本发明专利技术提供了一种靶材背板上孔的除锈装置及除锈方法，所述除锈装置包括研磨具，所述研磨具包括至少两段，呈阶梯圆柱状结构，直径较小的圆柱段为研磨头，其直径与靶材背板上孔的直径相匹配；直径较大的圆柱段为研磨柄，所述研磨头插入靶材背板上的孔中时，研磨头和研磨柄之间的阶梯平面卡在靶材背板的表面，两者之间设有砂纸。本发明专利技术所述除锈装置以研磨具为主体，通过对研磨具阶梯状结构的划分，尤其是研磨头与待研磨的孔位相匹配，通过研磨具的转动快速实现孔内的除锈；通过研磨具和背板表面之间砂纸的设置，使得砂纸覆盖区域内的纹路规则清晰，能够起到密封作用，不影响使用，背板产品质量高；所述研磨具使用时，操作方便快捷，成本较低。本较低。本较低。
【技术实现步骤摘要】
一种靶材背板上孔的除锈装置及除锈方法
[0001]本专利技术属于靶材组件加工
，涉及一种靶材背板上孔的除锈装置及除锈方法。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的不断发展，溅射靶材作为薄膜材料制备的原材料，在芯片制造、太阳能电池、LCD制造等行业均有广泛的应用。物理气相沉积技术是制备薄膜材料核心技术，其使用的原材料被称为溅射靶材，溅射靶材通常与靶材背板一块使用，两者共同构成靶材组件，靶材背板需要具有一定的硬度和导电性，不仅在靶材组件装卡至溅射基台中起到支撑作用，而且可作为溅射工艺中的导体使用。
[0003]现有技术中，溅射靶材和靶材背板焊接后，边缘会存在毛刺，且背板选择铜或铜合金材质时容易生锈，需要进行表面加工处理，并通过清洗、真空包装后供给客户使用，然而目前的背板的表面处理通常采用抛光等操作，只能处理背板的表面，但由于背板上通常设有各类孔位，如安装孔、定位孔等，针对孔内表面的除锈通常无法进行，达不到全面除锈的效果。
[0004]CN 110877235A公开了一种靶材背板表面的抛光处理方法，该方法通过将靶材组件倒置在磁力抛光装置中，靶材背板朝上，进行磁力抛光处理，该方法虽然能够使得背板表面的抛光纹路均匀，不易生锈，但对于背板上孔内的锈迹的去除随机性太强，无法充分去除。CN 213319545U公开了一种管状金属靶材内孔研磨抛光装置，该抛光装置包括电机和抛光头，所述电机的输出端设有便于调节的抛光头与内壁贴合，且可以在内孔研磨抛光的同时将灰尘收集处理的研磨抛光装置，该抛光装置主要是针对靶材进行处理，并未涉及到背板上孔的处理，而背板上孔的结构形式与管状靶材的内孔相差较大，难以直接使用。
[0005]CN 101774142A公开了一种用于修正孔径的小孔研磨具，该研磨具包括研磨芯轴，研磨芯轴为圆锥轴，其大直径端为夹持部分，夹持部分径向设有一条环槽，环槽内设有开口钢丝圈；其另一侧为工作部分，工作部分配合套设有开口研磨套。该研磨具主要用于修正孔径，不一定能够对孔的内部进行研磨与除锈，对于孔的边缘区域无法起到保护作用。
[0006]综上所述，对于靶材背板表面的研磨与除锈，尤其是靶材背板上孔内的除锈，还需要设计专门的研磨具，既能够对孔内起到除锈作用，又能够对孔的外侧边缘区域起到保护作用，避免该区域与背板表面纹路不一致。
技术实现思路
[0007]针对现有技术存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种靶材背板上孔的除锈装置及除锈方法，所述除锈装置以研磨具为主体，通过对研磨头结构的设计，使其与待研磨的孔位相匹配，快速实现背板孔位的研磨除锈，并通过研磨具和背板表面之间砂纸的设置，实现表面纹路规则清晰；所述方法方便快捷，有助于提高背板产品的质量。
[0008]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0009]一方面，本专利技术提供了一种靶材背板上孔的除锈装置，所述除锈装置包括研磨具，所述研磨具包括至少两段，呈阶梯圆柱状结构，直径较小的圆柱段为研磨头，其直径与靶材背板上孔的直径相匹配；直径较大的圆柱段为研磨柄，所述研磨头插入靶材背板上的孔中时，研磨头和研磨柄之间的阶梯平面卡在靶材背板的表面，两者之间设有砂纸。
[0010]本专利技术中，基于靶材组件中背板的安装及应用需求，需要设置多个开孔，其加工过程中常规的研磨除锈操作，难以直接作用于孔内，无法达到全面除锈的效果吗，因而本专利技术中设计除锈装置，以研磨具为主体，通过对研磨具阶梯状结构的划分，尤其是研磨头与待研磨的孔位相匹配，通过研磨具的转动快速实现孔内的除锈；而研磨头末端的阶梯平面与背板表面上孔周围区域之间砂纸的设置，使得该区域内的纹路规则、清晰，不与背板主体表面混淆交叉，能够起到密封作用，不影响使用，保证背板产品的质量；所述研磨具使用时，操作方便快捷，除锈效果好，结构简单，成本较低。
[0011]以下作为本专利技术优选的技术方案，但不作为本专利技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本专利技术的技术目的和有益效果。
