一种靶材检具制造技术

本实用新型专利技术属于芯片制造技术领域，公开了一种靶材检具，其包括主体和塞规。主体上开设有用于安装靶材的检测通孔，主体的相对两侧均设有用于与相邻设备抵接的抵接平面，以将检测通孔与靶材的实际安装位置对齐。塞规设置于主体并与靶材相抵接，以将靶材固定于检测通孔内。通过在主体上设置两个相对的抵接平面，在对靶材进行检测时，将两个抵接平面分别与两侧的相邻设备抵接，使得检测通孔能够与靶材的实际安装位置对齐，此时只需要利用塞规将装入检测通孔内的靶材固定，即可实现在对靶材的尺寸检测的同时，模拟靶材的安装情况，从而使得该检测过程能够对靶材的实际安装起到较高的参考性，确保靶材在检测合格的同时，也能够顺利进行安装。进行安装。进行安装。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材检具


[0001]本技术涉及芯片制造
，尤其涉及一种靶材检具。

技术介绍

[0002]在芯片的生产加工过程中，需要将靶材固定在溅射机台上进行磁控溅射，而靶材上开设的孔位对靶材在溅射过程中安装稳定性具有直接影响，因此靶材在加工完成后就需要进行孔位尺寸的检测。
[0003]现有技术中，通常采用三坐标检测件对靶材进行孔位尺寸的检测，但是其检测流程较为繁琐，导致每个靶材的检测都需要花费较多的时间，当需要对大批量靶材进行检测时，其整体的检测速率较慢。为了提高检测速率，通过采用环状结构的圆盘作为对应靶材的检具，在圆盘中会开设相应的通孔类结构，以与对应的靶材适配，在检测时就将靶材放置在该通孔内，通过塞规固定后就可以进行孔位尺寸的检测。
[0004]但是上述检具在使用时都是通过单独的固定结构固定好，再依次将靶材放入进行检测，导致检具仅能对靶材自身的孔位尺寸进行检测，而并不能模拟产品实际的安装环境，致使该检测结果对靶材在实际安装过程中的参考性较低。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种靶材检具，解决了现有技术中，检具在对靶材的孔位进行检测时，由于不能真实模拟产品实际的安装环境导致检测结果对靶材的实际安装过程的参考性较低的问题。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种靶材检具，其包括：主体和塞规。所述主体上开设有用于安装靶材的检测通孔，所述主体的相对两侧均设有用于与相邻设备抵接的抵接平面，以将所述检测通孔与所述靶材的实际安装位置对齐。塞规设置于所述主体并与所述靶材相抵接，以将所述靶材固定于所述检测通孔内。
[0008]可选地，所述靶材检具还包括：调节组件，设置于所述主体，所述调节组件的一侧与所述抵接平面相对设置，另一侧则与对应的所述相邻设备抵接，所述调节组件用于调节所述主体在所述相邻设备之间的位置。
[0009]可选地，所述调节组件包括：弹性带，一端与所述主体固定连接；调节板，所述调节板的一侧与所述抵接平面相对并与所述弹性带的另一端连接，另一侧与所述相邻设备抵接，所述调节板与所述抵接平面之间形成调节间隙；以及垫块，插设于所述调节间隙内以调节所述调节板与所述主体之间的距离。
[0010]可选地，所述垫块插入所述调节间隙的一侧设有斜面。
[0011]可选地，在所述垫块插入所述调节间隙的方向上，所述垫块的厚度从靠近所述主体的一侧向远离所述主体的一侧递增。
[0012]可选地，所述调节板呈长条形，所述调节板的两侧分别设置一个所述弹性带。
[0013]可选地，所述主体上开设有供所述弹性带安装的安装槽。
[0014]可选地，所述调节组件还包括：限位条，设置于所述调节板远离所述垫块插入所述调节间隙的一侧，所述限位条位于所述调节间隙内以限制所述垫块的移动范围。
[0015]可选地，所述调节板采用弹性材料制成。
[0016]可选地，所述调节组件设置两个且分别位于所述主体的相对两侧。
[0017]本技术的有益效果：
[0018]通过在主体上设置两个相对的抵接平面，在对靶材进行检测时，将两个抵接平面分别与两侧的相邻设备抵接，使得检测通孔能够与靶材的实际安装位置对齐，此时只需要利用塞规将装入检测通孔内的靶材固定，即可实现在对靶材的尺寸检测的同时，模拟靶材的安装情况，从而使得该检测过程能够对靶材的实际安装起到较高的参考性，确保靶材在检测合格的同时，也能够顺利进行安装。
附图说明
[0019]图1是本技术一些实施例中靶材检具的主体的结构示意图；
[0020]图2是本技术一些实施例中靶材检具的主体只设置一组调节组件的结构示意图；
[0021]图3是本技术一些实施例中靶材检具的主体只设置一组调节组件的剖视图；
[0022]图4是本技术一些实施例中靶材检具的主体设置两组调节组件的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]1、主体；10、检测通孔；11、抵接平面；12、安装槽；2、调节组件；20、弹性带；21、调节板；22、垫块；220、斜面；23、调节间隙；24、限位条。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示
的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0029]本技术实施例提供一种靶材检具
[0030]实施例一
[0031]参照图1，该靶材检具包括主体1和塞规。主体1上开设有用于安装靶材的检测通孔10，主体1的相对两侧均设有用于与相邻设备抵接的抵接平面11，以将检测通孔10与靶材的实际安装位置对齐。塞规设置于主体1并与靶材相抵接，以将靶材固定于检测通孔10内。
[0032]具体地，主体1呈圆盘状，其中部位置贯穿开设检测通孔10，其左右两侧通过切削加工形成平面，该平面可以直接作为抵接平面11，利用抵接平面11将主体1夹设在靶材实际安装位置的两个相邻设备之间，以使得检测通孔10能够与靶材的实际安装位置对应。塞规则固定在检测通孔10的正中心，其类型可以根据所需要的检测的靶材种类进行选择和更换，塞规的结构和尺寸均为现有技术，在此不做赘述。
[0033]该靶材检具在使用时，通过在主体1上设置两个相对的抵接平面11，对靶材进行检测前，先将两个抵接平面11分别与两侧的相邻设备抵接，使得检测通孔10能够与靶材的实际安装位置对齐，此时只需要利用塞规将装入检测通孔10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材检具，其特征在于，所述靶材检具包括：主体(1)，所述主体(1)上开设有用于安装靶材的检测通孔(10)，所述主体(1)的相对两侧均设有用于与相邻设备抵接的抵接平面(11)，以将所述检测通孔(10)与所述靶材的实际安装位置对齐；以及塞规，设置于所述主体(1)并与所述靶材相抵接，以将所述靶材固定于所述检测通孔(10)内。2.根据权利要求1所述的靶材检具，其特征在于，所述靶材检具还包括：调节组件(2)，设置于所述主体(1)，所述调节组件(2)的一侧与所述抵接平面(11)相对设置，另一侧则与对应的所述相邻设备抵接，所述调节组件(2)用于调节所述主体(1)在所述相邻设备之间的位置。3.根据权利要求2所述的靶材检具，其特征在于，所述调节组件(2)包括：弹性带(20)，一端与所述主体(1)固定连接；调节板(21)，所述调节板(21)的一侧与所述抵接平面(11)相对并与所述弹性带(20)的另一端连接，另一侧与所述相邻设备抵接，所述调节板(21)与所述抵接平面(11)之间形成调节间隙(23)；以及垫块(22)，插设于所述调节间隙(23)内以调节所述调节板(21)与所述主体(1)之间的距...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，唐隆浩，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：