本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检具、密封性检测系统装置和使用方法。所述密封性检具包括检具主体；所述检具主体的顶面上设置有凹槽，所述凹槽用于容纳靶材密封槽；所述检具主体的顶面边缘向外延伸形成第一边沿；所述凹槽的边缘和所述第一边沿的连接...

本发明提供了一种靶材背板上孔的除锈装置及除锈方法，所述除锈装置包括研磨具，所述研磨具包括至少两段，呈阶梯圆柱状结构，直径较小的圆柱段为研磨头，其直径与靶材背板上孔的直径相匹配；直径较大的圆柱段为研磨柄，所述研磨头插入靶材背板上的孔中时，...

本实用新型属于芯片制造技术领域，公开了一种靶材检具，其包括主体和塞规。主体上开设有用于安装靶材的检测通孔，主体的相对两侧均设有用于与相邻设备抵接的抵接平面，以将检测通孔与靶材的实际安装位置对齐。塞规设置于主体并与靶材相抵接，以将靶材固定...

本发明涉及一种标签贴的自动打印方法、打印装置及电子设备，解决手动录入标贴耗时且容易错误的风险，从而使不同材料成分的标贴模板自动识别，防止混淆；所述自动打印方法包括：提供标签贴模板；对标签贴模板进行参数设置，上传模板文件并进行日期格式维护...

本发明提供了一种靶材的校平方法，所述校平方法包括如下步骤：15℃至30℃的条件下对靶材进行至少4次校平处理；所述至少4次校平处理时，后一次校平处理的校平区域不小于前一次校平处理的校平区域；所述至少4次校平处理时，校平区域的面积范围为靶材...

本发明涉及一种管状靶材生坯的冷等静压模具，所述管状靶材生坯的冷等静压模具包括依次设置的镀铬刚性内芯、弹性外芯和刚性外套；所述镀铬刚性内芯和弹性外芯形成模腔；所述镀铬刚性内芯外表面的镀铬层厚度为55

本实用新型提供了一种锅型靶材的氦泄露检测用夹具，所述氦泄露检测用夹具上设置有密封圈；所述密封圈与所述锅型靶材中密封槽的位置不重合；所述氦泄露检测用夹具的中心设置有通孔；所述通孔背对所述锅型靶材的一面设置有与氦质谱检漏仪的波纹管结构相适应...

本实用新型属于芯片制造技术领域，公开了一种靶材检具，其包括：主体、连接组件、适配块以及塞规。主体内设有用于安装靶材的检测腔；连接组件设置在检测腔内；适配块通过连接组件可拆卸安装于检测腔内，适配块能够与装入检测腔内的靶材插接配合，塞规设置...

本实用新型涉及靶材加工技术领域，公开金属靶磨加工夹具。该金属靶磨加工夹具包括底座和至少两个夹持组件，底座上设置有支撑台，支撑台能容纳于凹槽中，并与凹槽的槽底抵接，两个夹持组件间隔设置在底座上，夹持组件包括夹板，夹板能抵压于背板的上端面。...

本实用新型属于靶材加工工具的技术领域，公开了一种用于异形靶材的拾取夹具。旨在解决现有异形靶材在加工生产过程中搬运困难容易发生滑落的问题。一种用于异形靶材的拾取夹具，上述异形靶材包括锅体，上述拾取夹具包括：环形夹、锁紧件和把手件；上述环形...

本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种圆度检测治具，圆度检测治具包括检测盘和环形保护垫，检测盘上设置有检测凹槽，检测凹槽用于检测靶材环件的圆度是否合格；环形保护垫设置于检测凹槽内且延伸至检测凹槽的端面上，环形保护垫朝向检测盘的侧面与检...

本发明提供了一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法，所述靶材边料切割辅助装置包括靶材旋转组件，及所述靶材旋转组件的顶部设置的靶材固定组件，所述靶材旋转组件用于控制待切割靶材转动，所述靶材固定组件用于固定与松开待切割靶材。本发明提供的靶材边...

本发明涉及一种锗碲锑合金的溶解方法，所述溶解方法包括：将锗碲锑合金与混合酸进行第一混合，得到混合液，之后向混合液中加入氢氟酸进行第二混合，得到溶解液；所述混合酸包括体积比为(1

本发明提供一种液晶显示用背板的搅拌摩擦焊接方法，其特征在于，所述方法包括：将带有冷却水道的底板和盖板完成装配，经过搅拌摩擦焊接后得到液晶显示用背板；所述底板的侧面设置有引出块；所述搅拌摩擦焊接的终点位置为引出块的任意位置。本发明提供的焊...

本发明涉及一种管状靶材法兰端面的抛光方法，所述抛光方法包括采用环形抛光治具对管状靶材的法兰端面依次进行第一抛光和第二抛光；所述环形抛光治具设置有环形抛光介质区；所述环形抛光介质区的环宽≥所述管状靶材的法兰端面的环宽；所述第一抛光的时间＜...

本发明提供了一种钨钛合金管靶及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：将钨粉和氢化钛粉依次进行第一混合、第二混合、第三混合和第四混合，得到钨钛合金粉；将所述钨钛合金粉依次进行装模、冷压处理和氢气烧结，得到钨钛合金管坯；将所述钨钛合金...

本发明提供了一种钨钛合金管靶及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：将钨粉和氢化钛粉依次进行第一混合、第二混合、第三混合和第四混合，得到钨钛合金粉；将所述钨钛合金粉依次进行装模、冷压处理和氢气烧结，得到钨钛合金管坯；将所述钨钛合金...

本发明提供了一种石墨靶材的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)石墨靶坯的焊接面热压形成浸润层；(2)对背板焊接面以及浸润层进行浸润处理，然后将石墨靶坯与背板进行钎焊焊接，得到石墨靶材。本发明提供的焊接方法能够避免石墨靶坯在焊接过程...

本发明提供了一种溅射用防护圈及其应用，所述溅射用防护圈包括腿部，以及设置于所述腿部上端的第一伸出端；所述第一伸出端内圈形成的侧壁上，设置有环形凹槽；所述溅射用防护圈的外表面设置有至少6层的花纹结构，每层花纹结构由不少于5个的凸起块构成；...

本发明提供了一种钛铝合金靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)均匀混合钛原料与铝原料，得到混合料；(2)熔炼步骤(1)所得混合料，得到熔融合金液；(3)使用步骤(2)所得熔融合金液进行喷雾造粒，然后对喷雾造粒所得颗粒进行放电等...