[0012]作为本专利技术优选的技术方案，所述靶材背板的材质包括铜或铜合金。
[0013]优选地，所述研磨具的材质包括金属材料或有机材料。
[0014]优选地，所述金属材料包括不锈钢，所述有机材料包括聚苯硫醚。
[0015]作为本专利技术优选的技术方案，所述靶材背板上的孔包括单径孔或阶梯孔，所述单径孔包括通孔和/或盲孔。
[0016]优选地，所述靶材背板上的孔为单径孔时，所述研磨头的直径不大于孔的直径，优选为等于孔的直径。
[0017]优选地，所述靶材背板上的孔为单径孔时，所述研磨头的长度不大于靶材背板上孔的深度，优选为等于孔的深度。
[0018]作为本专利技术优选的技术方案，所述靶材背板上的孔为阶梯孔时，所述研磨头包括直径不同的两段圆柱状结构。
[0019]优选地，所述两段圆柱状结构的尺寸分别与阶梯孔的两段孔的尺寸相匹配。
[0020]本专利技术中，当背板上的孔包括阶梯孔时，此时的研磨头的结构也需要与之相匹配，分为两段甚至更多段的结构。
[0021]作为本专利技术优选的技术方案，所述研磨柄和研磨头之间还包括连接段，所述连接段呈圆柱状，其直径介于研磨柄和研磨头的直径之间。
[0022]优选地，所述连接段与研磨柄可拆卸式连接。
[0023]优选地，所述连接段上与研磨柄连接的一端设有带螺纹的连接头，所述研磨柄上设有带螺纹的沉孔，两者螺纹连接。
[0024]作为本专利技术优选的技术方案，所述砂纸呈圆环形片状结构，圆环形的中心区域的尺寸与孔的尺寸相匹配。
[0025]优选地，所述砂纸以靶材背板上的孔为中心，铺设在孔的周围区域。
[0026]优选地，所述砂纸的外径尺寸不小于研磨柄或连接段的直径尺寸。
[0027]优选地，所述砂纸的型号包括320#、400#或600#中任意一种。
[0028]另一方面，本专利技术提供了一种采用上述除锈装置进行靶材背板上孔的除锈方法，所述除锈方法包括以下步骤：
[0029]选择与待研磨的靶材背板上的孔相匹配的研磨具，将研磨头放入孔内进行转动研磨，所述研磨头末端的阶梯平面卡在背板表面上，与背板表面之间设有砂纸，完成背板孔的除锈。
[0030]作为本专利技术优选的技术方案，所述研磨头在孔内单向转动，其转动方向顺着背板上原有的纹路。
[0031]优选地，所述研磨具手动操作，所述转动研磨的速率为20～40r/min，例如20r/min、25r/min、30r/min、35r/min或40r/min、20r/min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0032]作为本专利技术优选的技术方案，所述转动研磨的时间为20～60s，例如20s、25s、30s、35s、40s、45s、50s或60s等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0033]作为本专利技术优选的技术方案，所述砂纸提前铺设于背板表面，其圆环形结构以背板上的孔为中心，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材背板上孔的除锈装置，其特征在于，所述除锈装置包括研磨具，所述研磨具包括至少两段，呈阶梯圆柱状结构，直径较小的圆柱段为研磨头，其直径与靶材背板上孔的直径相匹配；直径较大的圆柱段为研磨柄，所述研磨头插入靶材背板上的孔中时，研磨头和研磨柄之间的阶梯平面卡在靶材背板的表面，两者之间设有砂纸。2.根据权利要求1所述的除锈装置，其特征在于，所述靶材背板的材质包括铜或铜合金；优选地，所述研磨具的材质包括金属材料或有机材料；优选地，所述金属材料包括不锈钢，所述有机材料包括聚苯硫醚。3.根据权利要求1或2所述的除锈装置，其特征在于，所述靶材背板上的孔包括单径孔或阶梯孔，所述单径孔包括通孔和/或盲孔；优选地，所述靶材背板上的孔为单径孔时，所述研磨头的直径不大于孔的直径，优选为等于孔的直径；优选地，所述靶材背板上的孔为单径孔时，所述研磨头的长度不大于靶材背板上孔的深度，优选为等于孔的深度。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的除锈装置，其特征在于，所述靶材背板上的孔为阶梯孔时，所述研磨头包括直径不同的两段圆柱状结构；优选地，所述两段圆柱状结构的尺寸分别与阶梯孔的两段孔的尺寸相匹配。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的除锈装置，其特征在于，所述研磨柄和研磨头之间还包括连接段，所述连接段呈圆柱状，其直径介于研磨柄和研磨头的直径之间；优选地，所述连接段与研磨柄可拆卸式连接；优...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，朱建飞，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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