一种钴靶材的加工方法，包括：提供钴靶材；用PCBN刀具对钴靶材表面进行切削，所述PCBN刀具转速范围为250～300转/秒，进给量范围为0.03～0.08毫米/转，背吃刀量范围为0.01～0.05毫米；其中，切削加工过程中，采用喷雾方式...

本发明提供一种镍靶材组件的加工方法，包括：提供一侧设有多个水槽的背板、纯度为99.99％的镍靶材坯料；将镍靶材坯料与背板焊接在一起；将镍靶材组件固定在车床上对镍靶材坯料进行车削加工以得到镍靶材；将镍靶材组件固定在磨床上对镍靶材进行磨削加...

本发明提供一种钨靶材组件的焊接方法，包括：提供钨靶材坯料、铜背板并在两者之间增设一中间层；将钨靶材坯料、中间层、铜背板置于真空包套内，使中间层位于钨靶材坯料与铜背板之间，将真空包套置于焊接设备内；利用热等静压工艺将待焊接材料焊接在一起以...

本发明提供一种铜背板与靶材的焊接方法，包括以下步骤：将铜背板、靶材放入包套中，包套设有通气管；将包套放入炉中，通过通气管对包套进行抽真空；待包套内部达到一定真空度后，使炉的温度升高到一定温度，并使炉持续保温一段时间，在炉的保温期间，依然...

一种金相组织电解液、钼或钼合金的腐蚀方法及其金相组织的显示方法，所述钼或钼合金金相组织的显示方法包括：提供钼或钼合金靶材；对所述钼或钼合金靶材进行打磨；对打磨后的钼或钼合金靶材进行机械抛光；将机械抛光后的钼或钼合金靶材在金相组织电解液中...

一种金相组织电解液、钴或钴合金的腐蚀方法及其金相组织的显示方法，所述钴或钴合金金相组织的显示方法包括：提供钴或钴合金靶材；对所述钴或钴合金靶材进行打磨；对打磨后的钴或钴合金靶材进行机械抛光；将机械抛光后的钴或钴合金靶材在金相组织电解液中...

一种靶材与背板的焊接方法，包括：在靶材的背面形成多个燕尾槽，在背板的正面形成与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起；将靶材与背板叠合放置，并使燕尾状凸起与燕尾槽咬合在一起；采用静压方式处理靶材与背板中心区域，利用电子束焊接靶材与背板的边缘结合区域...

一种聚焦环组合，包括：聚焦环，所述聚焦环上设有通孔；安装钉，所述安装钉包括柱体及膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述柱体的内部设有螺纹孔；其中，所述安装钉的背部厚度大于1.53...

一种高纯钴靶材的制备方法，包括：对高纯钴锭进行多次锻造；把多次锻造后的钴锭进行退火处理；经过退火处理后的钴锭进行多次压延形成钴靶坯；对多次压延形成后的钴靶坯进行最终再结晶退火处理。本发明主要通过控制塑性变形的变形率，热处理的温度、时间，...

本发明提供的高纯钴靶材的制备方法，包括：将钴粉装入模具；冷压成型；真空热压烧结。与传统的通过高真空电子束熔炼炉获得高纯钴锭、然后对钴锭反复进行塑性变形和退火制得钴靶坯的工艺相比，本发明通过粉末冶金的真空热压烧结技术直接由粉末制得钴靶坯，...

一种镍靶坯及靶材的制造方法，所述镍靶坯的制造方法包括：提供镍锭；对所述镍锭进行锻造；对锻造后的镍锭进行第一热处理，所述第一热处理的温度为400～600℃，保温时间为0.5～1h；对第一热处理后的镍锭进行压延，形成镍靶坯；对所述镍靶坯进行...

一种铜-磷阳极的检测方法，包括：提供铜-磷阳极，所述铜-磷阳极的铜-磷纯度为4N以上；对所述铜-磷阳极进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为5～20MHz。此外，本发明还提供一种铜-磷坯块的检测方法、一种铜-磷阳极的制作方法，该铜-磷...

一种聚焦环组合，包括：聚焦环，所述聚焦环上有通孔，且其内表面在通孔处形成有凹槽；安装钉，所述安装钉包括柱体与膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述背部嵌入所述凹槽，所述柱体的内部...

一种聚焦环组合，包括：聚焦环；位于所述聚焦环外的安装钉，所述安装钉包括柱体与膨大的背部，所述安装钉的背部固定在所述聚焦环的外表面上，所述柱体的内部设有螺纹孔。本发明还提供了与上述聚焦环组合相对应的聚焦环与IMP溅射设备。本发明的聚焦环组...

一种镍靶坯及靶材的制造方法，所述镍靶坯的制造方法包括：提供镍锭；对所述镍锭进行锻造；对锻造后的镍锭进行压延，形成镍靶坯；对所述镍靶坯进行退火，所述退火的温度为300℃～500℃，保温时间为1～2h。本发明技术方案制造的镍靶坯内部组织比较...

一种镍靶坯及靶材的制造方法，所述镍靶坯的制造方法，包括：在模具中装入镍粉；进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的镍粉制成镍靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度大于或等于2×10-3Pa，压力大于或等于30MPa、烧...

钨钛合金靶坯及靶材的制造方法，所述钨钛合金靶坯的制造方法包括：在模具中装入混合钨钛粉末；进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的钨钛粉末制成钨钛合金靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度小于或等于100Pa，压力为20...

一种铜靶材坯块的检测方法，包括：提供铜靶材坯块，所述铜靶材坯块材质为超高纯铜；对所述铜靶材坯块进行超声波检测，其中，所述超声波的频率为5～20MHz。此外，本发明还提供一种铜靶材组件的形成方法，包括：采用上述的检测方法对铜靶材坯料进行检...

一种防止反溅射物质剥落的靶材和利用此靶材形成膜层的方法，所述靶材的边缘具有滚花区。本发明通过对靶材边缘进行滚花处理，增加其粗糙度，从而增加了反溅射物质在靶材上的粘附力，大大的减少了反溅射物质剥落的情况。并且实施简单，对现有的设备和技术不...

一种钨钛靶材坯料的制作方法，包括：首先提供钨钛粉末；接着将钨钛粉末放置入真空包套，抽真空；然后采用热等静压工艺进行烧结成型；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。采用本发明提供的钨钛靶材坯料的制作方法，避免使用模具，同...