本发明提供了一种用于辉光放电质谱检测的钽样品前处理方法及检测方法，所述钽样品前处理方法包括：将高纯钽样品依次进行酸洗、水洗和氩离子抛光处理，得到待检测钽样品；所述酸洗和水洗交替进行至少三次。本发明通过酸洗、水洗和氩离子抛光处理相结合的设...

本发明属于压弧数据检测技术领域，公开了一种检测压弧数据的工装检具及方法。该检测压弧数据的工装检具，包括检具本体和设置在检具本体上的固定件，检具本体开设有安装孔，检具本体的底部设置有触头；其中：安装孔用于百分表的测头穿过，固定件用于将百分...

本发明提供了一种数控车床自动换刀控制方法及其装置系统，所述自动换刀控制方法包括以下步骤：对刀具进行编码；对刀具进行对刀操作；将刀具置于刀库中，并对刀库进行参数配置；机器人接收换刀指令，判断换刀指令类型，然后执行换刀流程，完成新刀和旧刀的...

本发明提供了一种铝靶材的表面处理方法，所述表面处理方法包括对铝靶材表面依次进行的第一车削、第二车削、第三车削和抛光处理；所述抛光处理采用羊毛轮进行，所述羊毛轮与待抛光铝靶材的接触压力为0.02‑0.06MPa。通过对靶材表面处理过程的合...

本发明提供了一种静电吸盘用氧化铝陶瓷片流延成型制备方法，所述流延成型制备方法将所有原料混合得到的氧化铝浆料，依次进行流延成型、丝网印刷、热压、冷等静压、烧结，可以制备得到尺寸均匀、加工性能好、高致密、内部电介质层及加热层平整、吸附性能稳...

本发明提供了一种钴靶材EBSD检测的制样方法，所述制样方法包括将钴靶材切割成钴靶块；对所述的钴靶块依次进行第一研磨、第二研磨、第三研磨和抛光处理，得到抛光靶材；对所述的抛光靶材依次进行腐蚀处理、冲洗处理和吹干处理，完成钴靶材EBSD检测...

本发明涉及一种晶圆载具的返修方法，所述返修方法包括：对晶圆载具的晶圆放置面和背面分别依次进行第一抛光处理和第二抛光处理，得到抛光后的晶圆载具；对抛光后的晶圆载具依次进行第一清洗处理和平面度检测；对平面度检测后的晶圆载具进行热处理和变形检...

本技术提供了一种推车装置，所述推车装置包括推车本体，所述推车本体的一侧设置有把手；所述推车本体上设置有导轨，所述导轨上滑动连接有旋转装置和放置平台，所述旋转装置远离所述导轨的一侧设置有卡槽，所述卡槽用于放置并固定靶材的一端，所述放置平台...

本技术属于靶材孔位检测技术领域，公开了一种孔位实装检具，用于靶材孔位检查，孔位实装检具包括检具本体和检具组件，检具本体上设置有安装槽，检具组件包括若干个定位柱，若干个定位柱均设置于安装槽中，且定位柱与靶材的孔位一一对应设置，靶材装设于安...

本发明涉及一种同类型靶材组件的管理方法，具体涉及靶材领域，包括：将精加工所得靶材组件依次进行的第一厚度检测、第一抛光、喷砂、熔射、第二厚度检测、第二抛光、粗糙度检测、除锈、第一清洗、第三厚度检测、第二清洗和干燥，之后进行称重和包装；将厚...

本发明提供了一种加热丝矫形方法及零部件的制作方法，所述的矫形方法包括：S1：提供矫形夹具，所述矫形夹具包括矫形模板与按压板；S2：基于加热丝绕制形状，对所述矫形模板进行铣槽处理，形成连续弯折的导向槽；S3：将加热丝进行分段处理，得到若干...

本发明涉及一种铝钪合金的制备方法，所述制备方法包括：将铝原料和钪原料进行真空磁悬浮熔炼处理，得到铝钪合金液；将铝钪合金液进行低压铸造处理，所述低压铸造处理包括：将铸型模具底部的升液管插入装有铝钪合金液的坩埚中，然后在密闭坩埚内向铝钪合金...

本发明提供一种靶材组件的丝套安装方法，包括先后进行的钻孔和丝套安装；所述钻孔的深度贯穿于靶材组件的背板，并延伸至靶材组件的靶材内部；所述丝套安装的位置处于靶材内部，且采用的丝套为盲孔型自攻丝套；所述盲孔型自攻丝套包括丝套本体，所述丝套本...

本发明涉及一种靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)将靶材和背板分别进行机加工，所述靶材的外圆周向加工凸起，所述背板对应加工与所述凸起咬合的台阶，之后将靶材和背板进行装配，得到装配后的靶材组件；(2)将步骤(1)得到的所述...

本发明提供了一种铝制晶圆加热盘的焊接方法，先准备用于容纳铝制晶圆加热盘的定制包套，所述定制包套包括T型包套筒、第一盖板与第二盖板，所述第一盖板与所述第二盖板分别与所述T型包套筒的小开口与大开口相对应；然后将装配好的铝制晶圆加热盘封入定制...

本发明提供了一种合金靶材的整形方法，所述整形方法包括：对焊接后的合金靶材进行至少五级加压整形，且对合金靶材施加的整形压力逐级递增；所述合金靶材的上表面层叠放置有垫块和压块；所述合金靶材的下表面放置有垫圈。本发明在至少五级加压整形过程中施...

本发明提供了一种钛硅合金的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合钛原料和硅原料，进行磁悬浮熔炼，得到钛硅合金粗品；(2)对步骤(1)所述钛硅合金粗品进行真空感应熔炼，得到所述钛硅合金。本发明通过磁悬浮熔炼与真空感应熔炼相结合，能...

本发明提供了一种铝钛合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合铝粉与钛粉，得到混合粉：(2)将步骤(1)所得混合粉依次进行压实和真空热压烧结，得到所述铝钛合金靶材：所述真空热压烧结包括依次进行的第一加压处理、第一升温处理...

本发明提供一种304不锈钢的晶粒腐蚀与显示方法，所述晶粒腐蚀与显示方法包括如下步骤：(1)304不锈钢在水性砂纸上打磨至表面光亮；(2)打磨后的304不锈钢依次进行电解抛光处理和化学腐蚀处理后，用金相显微镜观察金相组织。本发明提供的30...

本发明提供了一种焊接靶材组件的后处理方法，所述后处理方法包括以下步骤：对靶材组件焊缝处依次进行第一擦拭清洗、第二擦拭清洗和第一干燥；对第一干燥后的靶材组件依次进行喷砂、第三擦拭清洗、第四擦拭清洗和第二干燥。所述后处理方法工艺简单，可以有...