一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；在铝背板上形成凹槽；将钛靶材安装至凹槽内；采用热等静压方法将钛靶材与铝背板进行焊接。本发明大幅度降低了焊接材料的使用量，同时这种工艺对靶材的组织结构不会...

本发明提供了一种用于溅射装置的固定环，包括环体和位于环体的环形外侧面上的固定凸起，所述环体包括两端分别相连的第一半圆部分和第二半圆部分，其中第一半圆部分的外壁圆周为第一圆的一部分，第二半圆部分的外壁圆周为第二圆的一部分，在第二半圆部分上...

一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钽靶材和背板；并对其表面进行机械加工以及化学清洗；采用热压处理，在真空环境下进行焊接作业，将钽靶材焊接至背板形成靶材组件；在真空常压环境下对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷。本发明采用真空套包实现靶材...

一种靶材与背板的焊接方法。其中靶材与背板的焊接方法，提供钽靶材和背板；在背板的焊接面上添加钎料；在真空中进行钎焊，加热熔化钎料将钽靶材焊接至背板形成靶材组件；然后保温热扩散处理；冷却靶材组件，并进行机械加工去除多余的钎料。本发明在设备的...

一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钽靶材和背板；在钽靶材的焊接面上形成金属中间层；在背板的焊接面上添加钎料；进行钎焊加热熔化钎料将钽靶材焊接至背板形成靶材组件；然后保温热扩散处理；冷却靶材组件，并进行机械加工去除多余的钎料。本发明通过...

本发明提供一种靶材组件制作方法，其中靶材制作方法包括，提供焊接材料，所述焊接材料包括靶材坯料和背板；比较靶材坯料和背板的硬度，对硬度比较高的焊接材料进行机械加工，对靶材坯料进行清洗处理，对所述背板进行清洗处理；将所述靶材坯料采用模具固定...

本发明提供一种靶材结构及其制作方法。其中靶材结构的制作方法包括：提供靶材；在靶材的焊接面上形成粘结层；在所述粘结层上进行扩散焊处理，将背板焊接至靶材。与现有技术相比，本发明可以使得钽靶材与铜背板实现可靠结合，提升靶材结构的品质。

本发明提供一种靶材结构的制作方法，其包括：提供靶材，所述靶材为钽或者钽合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成金属镀层；在所述金属镀层上进行扩散焊处理，将背板焊接至靶材。与现有技术相比，本发明可以使得钽靶材与铜背板实现可靠结合，提升靶材...

一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钽靶材；在钽靶材的焊接面上形成中间层；采用热等静压方法在中间层上进行焊接作业，将铜或铜合金背板焊接至钽靶材。本发明可以实施大面积焊接，有效防止金属被氧化，使钽靶材和铜或...

一种聚焦线圈修复再利用的方法，包括：在已使用过的聚焦线圈上的固定孔内壁涂覆保护膜；对所述聚焦线圈进行腐蚀，以去除所述聚焦线圈外环表面附着的溅射材料；在所述聚焦线圈的外环表面涂覆保护膜；继续对所述聚焦线圈进行腐蚀，以去除所述聚焦线圈内环表...

一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铬或铬合金靶材坯料、背板和焊料；用焊料覆盖铬或铬合金靶材坯料的结合面，在真空环境下对所述铬或铬合金靶材坯料预热并实施保温，使得焊料与铬或铬合金靶材坯料的结合面充分融合，去除多余的焊料；对所述背板的结合面...

一种制备铝硅铜系合金金相样品及显示组织的方法，其包括如下步骤：ａ．粗研磨：样品依次用粒度递减的水砂纸进行至少２次带水磨光，每次换砂纸后转动９０度，直到把上道工序的划痕磨掉，换砂纸前样品要用水清洗干净；ｂ．电解抛光：使用电解抛光机抛光至少...

一种扩散焊接方法，其特征在于包括如下步骤：（１）靶材、背板的表面加工；（２）靶材、背板的表面化学处理；（３）靶材、背板的热压；（４）靶材组件的淬火；（５）靶材组件的时效热处理。与现有技术相比，本发明的优点在于通过把靶材表面加工成纹路形状...

一种制备溅射靶材料的方法，其包括：塑性加工和热处理工艺相互结合作用，使用空气锤作为塑性加工设备，通过限程备件标准块控制材料变形量，通过受力面的变化控制材料变形方向，过程温度通过表面温度探测器进行监测。与现有技术相比，本发明的优点在于通过...

一种真空电子束焊接方法，其特征在于依次包括如下步骤：（１）焊前准备：清洗靶材和背板，并将其移至真空室内进行隔离抽真空；（２）预热焊缝；（３）施行第一次真空电子束焊接；（４）把完成步骤（３）的靶材组件进行真空保温；（５）施行第二次真空电子...

一种钎焊方法，包括以下步骤：焊前铜背板的焊接加工准备、铜背板预热与焊锡、铝靶材预热与焊锡、铜背板与铝靶材的结合、保持压力并循环水冷。与现有技术相比，通过由本发明方法制备的异种金属焊接接合组件可具有良好的热传导性能及足够的机械结合强度，相...

一种钎焊结合装置，包括上支架和下支架，其特征在于：所述下支架上设置有加热平板，在加热平板下端面固定有冷却箱，冷却箱的一端设有进水管，另一端设有出水管，所述上支架固定有气缸基座，在气缸基座上固定有气缸，所述气缸的位于活塞两侧的两个气室分别...

一种超声波焊锡装置，其包括操作台、以及连接于所述操作台一侧的设备控制箱，其特征在于：所述操作台上方置有水平纵向运动装置，在所述水平纵向运动装置上设有可在其上水平纵向运动的水平横向运动装置，在所述水平横向运动装置上设有可在其上水平横向运动...

一种制造溅射靶材的挤压模锻挤压模具，包括具有凹模腔（１１）的凹模（１）和具有凸模芯（２１）的凸模（２），凹模腔（１１）与凸模芯（２１）组合后形成和溅射靶材毛坯（３）外形相应的型腔（４），凹模（１）和凸模（２）之间还具有型腔定位结构，该型...

一种制造溅射靶材的模锻挤压模具，包括具有凹模腔（１１）的凹模（１）和具有凸模芯（２１）的凸模（２），凹模腔（１１）与凸模芯（２１）组合后形成和溅射靶材（３）外形相应的型腔（４），凹模（１）和凸模（２）之间还具有型腔定位结构，该型腔定位结...