本发明涉及溅射靶材制备技术领域，公开了一种C

本实用新型提供了一种镀膜用防着板，所述镀膜用防着板的表面覆盖有四棱台凸起形成的阵列，所述四棱台凸起的小面积底面朝外设置；所述四棱台凸起的侧面与大面积底面的夹角均为45～60

本发明涉及一种收集从浇注机高压喷出的雾状分散溶剂的收集器，用于消除雾状溶剂对工作环境的污染。收集器包括罐体、薄膜头套和带滤芯的减压出气口，薄膜头套一端开口，另一端和罐体顶部密封连接。收集器还包括出液口和滚轮，方便排放收集的溶剂和收集器的...

本发明提供了一种铬铝旋转管靶的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)以两根内径不同的铝管作为内外包套，所述内外包套同轴放置并形成缝隙，经盖板对所述缝隙的一端进行密封，混合均匀的铬粉和铝粉装入一端密封的缝隙，用带孔盖板对所述缝隙另一端...

本发明涉及了一种防止反溅射物脱落的钛靶材及其加工方法，所述钛靶材包括依次连接的溅射面、侧面以及喷砂凹槽；所述喷砂凹槽包括第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽通过第二倒角与侧面相连；所述第一凹槽的内侧角为60

本发明涉及一种钨铜热沉材料及其制备方法与应用，所述钨铜热沉材料的制备方法包括如下步骤：(1)对钨粉进行球磨处理，得到球磨钨粉；(2)混合铜粉以及步骤(1)所得球磨钨粉，得到钨铜混粉；(3)步骤(2)所得钨铜混粉依次经包套处理、脱气处理、...

本实用新型提供了一种圆形靶材孔位检具，所述圆形靶材孔位检具包括分别独立设置的检具主体以及固定件；所述检具主体包括主环，所述主环包括主环刚性部，还包括沿轴向设置于所述主环刚性部的一侧或双侧的主环缓冲部；所述主环的环面上设置有与待测圆形靶材...

本发明涉及一种钒铬铌合金的溶解方法，所述溶解方法包括：将钒铬铌合金和混酸混合进行第一溶解，之后加入硝酸进行第二溶解，得到含钒铬铌的溶解液。本发明提供的溶解方法，通过采用特定的溶解过程，首先将钒铬铌合金和混酸进行预溶解，然后加入特定的硝酸...

本实用新型提供了一种带有斜角台阶型背管的旋转靶材，将台阶型背管的直角台阶调整为斜角台阶，所述斜角台阶的斜面以远离所述背管的中心的方向由内向外倾斜，且所述斜角台阶的斜面相对于所述背管的径向截面的夹角为60

本实用新型提供一种三角形靶材的机加工工装夹具，所述机加工工装夹具包括带有三角形凹槽的正方形夹具和压板；所述正方形夹具的中间设置有由圆形孔洞组成的吸盘区；所述压板均匀设置在待铣削圆形靶材周围。本实用新型所述三角形靶材的机加工工装夹具不仅可...

本实用新型提供了一种靶材的检验工装，所述检验工装包括底座平台，所述底座平台上设置有四爪夹具，所述四爪夹具的爪子均朝向所述底座平台的中心，所述四爪夹具的相邻爪子之间没有接触，且所述四爪夹具的爪子活动连接所述底座主体，所述四爪夹具的爪子围设...

本实用新型提供了一种具有分段式花纹结构的靶材组件，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为...

本实用新型提供了一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具包括扇形基底；沿远离扇形基底圆心的方向依次划分第一圆弧段、第二圆弧段与第三圆弧段；第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段与扇形基底同圆心；所述第一圆弧段设置有至少1个排气通孔；所述第二圆弧段...

本发明涉及了一种避免异常放电的钛靶材及其加工方法，所述钛靶材包括依次连接的溅射面、侧面以及喷砂凹槽；所述喷砂凹槽包括第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽的深度为4.5

本发明涉及一种异形工件的检测夹具及使用方法，所述检测夹具包括底板与支撑板，沿底板的宽度方向，所述底板的顶面两端分别焊接有立板，所述立板所在平面垂直于底板的顶面，所述底板的顶面通过立板与支撑板的底面焊接，所述支撑板的底面与底板的顶面的夹角...

本实用新型提供了一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材包括溅射面和背面，所述背板包括固定面和冷却面，所述靶材的背面与所述背板的固定面相连接，所述背板的冷却面开设有梯形凹槽；其中，沿所述背板的边缘向所述背板的中心方向，...

本实用新型提供一种焊接抽真空的连接装置，所述连接装置包括依次设置的金属管、连接部件、密封圈和法兰，所述金属管设置有第一孔道，所述连接部件依次设置有焊接孔、第二孔道和连接孔，所述焊接孔连接金属管，所述连接孔侧面设置有内螺纹，所述连接孔顶面...

本实用新型提供一种溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置通过旋转部与操作台连接，清洗装置包括靠近旋转部的固定杆和远离旋转部的活动杆，固定杆包括两个第一杆，两个第一杆平行对称设置，且两个所述第一杆之间存在第一空隙，第一空隙中对称设置有至少两个固...

本实用新型提供了一种便于与端头连接的一体型旋转靶材，所述便于与端头连接的一体型旋转靶材在与端头连接的端面上设置导电胶层，用于所述便于与端头连接的一体型旋转靶材与所述端头的连接。本实用新型所述便于与端头连接的一体型旋转靶材通过设置导电胶层...

本实用新型提供一种环形件，所述环形件包括环体和环体外表面的固定件，固定件内部设置有内孔，内孔的中心线与环体上端面的距离小于内孔的中心线与环体下端面的距离，应用于溅射成膜中，使用寿命长，且结构简单，成本低，易于加工，能够提高溅射成膜中薄膜...