一种靶材焊接定位装置，包括：设置在背板上的定位孔，适于装入所述定位孔且对靶材进行限位的定位销。采用本实用新型的靶材焊接定位装置，当靶材放置在背板的焊接面上进行焊接时，采用定位销装入所述定位孔对靶材进行限位，焊接完毕后，取出所述定位销，因...

一种磁控溅射靶材，所述磁控溅射靶材具有溅射面，与现有平面结构型溅射面不同的是，所述溅射面具有磁场强度设计轮廓，即磁控溅射靶材在不同位置的厚度是按照磁场的强弱来设计的，磁控溅射靶材在磁场强的位置的厚度较大、在磁场弱的位置的厚度较小，使得溅...

一种背板及靶材组件。所述背板的第一表面边缘设置有凹槽，所述凹槽的开口宽度小于底面宽度，所述凹槽的内侧表面与底面形成倒圆角，所述倒圆角的半径为0.5～1mm。本实用新型提供的技术方案，防止了溅射过程中异常放电现象的发生，改善了溅射环境，进...

一种圆形阳极的取样方法和检测方法：提供圆形阳极；所述阳极由圆心至边缘分为若干层，或沿厚度方向由上至下分为若干层，在同一选取方向上至少选取三层进行取样。对各样本进行金相观察。所述方法由于截取的样本可以反映不同位置的特征，这样就能够获取整个...

本发明提供了一种靶材加工工具，包括刀具，用于在靶材上加工V型水槽，所述刀具包括刀片和与刀片连接的刀柄，所述刀片的后角由V型水槽夹角决定。另一方面，本发明还提供了基板，所述基板用于在对所述靶材切割时对其进行定位装夹，所述基板包含靶材承载区...

一种熔盐电解提炼设备及其提炼金属的方法，所述熔盐电解提炼设备包括：提炼腔和电极杆，所述提炼腔包括腔体、设置于腔体底部的坩埚和设置于腔体顶部的开口，所述电极杆通过所述开口伸入至所述坩埚内，所述提炼腔还包括：设置在所述提炼腔内部的隔热部件和...

一种金相腐蚀剂、钨或钨合金的腐蚀方法及其金相组织的显示方法，所述钨或钨合金金相组织的显示方法包括：提供钨或钨合金试样；对所述钨或钨合金试样进行打磨；对打磨后的钨或钨合金试样进行机械抛光；将机械抛光后的钨或钨合金试样与金相腐蚀剂接触中，所...

一种钨钛合金靶材与铜合金背板扩散焊接方法。本发明钨钛合金靶材与铜合金背板之间设置一层铝扩散辅助层。采用钨钛合金靶材与铝扩散辅助层之间，以及铝扩散辅助层与铜合金背板之间高强度的原子扩散率，从而实现三者的扩散焊接，并最终提高钨钛合金靶材与铜...

本实用新型提供了一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其包括靶材和背板，所述靶材包括溅射面和背面，背板包括固定面和背面，所述背板固定面与靶材背面固定连接，所述背板的背面开设有压力缓冲槽，所述压力缓冲槽由开口处至槽底呈单调向下倾斜状。在磁...

一种脱气管的密封方法，所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；所述密封方法包括：将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行热处理，所述热处理温度为900℃～11...

一种钴靶材的加工方法，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，...

一种烧结模具及其制造方法。所述烧结模具的制造方法包括：制作烧结模具的内模，所述内模用于固定粉末形成烧结形状；制作碳碳复合材料；利用所述碳碳复合材料制作烧结模具的外模，所述外模套在所述内模外侧。本发明的技术方案降低了烧结模具的破损率，也降...

一种高纯钽靶材的制备方法，包括：对高纯钽锭进行锻造，然后进行第一热处理，所述第一热处理温度为1290℃～1350℃，所述锻造和第一热处理依次进行三次；最后一次第一热处理之后，对钽锭进行预热，然后进行压延；对压延后的钽锭进行第二热处理。本...

一种铜-磷合金阳极的制备方法，包括：对铸锭进行预热，所述铸锭的材料为铜-磷合金；对预热后的所述铸锭进行锻造；对锻造后的所述铸锭进行均匀化退火处理；对经过均匀化退火处理后的所述铸锭进行冷轧形成坯料；对冷轧后的所述坯料进行再结晶退火处理；对...

本发明提供一种钽粉末的提纯方法，包括：提供低纯度钽粉末；对所述低纯度钽粉末进行射频加热提纯。此外，本发明还提供一种经过上述提纯方法形成的钽粉末制成的钽靶材。采用本发明提供的钽粉末的提纯方法，可以对钽粉末的纯度进行提高。采用本发明提供的钽...

一种高纯钽靶材的制备方法，包括：对高纯钽锭进行预热；对所述预热的高纯钽锭进行至少两次锻造，在每次锻造后均对高纯钽锭进行热处理；对最后一次热处理后的高纯钽锭进行挤压，形成钽板料；对所述钽板料进行热加工，形成钽靶材坯料；对所述钽靶材坯料进行...

一种铜-磷合金阳极的制备方法，包括：对铸锭进行第一热处理，然后进行锻造，依次进行所述第一热处理和所述锻造，总共进行三次；对最后一次锻造后的所述铸锭进行第二热处理；对第二热处理后的所述铸锭进行冷轧形成坯料；对所述冷轧后的坯料进行第三热处理...

一种脱气管的密封方法，所述密封方法包括：所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行冷却处理；对冷却处理后的所述脱气管的第...

一种背板的制作方法，包括：提供背板铸件；在800℃～1000℃，对所述背板铸件进行锻打，形成背板坯料；对所述背板坯料进行处理，形成背板。本发明可以得到内部组织结构更加细化和更加均匀的背板，防止背板扭曲变形。一方面减小靶材各部分与硅片基底...

一种钨靶材的制作方法，包括：提供钨靶材坯料；对所述钨靶材坯料表面进行机械加工；将所述机械加工后的所述钨靶材坯料放置入真空包套并抽真空；对真空包套内的钨靶材坯料进行锻造；对所述锻造后的真空包套内的钨靶材坯料进行压延；完成所述压延后，进行冷...