本发明提供了一种钽硅合金溅射靶材的制备方法，将钽粉和硅粉按照质量比例混合均匀，将得到的钽硅粉末装入模具，经压实处理保证平面度＜0.5mm并封口，一次热压烧结得到钽硅合金坯料粗品，后进行磨加工保证平面度＜0.05mm，将得到钽硅合金坯料再...

本发明涉及了一种脆性金属靶材的去应力整形方法，所述去应力整形方法包括：在靶材组件的靶材上表面设置垫块，然后对靶材组件进行四次整形；所述四次整形过程中垫块的直径逐次增大。本发明通过采用直径逐次增大的垫块结合相应的压力进行整形，对靶材进行多...

本发明提供了一种铌粉末的辉光放电质谱检测方法，所述检测方法包括以下步骤：将铌粉末装入具有载样坑的铟片中，将所述铌粉末进行静压，得到铌样品；所述铌样品在辉光放电质谱内依次进行冷却和溅射，在直流模式下，放电电压为1.4～1.6KV，放电电流...

本发明提供了一种钨骨架及其制备方法与用途，所述制备方法包括以下步骤：将类球形钨粉装进模具，模具承载的类球形钨粉进行三段式热压烧结，得到钨骨架粗坯，对钨骨架粗坯依次进行粗磨、切割和清洗，得到所述钨骨架，得到的钨骨架纯度较高，孔隙分布较为均...

本发明涉及了一种大尺寸、高致密度的钼靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将钼粉依次进行退火、冷压和热压烧结，得到钼坯；将所述钼坯放入焊接后的包套中，经热等静压拼接后，得到钼靶材；制备得到的钼靶材的尺寸＞3000mm、致密度＞99....

本发明提供了一种防着板花纹加工方法，将待加工防着板固定后，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹，不仅可以控制刨削的精度为IT9～IT8，刨削后防着板的表面粗糙度为0.4～1.6μm，直线度可达0.02mm/m，还...

本发明涉及一种Ag溅射靶材EBSD检测的制样方法，所述制样方法包括如下步骤：(1)Ag溅射靶材经线切割，得到溅射靶材块；(2)步骤(1)所得溅射靶材块依次经第一机械磨抛、第二机械磨抛以及第三机械磨抛，得到磨抛靶材块；(3)步骤(2)所得...

本发明提供一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法分别对硅靶材和铝合金背板进行预处理，得到处理后硅靶材和处理后铝合金背板；之后，处理后硅靶材进行第一超声浸润处理，得到半成品硅靶材；处理后铝合金背板依次经钢刷浸润处理、第二超声浸润处...

本发明涉及一种钼钛合金管靶及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)钼粉与钛粉依次经混合、装模、冷压处理、脱模、真空烧结以及整形，得到钼钛合金管坯；(2)步骤(1)所得钼钛合金管坯经包套焊封、脱气处理、热等静压拼接处理、热处理...

本发明提供一种具有复杂水道的大尺寸靶材背板的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)大尺寸靶材背板包括底板和盖板，底板和盖板均进行热处理，对热处理后的底板进行第一机加工，产生待装配的水道；对热处理后的盖板进行第二机加工，产生待装配的水...

本发明提供一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法，所述抛光方法包括对拼接型高纯铝管靶表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理和百洁布处理，得到抛光后的拼接型高纯铝管靶；所述拼接型高纯铝管靶从内至外依次包括304不锈钢内管、铟焊料层和高纯铝管；所述...

本发明涉及一种拼接铌靶的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)对背板的焊接面进行预处理，得到预处理背板；(2)步骤(1)所得预处理背板依次进行预浸润处理与精浸润处理，然后在焊接面贴附间隔条，得到间隔背板；(3)将第一铌靶、第二铌靶以...

本发明提供了一种高密度钼钨合金材料，所述高密度钼钨合金材料由以下重量配比原料制成：30～80％钼粉以及20～70％钨粉；所述高密度钼钨合金材料的密度为11.26～15.23g/cm3。本发明提供的高密度钼钨合金材料中钨成分占比最大可达到...

本实用新型提供了一种用于卧式数控车床的对刀装置，所述的用于卧式数控车床的对刀装置包括底板，所述底板的表面对称设置有第一平衡块与第二平衡块，所述第一平衡块的表面可拆卸设置有对刀仪本体，所述对刀仪本体的表面设置有数字表盘。本实用新型能够避免...

本发明涉及一种ICP

本发明提供了一种钽粉末的辉光放电质谱检测方法，所述检测方法包括以下步骤：铟载样片加工出凹槽，将钽粉末装入所述凹槽，对所述钽粉末进行静压得到钽样品；所述钽样品在辉光放电质谱内依次进行冷却和溅射，在直流模式下，放电电压为1.1～1.3KV，...

本发明涉及一种大尺寸钼铌靶坯的轧制方法，所述轧制方法包括：将钼铌靶坯依次进行开坯和轧制；所述开坯的温度为1100

本发明提供了一种平面显示器用三元合金靶材及其制备方法。所述平面显示器用三元合金靶材的原料包括钼粉、钛粉以及过渡金属粉；所述过渡金属粉包括钨粉、锆粉、钒粉或锰粉中的任意一种。所述制备方法包括如下步骤：惰性气体氛围下，按配方量混合钼粉、钛粉...

本发明提供了一种加工溅射环配件的装置系统和方法，所述装置系统包括上模板、脱模板和凹模，所述脱模板位于上模板和凹模之间；所述上模板设置有冲头与至少1个导向柱；所述冲头与导向柱穿设于脱模版；所述凹模沿中心轴从上到下依次设置卡槽、成型孔和下料...

本发明提供了一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法，待抛光钛铝合金靶材的溅射面依次经过预处理、激光抛光和清洗，得到光滑的钛铝合金靶材；利用靶材的轴向转动与激光的水平移动完成靶材溅射面的抛光，且机床主轴6