一种三角形靶材的机加工工装夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种三角形靶材的机加工工装夹具，所述机加工工装夹具包括带有三角形凹槽的正方形夹具和压板；所述正方形夹具的中间设置有由圆形孔洞组成的吸盘区；所述压板均匀设置在待铣削圆形靶材周围。本实用新型专利技术所述三角形靶材的机加工工装夹具不仅可以准确牢固定位待铣削圆形靶材，还可以直接铣削掉多余边料，无需人工去除边料，大大提高了三角形靶材加工效率和靶材质量，具有大规模推广应用前景。景。景。

【技术实现步骤摘要】
一种三角形靶材的机加工工装夹具


[0001]本技术涉及靶材加工
，尤其涉及一种三角形靶材的机加工工装夹具。

技术介绍

[0002]三角形靶材制造过程中，工件无法安装，且现有安装方式需要重复进行定位，多次安装容易出现偏差造成刀具与产品过切。并且加工完成后还需要进行手工作业，去除多余的边料，人工作业容易对产品表面形成二次伤害。
[0003]CN210081465U公开了一种用于高纯铜平面靶材磨削加工的电磁夹具，该电磁夹具通过设置在电磁吸盘对应两端的带有月牙形状的限位部的限位板对高纯铜平面靶材的两侧进行抵靠配合，并利用电磁吸盘与两个对应的限位板之间的磁吸配合，对限位板进行磁吸定位，从而对高纯铜平面靶材进行锁紧定位，与现有技术相比，该电磁夹具克服了电磁吸盘无法对高纯铜平面靶材进行磁吸定位的问题，该电磁夹具结构简单，使用方便，不会对高纯铜平面靶材造成损坏，且定位精准。
[0004]CN114131380A公开了一种异形靶材的定位夹具及其加工方法，所述定位夹具包括设有凹槽的结构件，所述凹槽的形状与异形靶材的外壁相匹配，所述凹槽的尺寸不小于异型靶材的外壁尺寸；所述凹槽的整体形状呈锅形，其纵向截面自上而下包括侧面直线段、弧形连接段和底面弧形段；所述定位夹具的侧面，对应凹槽侧面直线段的位置设有贯穿孔，所述贯穿孔沿定位夹具的侧面圆周均匀布置。通过定位夹具中凹槽结构及相应贯穿孔的设计，使之能够与异形靶材的结构相匹配，放入异形靶材后可使用螺钉将其固定，便于异形靶材内壁的精确加工，降低加工难度，提高其加工效率及合格率；所述定位夹具结构简单，加工方法简便，材料利用率高，成本较低。
[0005]CN211388460U公开了一种用于固定薄板靶材的夹具，包括夹具台、手动批士、废屑盒、X轴位移驱动机构、Y轴位移驱动机构，手动批士通过固定支架设于夹具台上，用于夹持固定薄板靶材，废屑盒设于固定支架上，并位于手动批士的下方，X轴位移驱动机构设于夹具台上，用于驱动固定支架进行水平方向的运动，Y轴位移驱动机构设于夹具台上，用于驱动固定支架进行竖直方向的运动，通过将薄板靶材固定在手动批士上，通过手动批士可以根据不同规格的薄板靶材调节夹持空间，同时X轴位移驱动机构、Y轴位移驱动机构可以根据薄板靶材需要切割的不同部位带动手动批士进行水平方向以及竖直方向的移动，以配合切割刀进行切割。
[0006]但上述夹具并不能很好的应用在三角形靶材的加工制造中。
[0007]因此，开发一种可以准确定位且直接铣削掉多余边料的三角形靶材的机加工工装夹具具有重要意义。

