本发明涉及一种MoTaNb靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)在MoTaNb靶材的焊接面磁控溅射离子镀钛膜，形成厚度为4

本发明提供了一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)均匀混合三氧化钼粉与钽粉，得到混合料；(2)均匀混合粘结剂溶液与步骤(1)所得混合料，然后进行冷压；(3)冷压结束后进行无压烧结，得到所述氧化钼钽靶材。本发...

本发明提供一种用于管靶喷砂的电动旋转装置及其使用方法，所述电动旋转装置包括设备支架；所述设备支架的外壁顶部设置有轴承座、胶轮和第一同步带轮；所述设备支架的内壁顶部依次设置有传动轴、减速机和电机；所述胶轮和第一同步带轮通过轴承连接在轴承座...

本发明涉及一种含水道组件的焊接方法，所述焊接方法包括：将水道底板和水道板首先进行真空钎焊，之后对水道底板和水道板间的焊缝进行摩擦搅拌焊接；所述真空钎焊包括依次进行的抽真空、第一升温、第二升温、保温和冷却；所述第一升温的升温速率＞所述第二...

本发明涉及一种磁控溅射托盘的整平方法，所述整平方法包括：将变形的磁控溅射托盘与保护垫装配后依次进行第一热压处理、第二热压处理、第三热压处理和冷却；所述第一热压处理为恒温恒压过程；所述第二热压处理为变温恒压过程，升温速率为2

本发明提供了一种NiCr合金蒸发料的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)真空感应熔炼得到NiCr合金铸锭；(2)步骤(1)所得NiCr合金铸锭进行热锻，冷却后再进行热轧，得到热轧料；(3)喷砂处理步骤(2)所述热轧料，去除热轧料的...

本发明涉及一种管状铝靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将铝锭依次进行第一热处理、第一锻伸、第二热处理、第二锻伸和第三热处理，得到坯料；(2)将步骤(1)得到的所述坯料进行第四热处理，然后进行挤压处理，得到压坯；(3)将步骤...

本发明涉及一种电子封装用钼铜合金散热片的轧制方法，所述轧制方法包括以下步骤：(1)将钼铜合金坯料进行第一单向轧制处理，得到轧制后坯料；(2)将步骤(1)得到的所述轧制后坯料进行第二单向轧制处理，得到钼铜合金散热片。本发明提供的轧制方法不...

本发明涉及一种溅射靶材的清洗方法，所述清洗方法包括如下步骤：真空条件下，干式等离子清洗溅射靶材；所述干式等离子清洗所用清洁气体包括包括氧气与氩气的混合气体。本发明采用干式等离子清洗的方法不仅可以去除灰尘与油污，还能够去除溅射靶材表面的氧...

本发明涉及靶材技术领域，具体公开了一种搬运靶材的工装，包括平板车、液压升降机构、吊臂总成、抓取机构和控制组件，该平板车的上方设有放置空间，液压升降机构安装在平板车上，液压升降机构连接有吊臂总成，吊臂总成的自由端设有滑轮组，滑轮组连接有抓...

本发明涉及一种锅形靶材最小剩余厚度的测试方法和寿命的预测方法，所述测试方法采用三直角坐标测量仪测量得到未溅射靶材的模拟曲线和溅射后锅形靶材的表面侵蚀曲线，然后根据未溅射靶材的模拟曲线和溅射后锅形靶材的表面侵蚀曲线确定最接近点，根据最接近...

本发明公开了一种圆弧直线组合沟槽抛光垫，包括垫体，梯度扩散区、缓冲区和高速区，梯度扩散区、缓冲区和高速区设置于垫体上，由不同长度的直行沟槽构成的缓冲区设置在梯度扩散区和高速区之间，用于将梯度扩散区的长弧形沟槽和短弧形沟槽一与高速区的短弧...

本发明涉及一种钨铼合金的加工方法，所述加工方法包括：采用中心环绕铣削的方式对钨铼合金依次进行粗铣和精铣；所述粗铣的进给量为300

本发明涉及一种含冷却水道靶材背板的焊接结构和焊接方法，所述焊接结构包括底板和盖板；所述底板的两端分别设置有第一台阶和第二台阶；所述盖板的底部设置有凸起；所述底板对应凸起的位置设置有装配槽；所述装配槽设置于底板的第一台阶和第二台阶之间；所...

本发明提供了一种碳硅靶材及其制备方法与应用，上述制备方法通过湿法球磨和干法球磨得到粒度均匀的第二球磨料，再结合多段真空热压烧结，并控制真空热压烧结过程的压力，从而提高了碳硅靶材的均匀性和致密性；所得碳硅靶材的致密度＞99％、微观均匀致密...

本发明涉及一种钛铝合金靶材的再生方法，所述再生方法包括如下步骤：(1)钛铝合金残靶经预处理，得到钛铝合金靶块；(2)步骤(1)所得钛铝合金靶块依次经酸洗、水洗以及有机溶剂清洗，干燥处理后得到除杂靶块；(3)电磁感应熔炼步骤(1)所述除杂...

本实用新型提供了一种拼接型O

本发明涉及一种高纯银靶的回收方法，所述回收方法包括以下步骤：(1)将溅射后的银靶材组件进行加热，待焊料熔化后将靶材组件中的银靶和背板分离，然后去除银靶焊接面上的铟焊料，冷却，得到分离后的银靶；(2)将步骤(1)得到的所述分离后的银靶进行...

本发明提供一种夹取装置系统及夹取方法，所述夹取装置系统包括夹取单元和目标物放置装置；所述夹取单元包括依次连接的夹取装置、控制装置和位移装置；所述夹取装置与所述控制装置之间电连接；所述控制装置与所述位移装置之间轴连接；所述目标物放置装置设...

本发明涉及一种钼铜合金电镀镍的方法，所述方法包括如下步骤：(1)依次对钼铜合金进行抛光、预处理、清洗、酸洗和活化，得到预处理钼铜合金；所述活化中所用活化液中包括：硝酸50