本实用新型涉及模具技术领域，尤其涉及半导体靶材检测装置。半导体靶材检测装置包括第一检具和第二检具，第一检具和第二检具均为柱状体，第一检具和第二检具的侧缘底部间隔设置有突出条，第一检具的直径小于待测产品的直径，第二检具的直径大于待测产品的...

本发明提供了一种大尺寸铜靶材及其制备方法和用途，所述制备方法包括以下步骤：将含铜锭材依次进行一次热锻和一次热处理，然后重复所述热锻、热处理过程至少一次，再经冷轧和退火处理，得到大尺寸铜靶材。本发明所述方法根据靶材材质的选择及结构尺寸的要...

本发明涉及靶材组件焊接技术领域，具体公开了一种包套焊接方法。本发明提供的包套焊接方法，定位夹具用于固定环形套、上盖和下盖，避免在焊接时环形套、上盖和下盖发生位移，保证焊接的连贯性；在焊接过程中，焊接速度和送丝速度不变，保证焊缝均匀性好，...

本发明提供了一种具有大熔点差成分的合金靶材及其制备方法与应用，所述制备方法将熔点差≥1000℃的两种金属混合得到混合粉末，将所得混合粉末装模后进行脱气，再进行热等静压烧结，得到合金靶材。以钛锌合金靶材为例，本发明采用特殊的热等静压法制备...

本发明提供了一种延长高纯靶材寿命的处理方法，所述处理方法包括：(1)将所述高纯靶材固定于加工平台的夹具上，对所述高纯靶材的端面和侧面的圆度和平面度进行确认；(2)对所述高纯靶材的端面和侧面进行滚花处理，形成分段式花纹结构；所述分段式花纹...

本发明提供了一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法，通过在背板上设置凸台，改进氧化铟锡靶材组件的焊接结构，解决了焊接难的问题，使得靶材的焊接结合率提升至99％以上；且由于凸台的存在，装夹靶材组件时只需夹持凸台的侧面，不会夹持到氧化铟锡靶材的侧面...

本发明提供了一种铪靶坯及其制备方法和应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)将铪锭一步加热后，进行一步锻造处理，冷却后，经一步结晶退火处理得到粗坯；(2)对所述粗坯二步加热后，进行二步锻造处理，冷却后，经二步结晶退火后得到半成品靶材；(3...

本发明提供了一种旋转靶的绑定装置，所述绑定装置包括基座和固定模具，所述基座的顶部固定连接所述固定模具，所述固定模具内用于放置旋转靶；所述旋转靶包括由内向外依次套设的背管和靶材，所述背管为中空结构，所述中空结构内填充设置有爆炸层，所述背管...

本发明提供了一种靶材与背板的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)将经扩散焊接后的靶材组件依次进行精车和清洗，得到预处理靶材组件；(2)对步骤(1)所述预处理靶材组件的焊缝位置依次进行第一电子束焊接和第二电子束焊接。本发明在传统扩散...

本发明提供了一种锌靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将含锌锭材依次进行一次锻造和一次热处理，然后重复所述锻造、热处理过程至少一次，再经冷轧和末次热处理，得到锌靶材。本发明所述方法根据靶材的材质选择合适的制备工艺，通过对锻造及热...

本发明涉及一种铝硅靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)对铝硅靶坯进行预热再锻造，得到热锻靶坯；(2)对所得热锻靶坯依次进行第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到轧制靶坯；所述第一热处理和第二热处理之间还包括第一压制...

本发明提供了一种铝钪合金靶材的回收利用方法，所述回收利用方法包括依次进行的预处理、表面除杂和真空悬浮熔炼；所述预处理包括依次进行的靶材分类、去除背板和切割处理；所述表面除杂包括依次进行的超声波清洗和干燥处理；所述真空悬浮熔炼包括至少2次...

本发明提供了一种热沉材料用钼合金的表面处理方法，所述表面处理方法包括以下步骤：对热沉材料用钼合金坯料依次进行除油处理、清洁处理、研磨以及干燥处理后完成表面处理过程。所述表面处理方法以高温液相烧结的钼合金为原材料，采用超声波除油、清洗和研...

本发明提供了一种加工后的电子封装用钼铜合金及其加工方法和用途。所述加工方法包括以下步骤：将待处理钼铜合金通过激光切割的方法进行加工处理，得到目标尺寸的钼铜合金。本发明以激光切割的方式加工钼铜合金，激光切割法对钼铜合金进行切割，很好地解决...

本发明公开了一种环件平面度检测方法，属于平面度检测技术领域。环件平面度检测方法包括以下步骤：工装夹具的标准平面度检测面朝上，将工装夹具放置于工作台面上；将环件放置于工装夹具上，且环件四周的凸起部位于标准平面度检测面的上方；采用塞尺插入每...

本发明提供了一种钼铜合金散热片及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)利用钼粉和铜粉制备合金坯料；(2)将所述合金坯料依次经过分切、轧制、冲压和研磨，得到合金片材；(3)利用物理气相沉积法在所述合金片材的表面依次进行镀镍和镀...

本发明涉及一种减少反溅射物层剥落的工艺方法，所述工艺方法包括：(1)在靶材表面测绘反溅射物附着区域的轮廓；(2)根据所得轮廓制作遮蔽器件；(3)将所得遮蔽器件置于靶材表面，进行喷砂，完成所述工艺方法。本发明通过设计遮蔽器件挡住靶材上未附...

本发明提供了一种钽硅氧化物靶材及其制备方法，所述制备方法包括：将五氧化二钽粉末和硅粉混合得到混合粉料，然后装填到模具中；将混合粉料和模具整体置于热压烧结设备中，经一次加压处理后抽真空，然后进行一次加热处理，再充入保护性气体，进行二次加热...

本发明提供了一种O

本实用新型属于切割设备技术领域，公开了一种线切割装置，该线切割装置包括底座、控制器、支撑组件、切割组件和激光坐标定位仪，支撑组件包括支撑件和驱动件，支撑件用于支撑工件，支撑件与底座活动连接，驱动件用于驱动支撑件移动，切割组件包括金属丝和...