本发明实施例公开了一种钨钛合金靶材加工方法和加工装置，所述方法包括：采用粒度为１２０至１５０目的金刚石磨具对钨钛合金靶材进行机械加工，金刚石磨具转速为３５００至４０００转／分钟，进给量为每次不大于０．０２毫米，进给速度为不大于５００毫米...

一种防着板表面处理方法，所述方法包括：提供表面光滑的防着板；对所述防着板的防着面进行图案化处理，形成凹凸不平的防着面；在所述防着面进行喷砂处理；将进行喷砂处理后的防着面进行熔射处理。在光滑的防着板的表面进行图案化、喷砂和熔射处理后，使得...

一种钨钛合金靶材焊接方法，包括：提供钨钛合金靶材、背板和焊料；对钨钛合金靶材的结合面进行镀镍处理；对所述钨钛合金靶材进行预热，使焊料分布在所述钨钛合金靶材的结合面；对所述背板进行预热，使焊料分布在所述背板的结合面；使所述钨钛合金靶材的结...

一种钨钛合金靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为钨钛合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将化学镀处理后的靶材焊接至背板。在钨钛合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利...

一种钼靶材焊接方法，包括：提供钼或钼合金靶材、背板和焊料；对钼或钼合金靶材的结合面进行镀镍处理；对所述钼或钼合金靶材进行预热，使焊料分布在所述钼或钼合金靶材的结合面；对所述背板进行预热，使焊料分布在所述背板的结合面；使所述钼或钼合金靶材...

一种靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为铬或者铬合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将化学镀处理后的靶材焊接至背板。在铬或者铬合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利...

本实用新型实施例公开了一种钽溅射环，应用于８英寸硅片的生产过程，该钽溅射环上具有花纹，所述花纹的大小大于８０ＴＰＩ，且深度大于１００μｍ。本实用新型实施例提供的钽溅射环，通过增大钽溅射环上的花纹大小，并加深花纹深度，解决了现有技术中因钽...

本实用新型实施例公开了一种钽溅射环结构，应用于１２英寸硅片的生产过程，该钽溅射环结构上具有花纹，所述花纹的大小大于８０ＴＰＩ，且深度大于１００μｍ。本实用新型实施例提供的钽溅射环结构，通过增大钽溅射环结构上的花纹大小，并加深花纹深度，解...

本实用新型提供一种管靶材组件，其包括：两端具有螺纹的铝或铝合金管靶材；带螺纹的连接接头，与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。此外，所述管靶材组件还包括密封圈；所述密封圈材质可以为耐高温的橡胶或树脂，且所述密封圈可以具有金属骨架。另外...

本实用新型提供一种靶材表面喷砂系统，包括：固定靶材的基座，所述基座可受动力系统控制进行旋转；承载喷嘴的支架，所述支架的一端连接有喷嘴。本实用新型还提供另一种靶材表面喷砂系统，包括：环形滑轨，所述滑轨以靶材位置为圆心；承载喷嘴的支架，所述...

本实用新型公开了一种搅拌摩擦焊接夹具，旨在提供一种结构简单、操作方便、焊接稳定性好的搅拌摩擦焊接夹具。它包括底板、挡板、压板和连接器；所述底板四周分布有间隔规则的Ｔ形槽，所述挡板上有通孔，部分所述连接器穿过所述挡板通孔及其相对应的Ｔ形槽...

一种用于机械加工的刀具，包括刀头和刀杆，所述刀头包括与所述刀杆连接的连接面、与所述连接面相对的第一刀面、通过第一边和第二边分别连接所述第一刀面和连接面的第二刀面、以及通过第三边、第四边和第五边分别连接所述第一刀面、第二刀面和连接面的第三...

本实用新型提供一种铝或铝合金溅射靶材包装件，其具有铝或铝合金溅射靶材和包覆该溅射靶材的包装体，所述包装件由氧气透过量在５ｍｌ／ｍ２.２４ｈ.ＭＰａ以下、透湿量在３ｍｌ／ｍ２.２４ｈｒ以下的塑料膜制成，且所述塑料膜的一个或二个表面涂有例如...

一种钽溅射环组件，包括具有开口的环形本体，所述环形本体在开口位置具有弧形角，所述弧形角的弧形半径大于６．３５ｍｍ。所述钽溅射环组件可以解决现有的钽溅射环组件在弧形角区域容易出现剥落现象而影响薄膜沉积工艺的问题。

一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铬靶材坯料、背板和钎料；对所述铬靶材坯料进行预热，将钎料均匀涂布在铬靶材坯料的结合面，使得钎料在铬靶材坯料的结合面充分浸润，去除铬靶材坯料的结合面上多余的钎料；对所述背板的结合面进行打磨处理，并进行预热...

一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材，所述靶材为铬或铬合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成镍金属镀层；对铬或铬合金靶材和铜或铜合金背板进行钎焊，将铬或铬合金靶材焊接至铜或铜合金背板形成靶材组件。本发明能够通过在靶材的焊接面形成金属...

高纯度铬靶材切削加工方法，包括：提供高纯度铬靶材；提供冷却润滑介质，所述冷却润滑介质包括乳化液和水，所述乳化液和水的比例为１∶３～１∶２；在切削加工的过程中，将所述冷却润滑介质均匀地喷射于被加工的铬靶材表面和加工刀具表面。采用所述方法，...

一种靶材生产用锭材的制备方法，包括：提供母材，并将所述母材置于真空熔炼炉中，所述母材为原铝；将所述真空熔炼炉中的母材熔融；对所述熔融金属进行脱气处理；从熔融金属中取样，进行制品分析；将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型...

本发明提供一种铜或铜合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铜或铜合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铜或铜合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述第一清洗剂和所述第...

本发明提供一种大尺寸溅射靶材的表面处理方法，包括：提供大尺寸溅射靶材，所述溅射靶材为铝或铝合金；对所述溅射靶材的表面进行铣削加工，在铣削加工过程中采用汽化的酒精进行冷却。与现有技术相比，本发明通过采用汽化的酒精进行冷却，使得酒精汽化后形...