一种防着板花纹加工方法技术

本发明专利技术提供了一种防着板花纹加工方法，将待加工防着板固定后，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹，不仅可以控制刨削的精度为IT9～IT8，刨削后防着板的表面粗糙度为0.4～1.6μm，直线度可达0.02mm/m，还可以加工大尺寸的防着板，节省设备成本，节约单个防着板的加工时间，减小对刀具的损坏，增加防着板的吸附面积，提高防着板的使用寿命。的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种防着板花纹加工方法


[0001]本专利技术涉及真空溅射
，尤其涉及防着板加工，具体涉及一种防着板花纹加工方法。

技术介绍

[0002]物理气相沉积(PVD)作为一种典型的薄膜加工方式，其制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点，近年来在工业领域获得了广泛的应用。以LCD为例，其主要组成部件为液晶面板，而液晶面板的生产过程主要包括阵列、面板成型及模组构装几大工序。上述工序中有许多工艺均使用到薄膜制程。作为物理气相沉积的一种，真空溅镀是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在基片上，或少量的沉积在真空室内壁。
[0003]在进行真空溅射时，为保证镀膜精确度与效率，通常在溅镀机真空腔内设有防着板，以避免靶材原子弹出而堆积在真空腔壁及非溅镀目标区域。防着板的基本构成材料为金属材料，其平面度及平行度两项参数直接关系着防着板的沉积能力，进而影响靶材溅射过程中的易清洁度和成膜率。其中，平面度指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，而平行度指两平面或者两直线平行的程度，即一平面(边)相对于另一直线(边)平行的误差最大允许值。
[0004]防着板主要应用于LCD的靶材，用于在真空溅射过程中吸附一些被溅射的金属颗粒。溅射过程中，随着防着板吸附的金属颗粒逐渐增加，其吸附能力越来越弱。如果吸附面积增加，会对增加防着板的使用寿命。为了增加防着板的吸附面积，在防着板上开设凹凸不平的表面花纹，如图1所示，某种凹凸不平的表面花纹包括多个凸台，在各个凸台间存在凹槽，凹槽呈网格状排列于所述防着板表面。为了进一步增加吸附面积，防着板的尺寸逐渐增大，往往在1000mm以上，一方面，大尺寸的防着板很难在一般的加工中心进行加工，另一方面，大尺寸的防着板具有数量更多的表面花纹需要加工，单纯加工表面花纹的加工时间往往很长，而且，在针对防着板表面花纹加工过程中，一般加工中心往往要经过多次行程才能加工出来一般表面花纹，加工工艺时间非常长，对刀具的损坏率也很高。
[0005]例如CN102107347A公开了一种防着板加工方法，包括：提供防着板毛坯；对防着板毛坯进行切削加工；还提供4000吨压力机及辅助盘，在刀具对防着板毛坯进行每一步加工后，均使用4000吨压力机通过辅助盘对防着板毛坯施加大小为10～20兆帕、维持时间为1～2分钟的压强以释放应力；其中，所述切削加工采用铣刀，依次进行粗铣两平面、精铣外形、
精铣平面、大平面和两端侧面的铣孔及花样加工、长侧面花样加工、小平面台阶加工、大平面斜面反面花样加工等步骤，此外，亦可根据应用环境及实际需要增加或减少相应环节，或改变相应环节次序。
[0006]刨床是用刨刀对工件的平面、沟槽或成形表面进行刨削的直线运动机床，它通过刀具和工件之间产生的直线往复运动来达到刨削工件表面的目的。在刨床上可以刨削水平面、垂直面、斜面、曲面、台阶面、燕尾形工件、T形槽、V形槽，也可以刨削孔、齿轮和齿条等，它在加工的时间效率上往往比普通机床效率要高，大大节约了加工时间，而且对刀具的损坏较小。
[0007]综上所述，目前亟需开发一种防着板花纹加工方法，通过刨削工艺加工得到防着板的表面花纹。

技术实现思路

[0008]鉴于现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种防着板花纹加工方法，将待加工防着板固定后，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹，不仅可以控制刨削的精度为IT9～IT8，刨削后防着板的表面粗糙度为0.4～1.6μm，直线度可达0.02mm/m，还可以加工大尺寸的防着板，节省设备成本，节约单个防着板的加工时间，减小对刀具的损坏，增加防着板的吸附面积，提高防着板的使用寿命。
[0009]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0010]本专利技术的目的在于提供一种防着板花纹加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下内容：
[0011]将待加工防着板进行固定，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹。
[0012]本专利技术所述防着板花纹加工方法，将待加工防着板固定后，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹，不仅可以控制刨削的精度为IT9～IT8，刨削后防着板的表面粗糙度为0.4～1.6μm，直线度可达0.02mm/m，还可以加工大尺寸的防着板，节省设备成本，节约单个防着板的加工时间，减小对刀具的损坏，增加防着板的吸附面积，提高防着板的使用寿命。
[0013]作为本专利技术优选的技术方案，所述加工方法采用龙门刨床进行加工。
[0014]值得说明的是，由于龙门刨床依靠滑枕带着刨刀作水平直线住复运动，刀架可在垂直面内回转一个角度，并可手动进给，工作台带着工件作间歇的横向或垂直进给运动，常用于加工平面、沟槽和燕尾面等。所以，对于防着板的加工，需要先把成品尺寸加工到目标水平，例如在刨削加工之前，包括对防着板依次进行粗铣两平面、精铣外形、精铣平面、大平面和两端侧面的铣孔，然后再对其大平面上通过龙门刨床的直线运动，刨削得到目标表面花纹，优选为AET花纹。
[0015]作为本专利技术优选的技术方案，所述粗刨削采用宽刃细刨刀。
[0016]作为本专利技术优选的技术方案，所述宽刃细刨刀的材质为硬质合金。
[0017]优选地，所述硬质合金的型号为YG6或YG8。
[0018]作为本专利技术优选的技术方案，所述宽刃细刨刀的安装前角为
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10～
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15度，例如
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10度、
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11度、
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12度、
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13度、
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14度或
‑
15度等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他
未列举的数值同样适用。
[0019]优选地，所述宽刃细刨刀的安装后角为3～15度，例如3度、4度、5度、6度、7度、8度、9度、10度、11度、12度、13度、14度或15度等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0020]作为本专利技术优选的技术方案，所述粗刨削的刨削深度为0.2～0.5mm，例如0.2mm、0.25mm、0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.45mm或0.5mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0021]优选地，所述粗刨削的刨削速度为50～70m/min，例如50m/mi本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防着板花纹加工方法，其特征在于，所述加工方法包括如下内容：将待加工防着板进行固定，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹。2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法采用龙门刨床进行加工。3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，所述粗刨削采用宽刃细刨刀。4.根据权利要求3所述的加工方法，其特征在于，所述宽刃细刨刀的材质为硬质合金；优选地，所述硬质合金的型号为YG6或YG8。5.根据权利要求3或4所述的加工方法，其特征在于，所述宽刃细刨刀的安装前角为
‑
10～
‑
15度；优选地，所述宽刃细刨刀的安装后角为3～15度。6.根据权利要求1
‑
5任一项所述的加工方法，其特征在于，所述粗刨削的刨削深度为0.2～0.5mm；优选地，所述粗刨削的刨削速度为50～70m/min。7.根据权利要求1
‑
6任一项所述的加工方法，其特征在于，所述精刨削采用斜面刨刀；优选地，所述斜面刨刀的材质为高速钢。8.根据权利要求1

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，李炀，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：