铝材料的焊接方法，包括在第一铝材料的第一接合区形成第一焊接部，在第二铝材料的第二接合区形成第二焊接部；拼接所述第一焊接部、第二焊接部形成焊槽；用喷枪在该焊槽处进行焊接，加热过程中，焊料进入焊槽形成熔池，最后熔池冷却后形成焊点。本发明形成...

一种靶材的检测方法，包括：提供扩散焊后的靶材，所述靶材为钛或钛合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为２～８ＭＨｚ。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。

一种靶材的检测方法，包括：提供钎焊后的靶材，所述靶材为铝或铝合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为５～１５ＭＨｚ。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。

一种靶材的检测方法，包括：提供扩散焊后的靶材，所述靶材为铜或铜合金；对所述靶材进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为２～８ＭＨｚ。所述靶材的检测方法无需破坏靶材，同时可以提高焊接质量检测的客观性和可靠性。

一种靶材的制作方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为铝；对所述金属料件进行挤压成型，制作成靶材，其中，所述挤压成型的挤压比为４～４．５；对所述靶材进行热处理，其中，所述热处理的加热温度为１５０℃～３００℃。所述靶材的制作方法通过控制挤...

一种靶材的制作方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为铝；对所述金属料件进行挤压成型，制作成靶材，其中，所述挤压成型的挤压温度为１５０℃～３００℃，挤压比为４～４．５。所述靶材的制作方法通过控制挤压成型工艺的挤压温度和挤压比，很好地解决...

一种靶材组件的制作方法，包括：提供３００毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对３００毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在３００毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，去除３００毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；对背板的结合...

一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。本发明对...

一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供铜靶材和背板；并对其表面进行机械加工以及化学清洗；采用热压处理，在真空环境下进行焊接作业，将铜靶材焊接至背板形成靶材组件；在真空常压环境下对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷。本发明采用真空套包实现靶材...

一种靶材组件的制作方法，包括：提供钛靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对钛靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在钛靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料在钛靶材坯料的结合面和外周充分浸润，去除钛靶材坯料结合面和外周上的钎料；对背板...

一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供铜靶材和背板；在铜靶材的焊接面上形成金属中间层；在背板的焊接面上添加钎料；进行钎焊加热熔化钎料将铜靶材焊接至背板形成靶材组件；然后保温热扩散处理；冷却靶材组件，并进行机械加工去除多余的钎料。本发明通过...

本发明提供一种靶材塑性变形方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为钛或者钛合金；对所述金属料件进行多道次的压延工艺，制作成靶材。与现有技术相比，相对于现有技术，减少了塑性变形工艺中的工序，并使得制作的靶材符合塑性变形工艺要求，提高其生产...

一种靶材的制作方法，所述靶材的制作方法包括：提供金属料件；将所述金属料件挤压成型，制作成靶材；对所述靶材采用阳极氧化工艺，在表面形成氧化膜。所述方法可以提高溅射靶材的耐热性、耐腐蚀性和耐磨性。

一种铜靶材表面的处理方法，包括：将铜靶材区分出溅射区和非溅射区；以及，用１２５号玻璃珠对非溅射区的表面进行喷丸处理，并且喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为４５°的整数倍。其中，１２５号玻璃珠是指每平方英寸内含有１２５粒玻璃珠。本发明...

一种铝靶材表面的处理方法，包括：将铝靶材区分出溅射区和非溅射区；以及，用１２５号玻璃珠对非溅射区的表面进行喷丸处理，并且喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为４５°的整数倍。其中，１２５号玻璃珠是指每平方英寸内含有１２５粒玻璃珠。本发明...

一种钛靶材表面的处理方法，包括：将钛靶材区分出溅射区和非溅射区；以及，用２４号白刚玉对非溅射区的表面进行喷丸处理，并且喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为４５°的整数倍。其中，２４号白刚玉是指每平方英寸内含有２４粒白刚玉。本发明通过改...

一种真空电子束焊接方法，包括如下步骤：提供靶材坯料和用于支撑靶材坯料的背板；进行焊接准备；进行预热；采用真空电子束进行真空焊接，将靶材坯料焊接至背板上；还包括在真空焊接之后直接进行表面修饰步骤。本发明通过在进行真空焊接之后直接进行表面修...

一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供铜靶材坯料和铜合金背板；将铜靶坯料和铜合金背板放置入真空包套送入焊接设备；采用热等静压工艺进行扩散焊接，将铜靶材坯料焊接至铜合金背板形成靶材组件；完成焊接后，进行空冷并拆除真空包套取出靶材组件。本发明...

一种铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法，包括：提供铝靶材坯料和铝合金背板；将铝靶材坯料和铝合金背板放置入真空包套送入焊接设备；采用热等静压工艺进行扩散焊接，将铝靶材坯料焊接至铝合金背板形成靶材组件；完成焊接后，进行空冷并拆除真空包套取出靶...

本发明提供一种靶材热处理方法，包括：提供靶材，所述靶材为钛或者钛合金；加热能包覆所述靶材的沙子，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，本发明透过沙浴的加热方式，确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足溅射要求。