金属靶磨加工夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及靶材加工技术领域，公开金属靶磨加工夹具。该金属靶磨加工夹具包括底座和至少两个夹持组件，底座上设置有支撑台，支撑台能容纳于凹槽中，并与凹槽的槽底抵接，两个夹持组件间隔设置在底座上，夹持组件包括夹板，夹板能抵压于背板的上端面。该金属靶磨加工夹具对背板具有良好的支撑固定作用，能有效避免背板变形，使得靶材加工后的平面度较佳。使得靶材加工后的平面度较佳。使得靶材加工后的平面度较佳。

【技术实现步骤摘要】
金属靶磨加工夹具


[0001]本技术涉及靶材加工
，尤其涉及金属靶磨加工夹具。

技术介绍

[0002]金属钨靶材(W靶)多用于大功率溅射工艺，溅射过程高速粒子对靶面轰击，靶材表面温度会急剧升高，因此多采用导热性较好的铜合金做背板材料，焊接方式也需采用焊接结合率高、焊接强度高、高温稳定性更好的扩散焊。常见的W靶多为圆形靶，主要有2种结构，平面度异常问题会在带凹槽结构的W靶上出现，平面结构W靶则不存在此问题。
[0003]由于是扩散焊接型靶材，靶材在焊接后因靶坯和背板材料的热膨胀系数差异较大，形成的焊接内应力必然导致产品产生变形，并且在靶材尺寸加工过程中随着背板和靶坯厚度的减薄，应力平衡会被打破，会导致靶材在加工过程存在动态形变的问题。W靶的材质硬脆，加工性能较差，目前采用磨床来去除多余余量；铜制背板则只需车削加工即可。背板的凹槽的加工成为了难点，如果凹槽在磨加工前预制，则因磨加工产品会受到较大压力，W靶硬脆的特性以及背板下方中空易引起靶坯开裂。如果凹槽加工设置在磨加工后，则靶坯表面已完成成品加工，凹槽加工过程会引起靶坯面的变形，致使最终平面度超产品规格要求。
[0004]因此，亟需金属靶磨加工夹具来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]基于以上所述，本技术的目的在于提供一种金属靶磨加工夹具，对背板具有良好的支撑固定作用，能有效避免背板变形，使得靶材加工后的平面度较佳。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]金属靶磨加工夹具，适用于下端面带凹槽的背板，所述背板的上端面设置有靶材槽，靶材固定于所述靶材槽中，所述金属靶磨加工夹具包括：
[0008]底座，所述底座上设置有支撑台，所述支撑台能容纳于所述凹槽中，并与所述凹槽的槽底抵接；
[0009]至少两个夹持组件，间隔设置在所述底座上，所述夹持组件包括夹板，所述夹板能抵压于所述背板的上端面。
[0010]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述夹板沿所述支撑台的厚度方向位置可调。
[0011]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述夹持组件还包括支杆，所述支杆设置在所述底座上，并沿所述支撑台的厚度方向延伸设置，所述夹板沿所述支杆的长度方向位置可调地连接于所述支杆。
[0012]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支杆与所述背板的外周抵接。
[0013]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支杆上设置有外螺纹，所述夹板上开设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述外螺纹螺纹配合。
[0014]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，在所述支撑台的厚度方向上，所述支杆顶端的高度低于所述靶材上端面的高度。
[0015]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支撑台的周壁与所述凹槽的槽壁间隙设置。
[0016]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述背板下端面与所述底座间隙设置。
[0017]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支撑台与所述凹槽的槽底抵接的一面设置有第一缓冲层。
[0018]作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述夹板与所述背板抵压的一面设置有第二缓冲层。
[0019]本技术的有益效果为：
[0020]本技术提供一种金属靶磨加工夹具，该金属靶磨加工夹具包括底座和至少两个夹持组件，将背板的凹槽对准底座上的支撑台放置，使得支撑台对背板凹槽部分具有支撑作用，避免凹槽部分过薄无支撑导致变形；并通过至少两个夹板夹紧背板，使得背板位置固定，避免磨削靶材时背板移动导致磨削失败。采用该金属靶磨加工夹具，靶材加工后的平面度较佳。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0022]图1是本技术实施例提供的背板和靶材的装配结构示意图；
[0023]图2是本技术实施例提供的金属靶磨加工夹具的结构示意图；
[0024]图3是本技术实施例提供的金属靶磨加工夹具夹持背板的结构示意图；
[0025]图4是本技术实施例提供的金属靶磨加工夹具夹持背板的剖视图。
[0026]图中：
[0027]1、背板；10、凹槽；
[0028]2、靶材；
[0029]3、底座；
[0030]4、支撑台；
[0031]5、夹持组件；51、夹板；52、支杆。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0033]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内
部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0035]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0036]如图1至图4所示，本实施例提供一种金属靶磨加工夹具，该金属靶磨加工夹具适用于下端面带凹槽10的背板1，背板1的上端面设置有靶材槽，靶材2固定于靶材槽中。示例性地，靶材2为金属钨靶，呈圆形，背板1为铜制背板1，背板1的上端面开设有圆形凹槽10，靶材2放置于圆形凹槽10中并焊接固定。当然，在其它实施例中，靶材2和背板1的材质、形状等根据实际需求设置。
[0037]具体地，该金属靶磨加工夹具包括底座3和至少两个夹持组件5，底座3上设置有支撑台4，支撑台4能容纳于凹槽10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.金属靶磨加工夹具，适用于下端面带凹槽(10)的背板(1)，所述背板(1)的上端面设置有靶材槽，靶材(2)固定于所述靶材槽中，其特征在于，所述金属靶磨加工夹具包括：底座(3)，所述底座(3)上设置有支撑台(4)，所述支撑台(4)能容纳于所述凹槽(10)中，并与所述凹槽(10)的槽底抵接；至少两个夹持组件(5)，间隔设置在所述底座(3)上，所述夹持组件(5)包括夹板(51)，所述夹板(51)能抵压于所述背板(1)的上端面。2.根据权利要求1所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述夹板(51)沿所述支撑台(4)的厚度方向位置可调。3.根据权利要求2所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述夹持组件(5)还包括支杆(52)，所述支杆(52)设置在所述底座(3)上，并沿所述支撑台(4)的厚度方向延伸设置，所述夹板(51)沿所述支杆(52)的长度方向位置可调地连接于所述支杆(52)。4.根据权利要求3所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述支杆(52)与所述背板(1)的外周抵接。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，沈学峰，廖培君，陈石，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：