本发明提供一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述第一清洗剂和所述第...

本发明的一种大尺寸靶材超声波处理装置及其处理方法，所述装置包括：超声波发生器，产生并发射超声波；靶材坯料承载台，承载靶材坯料，并对准超声波发生器；传动装置，设置于靶材坯料承载台上，用于移动靶材坯料。所述传动装置能够移动靶材坯料相对于超声...

一种铜靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供铜柱，对所述铜柱进行切断并压延，形成铜溅射板；提供背板，将铜溅射板焊接至背板形成靶材组件；在真空常压环境下对靶材组件进行热处理，然后冷却；对所述靶材组件进行机械加工。本发明优化了对靶材组件...

一种拼接靶材形成方法，包括：提供焊接材料，所述焊接材料包括：两块或者两块以上的靶材坯料籽块和背板；将两块或者两块以上的靶材坯料籽块进行拼接，形成靶材坯料；在靶材坯料的焊接面采用高温胶带密封靶材坯料籽块拼接处的缝隙；在所述背板的焊接面添加...

一种金相腐蚀剂、铜的腐蚀方法及其金相组织的显示方法，所述铜金相组织的显示方法包括：提供铜试样；对所述铜试样进行打磨；对打磨后的铜试样进行抛光；将抛光后的铜试样浸入金相腐蚀剂中，所述金相腐蚀剂为水、双氧水和氨水的混合溶液。采用水、双氧水和...

本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法，包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；对所述溅射靶材的表面进行车床加工，并在车屑过程中采用酒精冷却；采用抛光件对车屑后的溅射靶材进行抛光。与现有技术相比，本发明可以及时冷却车床加工过程中产生...

本发明提供一种溅射靶材的塑性变形方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为铝或者铝合金；对所述金属料件进行预热处理；对所述金属料件进行多道次的大变形压延工艺，每一道次的压延量为所需压延总量的１０％至２０％。相对于现有技术，本发明的溅射靶材...

本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，包括：提供靶材，所述靶材为钽或钽合金；从所述靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；使用第一浸蚀液对所述试样进行第一腐蚀处理；使用第二浸蚀液对所述试样进行第二腐蚀处理；利...

本发明提供一种靶材的制备方法，包括：提供母材，并将所述母材置于真空熔炼炉中；所述母材为原铝或原铜；将所述真空熔炼炉中的母材熔融；对已熔融的金属进行成分分析，根据所述成分分析的结果和产品要求，添加制备靶材所需的成分元素；对所述熔融金属进行...

本发明提供一种大尺寸靶材组件的焊接方法，包括：提供靶材坯料、背板和钎料，所述背板被划分为多个子区；将所述钎料涂布于所述靶材坯料的焊接面上；将所述钎料涂布于所述背板的焊接面上；给每一个子区对应配置一台超声波焊接设备，每一台超声波焊接设备按...

一种铜靶材的加工方法，包括：对铜工件进行三次精度渐增的机械加工，其中，在第三次机械加工时采用喷雾冷却，在三次机械加工过程中用全周夹具固定铜工件，并且在第一次机械加工和第二次机械加工之间对铜工件进行应力释放。通过所述铜靶材的加工方法可以防...

一种铜靶材的加工方法，包括：通过三次精度渐增的机械加工对铜工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定铜工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对铜工件进行应力释放。通过所述铜靶材的加工方法获得的铜靶材具有较好的表面...

一种靶材坯料的热处理方法，包括：提供靶材坯料；以第一加热温度将所述靶材坯料加热至第二温度，所述第一加热温度大于靶材坯料的热处理温度，所述第二温度小于且接近靶材坯料的热处理温度；以第三加热温度将所述靶材坯料加热至所述热处理温度，所述第三加...

一种靶材热处理方法，包括：提供靶材；加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，所述靶材热处理方法能够确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足溅射...

一种靶材塑性变形方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为铝或铝合金；对所述金属料件进行多道次轧制工艺，制作成靶材。所述靶材塑性变形方法简化了塑性变形工艺中的工序，并使得制作的靶材符合塑性变形工艺要求，提高其生产良率。

一种靶材组件焊接方法，该方法使用兼具吸附、加压功能的压力装置，所述压力装置具有一个或多个工作端，该方法包括：对背板进行预热，将焊料分布在背板的结合面；使压力装置在吸附状态下工作，以压力装置的工作端吸附靶材至背板上，使所述靶材的结合面与所...

一种靶材组件的制作方法，包括：提供铬靶材坯料、背板和钎料，所述背板具有容纳铬靶材坯料的凹部；利用钎料在铬靶材坯料的焊接面和外周形成第一浸润层；利用钎料在背板的焊接面和凹部的内侧形成第二浸润层；对铬靶材坯料和背板进行钎焊，将铬靶材坯料焊接...

一种钛靶材的加工方法，包括：通过三次精度渐增的机械加工对钛工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定钛工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对钛工件进行应力释放。通过所述钛靶材的加工方法获得的钛靶材具有较好的表面...

一种铝靶材的加工方法，包括：通过三次精度渐增的机械加工对铝工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定铝工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对铝工件进行应力释放。通过所述铝靶材的加工方法获得的铝靶材具有较好的表面...

一种方形靶材的取样方法和检测方法，所述方形靶材的检测方法包括：提供方形靶材；在所述靶材的厚度方向分层取样，在所述靶材的长宽方向按边心边取样；对各样本进行金相观察。所述方法由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够获取整个靶材的组织...