铝或铝合金溅射靶材的清洗方法技术

本发明专利技术提供一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述第一清洗剂和所述第二清洗剂是不同的，所述第一、第二清洗剂分别独立地为水、有机溶剂、以及多种溶剂的混合物中的任何一种。此外，所述清洗方法还可包括在所述第一清洗阶段前的预热工序、在所述第二清洗阶段后的蒸汽清洗阶段。根据本发明专利技术，可以充分全面地去除油污、灰尘及杂质等，降低清洗成本，得到更好的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其特征在于，具有至少两个清洗阶段，包括：　　第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；　　第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，郑文翔，刘庆，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：33[中国|浙江]