0012]作为优选，所述封板设有两个，两个所述封板分别位于所述水冷壳体的相对两侧。
[0013]作为优选，所述水冷管为曲管或直管，并均匀分布于所述水冷壳体内。
[0014]作为优选，所述水冷组件固定于所述炉口腔室的腔室框体上。
[0015]作为优选，所述水冷组件设置于相邻的所述腔室框体之间。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]通过风机输送气体至水冷壳体内，然后通过水冷管将进行冷却后，冷却气体进入到炉口腔室内，加速炉口腔室内的冷气循环，使冷气迅速带走热气，对炉口腔室处进行快速降温，延长炉门密封圈的使用寿命。
附图说明
[0018]图1是本技术炉口冷却装置的结构示意图；
[0019]图2是本技术炉口冷却装置的侧视图；
[0020]图3是本技术高温炉安装炉口冷却装置的结构示意图；
[0021]图4是本技术高温炉安装冷却装置的侧视图。
[0022]图中：
[0023]1‑
风机；2
‑
连接组件；21
‑
变径接头；22
‑
卡箍；23
‑
波纹管；24
‑
连接管道；3
‑
水冷组件；31
‑
水冷管；32
‑
封板；33
‑
水冷壳体；34
‑
出风口；4
‑
腔室框体；5
‑
炉口；6
‑
炉口腔室。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0025]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0028]如图1
‑
4所示，本实施例提供用于炉口腔室6降温的炉口冷却装置，包括水冷组件3；水冷组件3包括水冷壳体33，水冷壳体33内设有水冷管31，水冷壳体33上设有出风口34；该炉口冷却装置还包括风机1和连接组件2，该连接组件2包括连接管道24，水冷壳体33与风机1通过连接管道24相连通，其中，风机1能够通过连接管道24向水冷壳体33内输送气体，气体与水冷管31换热后流向炉口腔室6。通过风机1输送气体至水冷壳体33内，然后通过水冷管31将进行冷却后，冷却气体进入到炉口腔室6内，并且风机1的持续吹送气体能够加速炉口腔室6内的冷气迅速流动，加快降温的速度，使炉口腔室6进行快速降温，延长炉门密封圈的使用寿命。
[0029]下面详细介绍本实施例，如图1和图2所示，炉口冷却装置包括水冷组件3；水冷组件3包括水冷壳体33，水冷壳体33内设有水冷管31，进一步地，水冷管31为曲管或直管，并均匀分布于水冷壳体33内。需要说明的是，本实施例中水冷管31采用的直管，水冷管31与外部
的供水装置进行连接。而水冷管31均匀分布在水冷壳体33内增加了水冷的面积，使冷却的效果更加的明显。进一步地，水冷壳体33上设有可拆卸的封板32，能够作为一个视察的窗口进行观察内部水冷管31工作状况，也为维修提供合适的位置。进一步地，封板32上均匀分布有多个出风口34，其中出风口34面向炉口5方向。出风口34的数量的多少可以调整输送气体的量，面向炉口5能够将冷气迅速作用于炉口处，从而实现炉口腔室6快速的降温；需要说明的是，出风口34的具体数量根据炉口5的大小进行设计。进一步地，封板32设有两个，两个封板32分别位于水冷壳体33的相对两侧，使一台炉口冷却装置能够为相邻的两炉口腔室6进行冷却，达本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉口冷却装置，用于炉口腔室(6)降温，其特征在于，包括：风机(1)；水冷组件(3)；所述水冷组件(3)包括水冷壳体(33)，所述水冷壳体(33)内设有水冷管(31)，所述水冷壳体(33)上设有与所述炉口腔室(6)连通的出风口(34)；连接组件(2)；所述连接组件(2)包括连接管道(24)，所述水冷壳体(33)与所述风机(1)通过所述连接管道(24)相连通；其中：所述风机(1)能够通过所述连接管道(24)向水冷壳体(33)内输送气体，气体与所述水冷管(31)换热后流向所述炉口腔室(6)。2.根据权利要求1所述的炉口冷却装置，其特征在于，所述连接组件(2)还包括变径接头(21)，所述变径接头(21)的一端与所述连接管道(24)连接，所述变径接头(21)的另一端与所述风机(1)连接。3.根据权利要求2所述的炉口冷却装置，其特征在于，所述连接组件(2)还包括波纹管(23)，所述波纹管(23)的一端连接所述变径接头(21)，所述波纹管(23)的另一端连接所述连接管道(24)。4.根据权利要求3所述的炉口冷却装置，其特征在于，所述连接组件(2)还包括卡箍...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，刘磊，易术，林佳继，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：