技术实现思路

[0008]鉴于现有技术中存在的问题，本技术提供一种三角形靶材的机加工工装夹
具，利用夹具上的吸盘区和压块将待铣削圆形靶材牢固定位，铣削工具沿着夹具上的三角形凹槽对待铣削圆形靶材进行准确铣削，直接铣削掉多余边料，无需人工去除边料，大大节约了三角形靶材的加工时间，而且避免了人工作业对三角形靶材表面造成二次伤害。
[0009]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0010]本技术提供一种三角形靶材的机加工工装夹具，所述机加工工装夹具包括带有三角形凹槽的正方形夹具和压板；所述正方形夹具的中间设置有由圆形孔洞组成的吸盘区；所述压板均匀设置在待铣削圆形靶材周围。
[0011]本技术所述的三角形靶材的机加工工装夹具中正方形夹具的中间设置有由圆形孔洞组成的吸盘区，将待铣削圆形靶材准确定位；再加上待铣削圆形靶材周围均匀设置的压板，实现了铣削过程中靶材不发生偏移，也不会出现刀具过切导致工件报废的情况。待铣削圆形靶材牢固定位后，铣削工具沿着正方形夹具上的三角形凹槽对其进行准确铣削，直接铣削掉多余边料，无需人工去除边料，在节约了三角形靶材的加工时间的同时避免了人工作业对三角形靶材表面造成二次伤害。
[0012]优选地，所述正方形夹具的厚度为50～70mm，例如可以是50mm、52mm、55mm、58mm、60mm、65mm或70mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0013]优选地，所述三角形凹槽的深度>3mm，例如可以是3.1mm、3.3mm、3.5mm、3.7mm、4mm、4.2mm或4.5mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0014]优选地，所述三角形凹槽的宽度>8mm，例如可以是8.1mm、8.4mm、8.6mm、8.8mm、9mm、9.5mm或9.8mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0015]本技术所述三角形凹槽的宽度是指三角形凹槽的每一条边的宽度。
[0016]本技术优选所述三角形凹槽的深度>3mm，所述三角形凹槽的宽度>8mm，保证铣削工具将待可以待铣削圆形靶材铣穿。
[0017]优选地，所述圆形孔洞的直径3～5mm，例如可以是3mm、3.3mm、3.5mm、3.7mm、4mm、4.5mm或5mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0018]优选地，所述吸盘区的直径比待铣削圆形靶材的直径小10～13mm，例如可以是10mm、10.5mm、11mm、11.5mm、12mm、12.5mm或13mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0019]优选地，所述压板的数量为至少3个，例如可以是3个、6个、9个、12个或15个等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0020]优选地，所述压板与三角形铣削路径之间的距离>8mm，例如可以是8.2mm、8.5mm、8.8mm、9mm、9.1mm或9.5mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0021]本技术中严格控制所述压板与三角形铣削路径之间的距离，确保压板装夹时极限避开铣削路径，防止铣削工具损坏，造成钝刀。
[0022]优选地，所述待铣削圆形靶材的厚度为9～12mm，例如可以是9mm、9.5mm、10mm、10.5mm、11mm、11.5mm或12mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的
数值同样适用。
[0023]本技术限定待铣削圆形靶材的厚度为9～12mm，吸盘区通过抽真空作用可以牢固吸附待铣削圆形靶材。当待铣削圆形靶材的厚度过大，吸盘区的吸附作用会降低，靶材在铣削过程中会发生偏移。
[0024]优选地，所述机加工工装夹具还包括依次设置在正方形夹具下方的阀板和进气板。
[0025]优选地，所述进气板与抽真空管道相连。
[0026]本技术中所述阀板是用来安装气压阀的，控制吸盘区的吸气和出气。
[0027]与现有技术相比，本技术至少具有以下有益效果：
[0028]本技术提供的三角形靶材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三角形靶材的机加工工装夹具，其特征在于，所述机加工工装夹具包括带有三角形凹槽的正方形夹具和压板；所述正方形夹具的中间设置有由圆形孔洞组成的吸盘区；所述压板均匀设置在待铣削圆形靶材周围。2.根据权利要求1所述的三角形靶材的机加工工装夹具，其特征在于，所述正方形夹具的厚度为50～70mm。3.根据权利要求1所述的三角形靶材的机加工工装夹具，其特征在于，所述三角形凹槽的深度>3mm。4.根据权利要求1所述的三角形靶材的机加工工装夹具，其特征在于，所述三角形凹槽的宽度>8mm。5.根据权利要求1所述的三角形靶材的机加工工装夹具，其特征在于，所述圆形孔洞的直径3～5mm。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，凌培文，王学泽，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：