本发明涉及一种ITO靶材的前处理方法，所述前处理方法包括如下步骤：待检测ITO靶材依次进行抛光处理、超声清洗与热处理，完成待检测ITO靶材的前处理。本发明提供的前处理方法不涉及强酸的使用，避免了对操作人员以及环境的危害；而且，克服了采用...

本技术涉及粉末加工技术领域，公开一种粉末压实设备。其中粉末压实设备包括送料平台、治具组件和压实组件。治具组件用于装载粉末，治具组件放置于送料平台上，送料平台能够驱动治具组件在加工位和装料位切换；压实组件包括驱动件和压头，压实组件位于加工...

本发明提供了一种钨硅废靶的回收再利用方法，所述回收再利用方法包括以下步骤：(1)将钨硅废靶依次经筛选和第一破碎处理，得到破碎颗粒；(2)将步骤(1)所述破碎颗粒依次经中间预处理和第二破碎处理，得到粒径不同的破碎粉末。将第一破碎处理、中间...

本发明涉及一种外圆密封槽的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：对钨钛合金材料进行啄式分段车削，得到所述外圆密封槽。本发明对硬度为500‑600HV的钨钛合金进行车削，通过采用啄式分段车削的方式，避免了一刀车削到底造成的排屑不畅以及刀具断...

本发明涉及一种铜靶坯和铝合金背板的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括以下步骤：(1)将铝合金背板的待焊接面车削平面螺纹，然后将车削后的待焊接面进行物理气相沉积镀膜，得到待焊接面上镀有铜膜的铝合金背板；(2)将步骤(1)得到的所述待焊接面...

本发明提供了一种测定高纯钒中氮氧含量的样品制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)对高纯钒坯料进行机械加工以及剪裁后得到高纯钒块样；(2)对步骤(1)所得高纯钒块样进行第一清洗、氧化清洗、乙醇洗以及干燥处理，得到高纯钒样品。本发明提供...

本发明涉及一种内埋铜丝的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)将第一焊接部和第二焊接部分别加工第一凹槽和第二凹槽，将铜丝放入第一凹槽内，将含有第二凹槽的第二焊接部放置于第一焊接部的上方，使第一凹槽和第二凹槽的开口方向相对设置且铜丝位...

本发明涉及一种陶瓷覆铜基板用铜材的筛选装置和筛选方法，具体涉及功率半导体电子器件领域，筛选装置包括：筛分单元和与筛分单元相配合的输送单元；所述筛分单元包括依次设置的表面分析子单元、粗糙度分析子单元、尺寸分析子单元、电导率分析子单元、硬度...

本发明涉及一种钨钛靶材反溅射层的去除方法，所述去除方法包括以下步骤：(1)将溅射后靶材组件的背板进行遮蔽处理，得到遮蔽后的靶材组件；(2)将步骤(1)得到的所述遮蔽后的靶材组件固定，对背板中含有钨钛反溅射层的位置依次进行第一喷砂处理和第...

本发明涉及一种靶材预清洗的方法，所述方法包括如下步骤：(1)根据成品靶材的孔槽结构选取适用尺寸的清洁棉棒与净化布，然后依次对成品靶材的背板面、孔槽结构以及溅射面进行清洁处理；(2)对步骤(1)所述清洁处理后的清洁棉棒与净化布的表面进行洁...

本发明提供了一种钛铌合金的溶解方法及检测分析方法，所述溶解方法包括以下步骤：将钛铌合金与混酸混合后加热，所述混酸包括氢氟酸和硝酸，所述加热的温度为60～80℃，保温至钛铌合金完全溶解，冷却后得到澄清透明溶液。本发明所述方法采用氢氟酸和硝...

本发明属于磁控溅射技术领域，涉及一种镍靶材EBSD检测的制样方法，所述制样方法包括如下步骤：(1)将镍靶材切割成镍靶块；(2)对步骤(1)所得镍靶块进行机械研磨，然后依次进行第一抛光、第二抛光以及第三抛光，完成镍靶材EBSD的制样；所述...

本技术提供了一种靶材固定结构，所述靶材固定结构包括靶材本体，所述靶材本体的任一侧面上设置有若干个凹槽，所述凹槽的内壁周向设置有环状固定件，所述环状固定件的厚度为1～2mm，且所述环状固定件的内壁呈内螺纹孔，所述内螺纹孔用于连接机床。在本...

本发明提供了一种铝加热盘的表面处理方法，所述表面处理方法包括如下步骤：对铝加热盘的表面进行喷砂处理，实现铝加热盘表面粗糙度与平面度的调节；所述喷砂处理采用复合金刚砂进行。本发明提供的表面处理方法为对采用金刚石刀头加工后的铝加热盘进行的表...

本发明提供了一种硬质合金的表面加工方法，所述表面加工方法包括对硬质合金依次进行第一磨削和第二磨削；所述第一磨削的砂轮目数为70#‑100#；所述第一磨削分为2步进行，包括依次进行的第一粗磨和第一精磨；所述第二磨削的砂轮目数为280#‑3...

本发明提供了一种管靶的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)将待加工管靶的两端进行旋转车削，形成车削区域；(2)将步骤(1)所述车削区域进行全周缠绕，形成缠绕区域；(3)将带滚轮的中心架置于步骤(2)所述缠绕区域上，然后调节滚轮与缠...

本发明提供了一种钼钛合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：将钼钛残靶采用氢化脱氢法制备回收粉；将钼粉、钛粉和回收粉混合，得到混合粉末；将所得混合粉末依次进行冷等静压和热等静压，得到钼钛合金靶材。本发明提供的制备方法在钼钛合金靶...

本发明属于靶材转运技术领域，公开了一种靶材转运车及其使用方法，靶材转运车，用于靶材的转运，靶材转运车包括转运车主体和转运架，转运车主体上设置有支撑杆和托板，转运架的顶部架设于支撑杆上，托板支撑于转运架的底部，若干个靶材间隔设置于转运架上...

本发明涉及一种检测靶材尺寸的检具及方法，所述检具包括盘体与孔径检测件，所述盘体与孔径检测件独立设置；所述盘体包括盖板以及套设于盖板侧壁的限位环，所述限位环的顶面与所述盖板的顶面平齐，限位环的底面凸出所述盖板的底面；所述盖板沿周向均匀开设...

本发明提供了一种铝旋转靶的端头焊接方法，所述端头焊接方法包括：将铝旋转靶的管体两端分别与法兰和管帽进行装配，得到具有焊接结合部的铝旋转靶材管；所述法兰与管帽的材质分别独立地为A6061中添加2‑4％硅的铝合金；对所述焊接结合部进行搅拌摩...