本发明涉及一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钛铝合金靶材的焊接面依次经喷砂处理与镀镍处理，得到预处理钛铝合金靶材；(2)将净化铝合金背板与步骤(1)所得预处理钛铝合金靶材分别独立地进行浸润处理，得到...

一种用于CVD镀膜的喷淋头的制作方法，提供胚料；通过机床在所述胚料中加工出若干喷淋孔，形成加工件；对所述加工件进行清洗；对所述清洗后的加工件进行抛光处理；对所述抛光后的加工件进行喷砂处理。通过前述加工步骤的有机结合加工制作的喷淋头，具有...

本发明公开了一种高耐磨性化学机械抛光垫及其制备方法和应用，涉及的是化学机械抛光垫的制备领域。本发明通过用超声波和分散剂处理氧化石墨烯，再加入到聚氨酯树脂溶液中，涂布于透明薄膜基材上，通过凝结成膜法获得多孔聚氨酯膜，随后经后处理制备成抛光...

本发明公开了一种化学机械抛光垫的制备方法，通过聚氨酯浆料涂布于透明薄膜卷材上，通过凝结成膜法获得多孔聚氨酯膜，再经碱溶液降解其中的含酯键的聚合物粉末以形成占据式的微孔洞，最终经后处理制备得到化学机械抛光垫。通过将含酯键的聚合物、极性溶剂...

本发明涉及一种靶材组件的焊接结构及焊接方法，所述焊接结构包括第一焊接组件和第二焊接组件；所述第一焊接组件包括含有第一凹槽的第一背板和设置于第一凹槽内的第一靶材；所述第二焊接组件包括含有第二凹槽的第二背板和设置于第二凹槽内的第二靶材；所述...

本实用新型提供了一种靶材存储装置，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深...

本发明公开了一种高抛光稳定性的化学机械抛光垫及其制备方法，涉及的是化学机械抛光技术领域。通过将水溶性聚合物溶解于一种溶剂中配制成溶液，再将溶液加入到树脂溶液中，涂布于塑料薄膜基材上，通过凝结成膜法获得多孔树脂膜，再经水洗工序溶解其中的水...

本发明公开了一种化学机械抛光垫的制备方法及其应用，涉及的是化学机械抛光技术领域。通过将微米级的酸溶性化合物粉末加入到聚氨酯树脂混合溶液中，涂布于塑料薄膜基材上，通过凝结成膜法获得多孔聚氨酯膜，再经可电离化合物溶液反应溶解其中的酸溶性化合...

本发明涉及B24B，更具体地，本发明涉及一种终点检测窗口和带窗口的化学机械抛光垫及制备方法。所述窗口侧面设有若干个周向槽；本发明提供一种具有特殊设计侧面结构的柱形窗口，并与抛光垫一体浇注成型制造具有窗口/抛光垫高结合强度的化学机械抛光垫...

本发明涉及一种含易燃金属靶材组件的激光焊接方法，所述激光焊接方法包括如下步骤：(1)将激光对焦于含易燃金属靶材组件焊接缝的0.4

本发明涉及一种靶材背板缺陷的修复方法，所述修复方法包括如下步骤：(1)对靶材背板的缺陷区域进行划分与第一检测，得到待加工背板；(2)步骤(1)所得待加工背板依次经加工处理、清洗处理以及干燥，得到待修复背板；(3)步骤(2)所得待修复背板...

一种溅射环的清洗装夹工件和清洗装置，其中所述溅射环的清洗装夹工件，包括：支撑架，所述支撑架包括两跟竖杆和与所述两根竖杆顶部固定连接的横杆；位于所述两个竖杆之间的第一承重杆和第二承重杆，所述第一承重杆和第二承重杆的两端固定在所述两个竖杆上...

本发明涉及溅射靶材制备技术领域，公开了一种使用后的WTI焊接靶超声波检测方法，包括：制作标样WTI焊接靶，标样WTI焊接靶的检测合格后，提供使用后的WTI焊接靶，将所述使用后的WTI焊接靶放置在水中并将探头伸入水中，以水为介质将使用后的...

一种靶材组件及其形成方法，所述形成方法，包括：提供背板，所述背板的待焊接面包括中间区域和环绕中间区域的边缘区域，所述待焊接面的边缘区域表面上具有凸起的若干分立的台阶；在所述背板的待焊接面表面上添加钎料；提供金属靶材；将所述金属靶材置于所...

本发明涉及一种用于靶材组件钎焊的焊料及其用途，所述焊料由铟粉、锡粉和锌粉组成；所述锡粉的平均粒度＜所述铟粉的平均粒度＜所述锌粉的平均粒度，所述用途包括采用所述焊料对靶材和背板进行钎焊焊接。本发明提供的焊料，通过对焊料中所用金属粉的种类和...

本实用新型涉及一种靶材，所述靶材的溅射面上以中心点为基准呈辐射状依次设置有第一凹区、第二凹区和第三凹区；所述第一凹区的面积为所述溅射面面积的12

本发明涉及一种石墨靶材的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)石墨靶材的焊接面镀金属膜，得到镀膜靶材；(2)浸润背板的焊接面以及步骤(1)所述镀膜靶材的焊接面，得到浸润背板与浸润靶材；(3)扣合步骤(2)所得浸润背板与浸润靶材，自然...

本发明提供了一种高纯铜合金颗粒度的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：所述高纯铜合金经预处理、溶解、稀释和液体颗粒计数器检测，得到颗粒度；所述溶解的溶液为硝酸、盐酸或硫酸中的任意一种或至少两种的组合。本发明在高纯铜合金颗粒度检测过程中，...

本发明提供了一种溅射用沉积环及其应用，所述溅射用沉积环包括连接部以及第一伸出端，所述第一伸出端上表面朝远离所述连接部的方向，依次设置有第一凹槽、第一凸起、第二凹槽、平面以及第二凸起；所述第一凸起的表面上设置有花纹，形成环形花纹带；所述溅...

本发明提供一种ITO靶材晶粒粒度的检测方法，所述检测方法包括如下步骤：(1)切割ITO靶材，得到待处理样品；(2)对所述待处理样品依次进行第一研磨抛光处理、第二研磨抛光处理和第三研磨抛光处理后，进行腐蚀处理，得到检测样品；所述腐蚀处理使...