本实用新型提供了一种靶材组件，所述靶材组件的背板上设置有至少4个长圆孔，所述靶材组件为无焊料焊接时，所述背板上的长圆孔的深度比背板的厚度大0.9

本发明涉及一种铝钪合金的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将铝原料和钪原料制备得到铝丝和钪丝；(2)将步骤(1)得到的所述铝丝和钪丝进行混合，然后冷等静压，得到合金块；(3)将步骤(2)得到的所述合金块进行真空磁悬浮熔炼，得到所...

本发明涉及一种钽硅氧化物溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合钽粉和二氧化硅粉，得到混粉料；(2)将步骤(1)得到的所述混粉料依次进行第一加压处理、第一热处理、第二热处理和第二加压处理，得到坯料；(3)将步骤(2)得到...

本实用新型提供了一种用于薄壁锅形靶材的夹具，所述夹具包括支架和垫片；所述支架包括至少2根支撑杆；所述支撑杆相交于支架的中心；所述中心为支撑杆的中点；所述垫片设置于支架中远离所述中心的一端并紧贴靶材内壁。本实用新型提供的夹具可以起到支撑薄...

本发明提供了一种钽钼合金靶材及其制备方法与应用，先采用分批次混合的方式，将第一钽粉和钼粉进行第一混合，并均分得到两份第一混合粉；将每份第一混合粉分别与第二钽粉进行第二混合，并均分得到四份第二混合粉；将每份第二混合粉分别与第三钽粉进行第三...

本发明提供了一种靶材冷却背板及其焊接方法，在背板底板的水道中填充固体颗粒后，与背板盖板进行固定，得到待焊接组件；将待焊接组件进行热等静压焊接，得到半成品靶材冷却背板；将半成品靶材冷却背板中的固体颗粒进行清除，得到靶材冷却背板。本发明通过...

本发明提供了一种高纯铜靶材及其制备方法与应用，将高纯铜锭依次经过第一热锻、第一热处理、第二热锻、第二热处理、静压和冷轧，得到了未完全再结晶的高纯铜靶材；通过第一热锻和第二热锻使得晶粒细化，通过控制第一热处理和第二热处理的温度，达到调控高...

本发明提供了一种钼靶材端面密封槽的加工方法，所述加工方法包括采用特定的切槽刀具对钼靶材进行刀啄式切削，调整切削参数，并经冷却、排屑和抛光打磨，得到钼靶材端面密封槽。在本发明中，提供的钼靶材加工方法，通过采用特定的切槽刀具配合相应的切削参...

本发明提供一种银靶坯与铜铬合金背板的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法分别对银靶坯的焊接面和铜铬合金背板的焊接面进行处理得到待加工银靶坯和待加工铜铬合金背板，将二者装配好后，进行包套焊接处理和热等静压焊接处理，完成所述银靶坯与铜铬合金背板的...

本发明提供了一种钛靶材清洁的方法，所述方法包括以下步骤：钛靶材依次经过刷洗、二次清洁和三次清洁，再进行干燥，得到洁净的钛靶材；所述钛靶材具有特殊的侧面滚花结构，所述方法采用刷洗、超声酸洗、冲洗和干燥，并优选酸种类和配比，取得较好的清洗效...

本发明提供了一种钒锌合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法中，通过第一升温、第一烧结、第二升温、第二烧结、加压和保压完成真空热压烧结，将高熔点的钒和低熔点的锌制成致密性的靶材，解决了靶材致密度不足、内部有孔洞、成分不均的问题；制得的钒锌...

本发明涉及一种高纯铝的提纯方法，所述提纯方法包括以下步骤：(1)将原料铝依次进行第一热处理和第二热处理，得到粗提铝；(2)将步骤(1)得到的所述粗提铝进行蒸发提纯处理，得到铝蒸气；(3)将步骤(2)得到的所述铝蒸气进行冷却沉积处理，得到...

本发明提供了一种低氧钽靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽源置于氢化装置并抽真空，通入氢气加热，待氢化装置内压力不再下降时停止加热，得到氢化钽源；(2)将步骤(1)所述氢化钽源依次进行破碎和热处理后，得到脱氢钽粉；(3...

本发明提供了一种钽钛合金靶材及其制备方法与应用，先采用分批次混合的方式，将第一钽粉和钛粉进行第一混合，并均分得到两份第一混合粉；将每份第一混合粉分别与第二钽粉进行第二混合，并均分得到四份第二混合粉；将每份第二混合粉分别与第三钽粉进行第三...

本发明涉及一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)ITO靶材与Mo背板分别升温至目标温度；(2)维持ITO靶材与Mo背板的温度不变，对ITO靶材的焊接面以及Mo背板的焊接面进行浸润；(3)于Mo背板的焊接面形...

本发明提供一种高纯银靶材的焊接方法，所述焊接方法包括：分别独立地对银靶坯以及背板的焊接面进行车削和清洗处理；将焊料置于所述银靶坯以及背板的焊接面，加热融化后浸润；将所述银靶坯以及背板扣合后，在压力作用下冷却。所述焊接方法可以提高高纯银靶...

本发明提供一种高纯铜系靶材的焊接方法，所述方法包括以下步骤：(1)将铜靶坯加工成台阶状，台阶厚度与铜背板槽深度一致，对铜背板焊接面进行车削螺纹处理；(2)将加工后的所述铜靶坯以及铜背板进行清洗和干燥处理；(3)将所述铜靶坯以及铜背板进行...

本发明涉及一种收集从浇注机喷出的高温雾状分散溶剂的收集装置，用于消除雾状溶剂对工作环境的污染，提高头套的使用寿命，便于快捷安全地操作使用。收集装置包括罐体、伸缩头套和锁紧接口，伸缩头套的形状为圆锥形。其中锁紧接口为带有密封部件可锁紧的金...

本实用新型提供了一种粉末摊平装置，所述粉末摊平装置包括中心轴和依次设置于所述中心轴上的旋转控制部件、高度调节部件、轴承部件和刮板；所述旋转控制部件、高度调节部件和轴承部件依次嵌套于所述中心轴上；所述刮板固定连接于所述中心轴的末端。本实用...

本发明涉及一种碳化硅靶材的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)对靶坯和背板进行预处理，得到预处理靶材；所述靶坯的材质为碳化硅；(2)将步骤(1)得到的所述预处理靶材进行真空钎焊处理，所述真空钎焊处理的焊料为银基焊片，得到所述碳化硅...