本发明提供一种改善高纯铝靶材内部组织的工艺方法，所述工艺方法包括对坯料依次进行的第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第三锻伸处理、第二热处理、静压处理、压延处理以及第三热处理。所述工艺方法可以减少高纯铝靶材内部缺陷，细化内部晶粒，提...

本发明提供一种ITO废靶的回收再利用方法，所述回收再利用方法包括：将ITO废靶依次经预处理、真空除杂处理和破碎处理，得到ITO颗粒；将所述ITO颗粒经氧压烧结，得到ITO粉末；将所述ITO粉末依次经装模、包套焊接和脱气处理后，进行热等静...

本发明提供了一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法，通过对焊接完成的圆形钼靶材组件的溅射面依次进行粗车削和精车削，减小了圆形钼靶材与背板发生相对转动的推动力，有效降低了圆形钼靶材的脱焊面积，避免了焊缝增大以及靶材开裂等问题的发生；而且，本...

本实用新型提供一种靶材清洗装夹装置，所述靶材清洗装夹装置包括凹字形的靶材承装部件和夹块，所述夹块安装在靶材承装部件上；所述夹块包括L型装夹口和主体部，所述主体部远离L型装夹口的部分包括弯曲面，所述夹块包括第一夹块、第二夹块和第三夹块。本...

本实用新型提供了一种挤压机清理垫，所述挤压机清理垫呈空心圆柱形结构，所述清理垫的外侧中部设有一圈环形凹槽，所述清理垫的侧面设有贯通空心圆柱形清理垫的内壁和外壁的斜缝，所述斜缝在轴向上贯通清理垫的上表面和下表面，所述斜缝在清理垫的上表面和...

本实用新型提供一种聚焦环组件的焊接结构，所述焊接结构包括：环件本体以及设置于环件本体外侧的至少两个固定件；所述环件本体与固定件对应位置设置有用于与所述固定件结合的凹槽；所述凹槽内表面设置有第一螺纹，所述固定件上与凹槽结合的部位设置有与所...

本发明提供了一种铜靶材的清洗方法，将待清洗的铜靶材依次进行除油、除锈、醇洗以及干燥，得到洁净的铜靶材；本发明所述铜靶材的清洗方法增加了除锈这一步骤，从而达到更好的清洗效果，增加铜靶材的表面洁净度，延缓铜靶材的氧化；同时，除锈液对车削过程...

本发明涉及一种钨硅靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钨粉和硅粉进行第一热处理，得到钨硅合金；(2)将步骤(1)得到的所述钨硅合金进行破碎，得到钨硅合金粉末；(3)将步骤(2)得到的所述钨硅合金粉末进行第二热处理，得到钨硅...

本实用新型提供了一种溅射靶材吹扫用气枪，所述溅射靶材吹扫用气枪包括枪身、枪柄、枪头和枪头保护件，所述枪身内设有贯穿管道，所述贯穿管道延伸向外与枪头连接，所述枪柄位于枪身的下部，所述枪头的端部外侧设有枪头保护件；所述枪头保护件包括枪头圆管...

本实用新型提供一种靶材钎焊结构，所述钎焊结构包括背板，所述背板包括焊接面以及外沿，所述焊接面与所述外沿形成台阶结构，所述背板的焊接面与所述靶材的焊接面扣合，所述台阶结构上表面设置有夹持结构固定所述靶材。所述钎焊结构可以提高密度较低靶材钎...

本发明涉及一种包套结构和焊接方法，所述包套结构包括背板和盖板；所述背板由内向外依次设置第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽设置于所述第二凹槽的底部；所述第一凹槽的直径＜所述第二凹槽的直径；所述第一凹槽的中心线与所述第二凹槽的中心线重合；所述...

本发明提供了一种靶材背板的辅助焊接工件及利用其的焊接方法，所述辅助焊接工件包括辅助底座和辅助盖板，辅助底座上开设用于放置靶材背板的放置槽，辅助盖板正对放置槽，且通过至少两个固定螺栓与所述辅助底座相连；在所述辅助盖板的中部区域、对应所述放...

本发明涉及一种钼及钼合金中氧含量的检测方法，所述检测方法包括以下步骤：(1)将样品进行混酸处理，得到酸处理样品；(2)将步骤(1)得到的所述酸处理样品和助熔剂进行热处理，得到待测气体；(3)将步骤(2)得到的所述待测气体依次进行氧化处理...

本发明提供了一种硅靶材焊接面的镀镍方法，对于硅靶材焊接面依次进行真空离子镀轰击处理、第一真空溅射镀膜处理、真空离子镀钛处理以及第二真空溅射镀膜处理，可以在硅靶材焊接面上得到由镍膜

本发明提供一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：(1)靶材原料依次经锻伸处理、第一热处理和冷锻处理，得到第一靶材；(2)所述第一靶材依次经第二热处理、静压处理和压延处理，得到第二靶材；(3)所述第二靶材依次经第三热处理和机加...

本发明涉及一种多水道背板、多水道背板组件及焊接方法，解决了目前背板在使用过程中散热效果差，散热效率不佳的问题，多水道背板的一面设置的水道包括第一水道、第二水道和第三水道；第一水道和第三水道以第二水道为对称中心对称分布；第一水道的长度＞第...

本发明提供了一种脆性靶材组件焊接的方法，所述方法包括以下步骤：(1)依次使用清洗液配合超声波对无氧铜背板进行清洗；(2)脆性靶材进行表面清洁；(3)分别在清洗后的无氧铜背板以及表面清洁后的脆性靶材的单侧涂抹导电胶，脆性靶材的涂胶面扣合至...

本发明涉及一种背板的焊接方法，所述焊接方法包括：将含有水道的背板、配合的水道盖板和焊片装配后进行真空钎焊；所述真空钎焊包括依次进行的第一保温、第二保温和第三保温；所述第一保温的温度为400

本发明提供了一种半导体聚焦环件加工夹具及其制备方法，所述加工夹具通过弹性撑紧、防脱开装置，压板以及侧面固定装置的设置，有效解决了200mm系列环件在铣加工过程中易断裂的问题，保证了加工过程中的安全性，加工成品率可达100％，有利于工业化...

本发明涉及一种激光刻字中PLT线条的识别方法及刻字方法，所述识别方法包括如下：读取PLT图片中的线条数据，记为线条组T1，其中线条组T1中线条的个数为N；判断线条组T1中线条的个数为N是否为0，若N＝0，则输出画线线条数组T2并结束；反...