本发明提供了一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆...

本发明提供一种低于钎料密度的陶瓷靶材钎焊结构，所述钎焊结构包括背板以及靶材，所述背板以及靶材之间设置有钎料层，所述靶材上方设置有配重层。所述钎焊结构可以使靶材与背板扣合时紧密接触，隔绝空气进入钎料层，减少焊接缺陷。焊接缺陷。焊接缺陷。

本发明提供了一种钨钛合金管靶的制备方法，所述制备方法将钨钛混合粉末与不锈钢内管依次进行脱气处理、热等静压处理，无需在脱气处理之前进行冷等静压处理，得到以所述不锈钢内管为背管的钨钛合金管靶，不仅可以提高半导体用钨钛管靶的致密度和组织结构均...

本发明提供了一种高纯锰的表面清理方法，所述表面清理方法包括以下步骤：将高纯锰采用不同粒径的砂料进行喷砂处理；将喷砂处理后的高纯锰采用有机溶剂进行超声波清洗；将超声波清洗后的高纯锰依次进行干燥、包装，得到表面清理后的高纯锰材料。本发明所述...

本发明提出了一种钽二氧化硅溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括依次进行的混粉、冷等静压、脱气、热等静压与机加工，可以制备得到纯度≥99.9％、致密度≥98％的钽二氧化硅溅射靶材，且内部组织结构均匀，成分均匀，机加工性能优异，满足真空溅...

本发明提供了一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法，所述制备方法将Ni粉质量占比为44.1～49.5％的钨镍合金粉，经混粉

本实用新型提供了一种金属溅射靶材的检具，所述金属溅射靶材的检具用于检测溅射靶材是否合格，所述金属溅射靶材的检具包括本体，所述本体表面设置有至少两个检测凸台，相邻的两个所述检测凸台之间设置定位凸起，所述的定位凸起与检测凸台分别独立地检测溅...

本实用新型提供了一种化学机械抛光用保持环，所述化学机械抛光用保持环包括第一环体和第二环体；所述第一环体和第二环体通过粘结剂粘结；所述第一环体上设有凹槽，所述凹槽上设有第一侧面粘结面和第一阶梯水平粘结面；所述第二环体上设有环形凸台，所述环...

本发明提供一种铜背板的钎焊结构及其加工方法，所述钎焊结构包括背板，所述背板焊接面与靶材固定连接，所述背板焊接面设置有凹槽，所述凹槽位于所述背板与所述靶材之间，所述凹槽底部设置有焊料槽。所述结构减少焊接缺陷，提高了背板与靶材的焊接结合率，...

本发明提供了一种半导体高纯钛靶材组件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将盖板和设置有冷却水道的基板分别独立地依次进行锻伸、一次热处理、压延以及二次热处理；将经过上述处理的盖板和基板装配，进行搅拌摩擦焊，得到背板；将得到的背板与钛靶材...

本发明提供了一种靶材背板的搅拌摩擦焊接方法，将带有冷却水道的背板底板与盘型水道盖板完成装配，经过搅拌摩擦焊接得到靶材背板；搅拌摩擦焊接操作简便，无需外加焊料，不会引入杂质元素，焊接结合率高，不易发生漏水的状况；且所述搅拌摩擦焊接路径设置...

本发明提供了一种铝旋转靶的热等静压扩散焊接的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管和低碳钢管进行装配得到套管，所述套管由内到外依次为不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管，不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管之间分别...

本发明提供了一种铬硅合金粉及其制备方法与应用，本发明将真空熔炼与超声雾化相结合，可使金属液体的表面张力降低，更容易被破碎成小液滴，从而使铬硅合金粉粒度更细小且均匀度更高；采用本发明所述制备方法得到的铬硅合金粉氧含量≤130ppm，平均粒...

本发明涉及一种电子束焊接结构及其焊接方法，所述电子束焊接结构包括背板和靶材，所述背板与靶材之间的焊接处设置有待焊件，所述待焊件的材质为铝合金。所述焊接方法包括采用铝合金作为待焊件放置于背板与靶材的焊接处，通过电子束焊接将靶材焊接固定于背...

本实用新型提供了一种环形产品的定位检具，所述定位检具包括两侧的圆盘形结构和中间的直形连接段，每个圆盘形结构上设有至少一条直形槽，所述直形连接段的中间位置设有安装孔，所述定位检具中心对称；所述定位检具中两侧圆盘形结构均与环形产品的内壁面相...

本发明涉及一种钽钛合金靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽粉和钛粉分别进行第一热处理和第二热处理后混合，得到钽钛混合粉末；(2)将步骤(1)得到的所述钽钛混合粉末依次进行包套脱气和冷等静压处理，得到钽钛压坯；(3)将步骤...

本发明涉及一种镍钛合金靶坯及其制备方法，所述制备方法包括对镍钛合金铸锭依次进行锻造、一次退火、轧制、二次退火与机加工，得到的镍钛合金靶坯具有内部结构均匀，内部无缺陷，晶粒细小等优点，晶粒大小一般≤100μm，最优时≤50μm，将成品率提...

本实用新型提供一种坩埚可调节板组件，所述组件包括坩埚夹持单元以及锁紧单元，所述坩埚夹持单元包括基台部以及夹持部，所述基台部的底面与所述夹持部的顶端相连，所述夹持部侧壁设置有至少一个开口，所述锁紧单元环绕设置于所述夹持部外壁。所述坩埚可调...

本发明提供一种改善高纯镍靶材内部组织的工艺方法，所述工艺方法包括对坯料依次进行的锻伸处理、第一热处理、热轧处理以及第二热处理。一种改善高纯镍靶材内部组织的工艺方法，其特征在于，所述工艺方法包括对坯料依次进行的锻伸处理、第一热处理、热轧处...

本发明涉及一种铜背板的热处理方法，所述热处理方法包括以下步骤：(1)将铜板进行锻伸得到铜锭；(2)将步骤(1)得到的所述铜锭进行第一热处理得到第一铜锭；(3)将步骤(2)得到的所述第一铜锭依次进行一次压平和第二热处理得到第二铜锭；(4)...