一种靶材存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种靶材存储装置，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深度方向与所需储存靶材的宽度方向平行。本实用新型专利技术通过将凹槽分隔形成分隔腔，并使分隔腔的深度方向与所需存储靶材的宽度方向平行，便于操作人员获取靶材侧壁的信息；而且，还能够有效提高空间利用率，提高靶材的存储数量。提高靶材的存储数量。提高靶材的存储数量。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材存储装置


[0001]本技术属于溅射靶材
，涉及一种靶材存储装置。

技术介绍

[0002]为了避免运输过程中物品的损坏，通常需要对物件进行包装。在对溅射靶材进行包装时，一般采用中空箱等普通箱体包装，靶材的包装箱一般采用纸质材料或塑料材料。
[0003]无论是纸质材料还是塑料材料，现有的靶材包装箱存在强度较低、容易变形的问题，只适用于普通靶材的包装。当运输较薄的大型溅射靶材时，传统包装箱中的大型溅射靶材很容易受力不均，造成靶材发生磕碰或变形的问题。
[0004]CN 204223506U公开了一种大尺寸靶材的包装，包括粘附在靶材工作面上的保护膜，以及设置在靶材外部的内层包装袋，设置在该内层包装袋外部的次外层包装袋，以及设置在该次外层包装袋外部的外层包装袋；粘贴由保护膜的靶材、内层包装袋、次外层包装袋和外层包装袋中相邻两者之间为真空状态。其通过包装袋的设置在一定程度上对大尺寸靶材进行了保护，但未对靶材的运输存储进行改进。
[0005]CN 211443211U公开了一种平面靶整组保护固定包装装置，包括包装盒体，包装盒体内设置有用于放置平面靶的包装内腔，包装内腔设置有整组保护工装，整组保护工装的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶的长度，整组保护工装另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶的宽度之和，整组保护工装设置有至少两个靶材安装位置，相邻的靶材安装位置之间设置有设定距离，每个靶材安装位置设置有靶材固定部，平面靶固定安装于靶材固定部。
[0006]上述装置能够实现对大尺寸平面靶的固定，但取放过程较为繁琐。而且，大尺寸平面靶的刻字信息一般设置于平面靶侧壁，平面靶放置于上述装置后，操作人员无法快速得知对应靶材的信息。
[0007]CN 102502043A公开了一种溅射靶材包装箱，包括：围箱，包括首尾相连并一体成型的侧板，所述侧板围成一容纳空间；位于所述容纳空间内的护体，所述护体的两侧支撑在所述侧板上；放置所述护体上并位于所述围箱中的底板；置于所述围箱顶部的盖板，所述盖板为框架式，所述盖板的每个边框设有锁扣孔或者锁扣；对应的，所述侧板设有与所述盖板的所述锁扣孔或者锁扣相配合的锁扣或锁扣孔。
[0008]上述包装箱的结构复杂，且同样存在平面靶放置于上述装置后，操作人员无法快速得知对应靶材的信息的问题。
[0009]对此，需要提供一种结构简单，且能够有效放置大尺寸平面靶，并能够方便操作人员方便得知对应靶材信息的靶材存储装置。

技术实现思路

[0010]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种靶材存储装置，所述靶材存储装置能够便于操作人员获取靶材侧壁的信息；而且还能够有效提高空间利用率，
提高靶材的存储数量。
[0011]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0012]本技术提供了一种靶材存储装置，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；
[0013]所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；
[0014]所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深度方向与所需储存靶材的宽度方向平行。
[0015]本技术通过将凹槽分隔形成分隔腔，并使分隔腔的深度方向与所需存储靶材的宽度方向平行，便于操作人员获取靶材侧壁的信息；而且，还能够有效提高空间利用率，提高靶材的存储数量。
[0016]本技术提供的靶材存储装置适用于存储长度998
‑
1002mm、宽度为63
‑
66mm且厚度为4
‑
6mm的平面靶材。
[0017]所述平面靶材的长度为998
‑
1002mm，例如可以是998mm、999mm、1000mm、1001mm或1002mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0018]所述平面靶材的宽度为63
‑
66mm，例如可以是63mm、63.5mm、64mm、64.5mm、65mm、65.5mm或66mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0019]所述平面靶材的厚度为4
‑
6mm，例如可以是4mm、4.5mm、5mm、5.5mm或6mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0020]优选地，所述凹槽的宽度为14
‑
16mm，深度为66
‑
68mm。
[0021]本技术所述凹槽的宽度为14
‑
16mm，例如可以是14mm、14.5mm、15mm、15.5mm或16mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举数值的同样适用。
[0022]本技术所述凹槽的深度为66
‑
68mm，例如可以是66mm、66.5mm、67mm、67.5mm或68mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0023]本技术使凹槽的宽度>靶材的厚度，便于在凹槽内放置至少2个靶材。
[0024]本技术是凹槽的深度>靶材的宽度，便于凹槽侧壁对靶材侧壁进行防护，防止外力冲击对靶材侧壁的不利影响。
[0025]本技术中，为了避免壳体对靶材侧壁的不利影响，缓冲件的厚度>凹槽的深度。本技术不对缓冲件的厚度做具体限定，只要能够对放置的靶材起到缓冲保护作用即可。
[0026]优选地，所述缓冲件为珍珠棉缓冲件，相邻两个凹槽之间的珍珠棉层厚度为8
‑
12mm，例如可以是8mm、9mm、10mm、11mm或12mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0027]本技术使相邻两个凹槽之间的珍珠棉层厚度为8
‑
12mm，既能够发挥珍珠棉缓冲件的缓冲作用，又能够提高缓冲件内放置靶材的数量，保证空间利用率。
[0028]优选地，所述凹槽内设置1层分隔件，所述1层分隔件将凹槽分隔为2个分隔腔。
[0029]所述分隔腔的长度为1005
‑
1010mm，例如可以是1005mm、1006mm、1007mm、1008mm、1009mm或1010mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0030]本技术提供的靶材存储装置适用于存储长度998
‑
1002mm的平面靶材，通过使分隔腔的长度>平面靶材的长度，便于操作人员对平面靶材的取放。
[0031]优选地，所述分隔件包括至少1层珍珠棉分隔层。
[0032]本技术所述分隔件的珍珠棉分割层数量为至少1层，例如可以是1层、2层、3层、4层或5层，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0033]优选地，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材存储装置，其特征在于，所述靶材存储装置包括壳体，以及设置于壳体内部的缓冲件；所述缓冲件设置有放置靶材的至少1个凹槽；所述缓冲件为珍珠棉缓冲件，相邻两个凹槽之间的珍珠棉层厚度为8
‑
12mm；所述凹槽内设置有至少一层分隔件，至少一层分隔件将凹槽分隔为至少2个分隔腔；所述分隔腔用于放置靶材，分隔腔的深度方向与所需储存靶材的宽度方向平行。2.根据权利要求1所述的靶材存储装置，其特征在于，所述凹槽的宽度为14
‑
16mm，深度为66
‑
68mm。3.根据权利要求1所述的靶材存储装置，其特征在于，所述凹槽内设置1层分隔件，所述1层分隔件将凹槽分隔为2个分隔腔；所述分隔腔的长度为1005
‑
1010mm。...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，陈丽娜，王学泽，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：