本发明提供了一种溅射环定位件加工夹具及利用其的加工方法，所述溅射环定位件加工夹具包括固定夹具和更换夹具；所述固定夹具固定在加工中心工作台上，所述更换夹具可拆卸地连接在所述固定夹具上；在所述更换夹具远离所述固定夹具的一面上开设装载孔；在所...

本发明提供了一种铬硅碳合金靶材及其制备方法，通过第一升温、第一烧结、第二升温、第二烧结、第三升温、第三烧结、第一加压、第二加压和保压完成真空热压烧结，解决了靶材致密度不足、内部有孔洞、成分不均的问题；使用本发明所述制备方法制得的铬硅碳合...

本发明提供一种超高纯铜系残靶的循环再利用方法，所述循环再利用方法包括如下步骤：(1)超高纯铜系残靶依次经超声清洗、除锈清洗和酒精清洗，得到残靶原料；(2)将所述残靶原料进行真空感应熔炼制备超高纯铜系靶材。本发明所述循环再利用方法操作简单...

本发明提供了一种铝钪合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括：将金属铝和金属钪混合进行真空磁悬浮熔炼，得到铝钪合金熔体；将得到的铝钪合金熔体加入冷却模具进行冷却浇注，得到铝钪合金毛坯；将得到的铝钪合金毛坯进行热等静压处理，得到铝钪合金靶材...

本发明提供了一种TaAl合金的溶解方法，所述溶解方法包括如下步骤：(1)均匀混合TaAl合金与复合酸溶液，得到混合溶液；(2)步骤(1)所得混合溶液依次经加热、定容得到试样溶液；步骤(1)所述复合酸溶液为体积比1:(5

本发明提供了一种锗蒸发料及其制备方法与应用，所述制备方法包括依次进行的破碎、粗筛、精筛、研磨与清洗；所述粗筛得到的筛上物返回进行破碎，筛下物进行精筛；所述精筛得到的筛上物进行研磨，筛下物直接进行清洗；所述制备方法得到的锗蒸发料平均粒径≤...

本发明公开了一种高抛光液使用效率的抛光垫，包括抛光层，设置于所述抛光层中心的环形沟槽，所述环形沟槽的外部衍生有长弧形沟槽，所述长弧形沟槽以所述环形沟槽的边缘处为起点，呈发散状延伸至所述抛光层的边缘，并将所述抛光层分割成若干组长桨叶状抛光...

本发明公开了一种间断性圆弧沟槽抛光垫，包括抛光垫本体，设置于抛光垫本体中心处的圆形沟槽，圆形沟槽的外部衍生有第一短弧沟槽，相邻第一短弧沟槽之间设置有第二短弧形沟槽，短弧形沟槽区的外部衍生有间断性弧形沟槽，呈发散状延伸至抛光垫本体上任意一...

本实用新型提供了一种金属靶坯整形夹具，所述金属靶坯整形夹具包括上盖板与下盖板，在所述下盖板的中心处设置厚度为60

本发明提供了一种AgCuTi合金的溶解方法，所述溶解方法包括如下步骤：(1)均匀混合AgCuTi合金与复合酸溶液，得到混合溶液；(2)步骤(1)所得混合溶液依次经加热、定容得到试样溶液；所述复合酸溶液为体积比(2

本发明涉及一种锅型靶材的焊接方法，所述焊接方法包括将支撑件和锅型靶材采用电子束焊接；所述支撑件从外到内依次包括第一环和第二环；所述第二环的材质与所述锅型靶材的材质相同；所述锅型靶材设置有环形台阶；所述环形台阶的内圆直径＜所述第二环的内圆...

本发明提供了一种含铝靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将含铝靶材坯料依次进行锻造、一次热处理、冷压、二次热处理和冷轧，得到含铝靶材。本发明所述方法根据靶材的材质选择合适的制备工艺，通过对热处理及轧制工艺的控制，优化靶材的内部组...

本发明提供了一种含钛靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将含钛靶材坯料依次进行锻造、一次热处理、冷轧和二次热处理，得到含钛靶材。本发明所述方法根据靶材的材质选择合适的制备工艺，通过对热处理及轧制工艺的控制，优化靶材的内部组织结构...

本发明涉及一种化学机械抛光垫及其制备方法。本发明的化学机械抛光垫使用聚氨酯树脂浆料，涂抹在涂有脱模剂的成膜基材上，通过两段凝结的方式，分两步在凝结膜两侧分别凝结不同的孔洞结构。在凝结成孔的过程中，控制两段凝结液的浓度、温度，使两种不同孔...

本发明提供一种含颗粒状富铁相的6061铝合金及其制备方法和气体分配盘，所述制备方法通过对6061铝合金坯料依次进行均匀化退火、第一预热、锻造、热处理退火、第二预热、热轧、固溶处理、冷轧和时效处理，优化了制备工艺流程，能够消除6061铝合...

本发明提供一种铝合金6061及其生产方法和气体分配盘，所述生产方法包括如下步骤：(1)混合铝锭和铝铜中间合金锭，进行第一熔化，得到第一熔化物；(2)向所述第一熔化物中加入镁锭和铝硅中间合金锭，升温进行第二熔化，得到第二熔化物；(3)所述...

本发明涉及一种用于靶材钎焊焊缝的清洁方法，所述清洁方法包括如下步骤：(1)将靶材进行第一清洗处理，得到第一靶材；(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行真空处理，得到第二靶材；(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材进行第二清洗处理，得到第...

本发明涉及化学机械抛光技术领域，更具体地，本发明涉及一种提高抛光效率的化学机械抛光垫及其制备方法。包括：树脂浆料制备；凝固；清洗；干燥成型。通过使用本发明提供的聚氨酯材料的制备方法，并在树脂浆料中添加凝固调节剂，在凝结时，提供给树脂一个...

本发明涉及半导体芯片化学机械抛光技术领域，更具体地，本发明涉及一种提高抛光液利用效率的抛光垫。所述抛光垫包括抛光层和沟槽。本发明通过设置抛光垫中抛光层和沟槽，可使用抛光液以及所述抛光垫，用于抛光或平坦化半导体硅晶圆片。本发明通过设置多个...

本发明提供了一种管靶背管的密封性检测治具及检测方法，所述检测治具包括检测端、密封端和密封垫，所述检测端和密封端均为带有圆形凹槽的金属板，检测端金属板的凹槽底部还设有通孔，所述通孔贯穿金属板，位于凹槽的中心位置，所述背管的两端分别插入检测...