一种铝钪合金的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种铝钪合金的制备方法，所述制备方法包括：将铝原料和钪原料进行真空磁悬浮熔炼处理，得到铝钪合金液；将铝钪合金液进行低压铸造处理，所述低压铸造处理包括：将铸型模具底部的升液管插入装有铝钪合金液的坩埚中，然后在密闭坩埚内向铝钪合金液的上表面通入气体，使铝钪合金液在气体压力的驱动下沿升液管进入铸型腔室，之后依次进行凝固和冷却，得到铝钪合金。本发明专利技术提供的制备方法能够得到致密、均匀且纯度较高的铝钪合金，并且减少铸造过程中的缺陷，避免大量车削去除缺陷，提高钪的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材制备，具体涉及一种铝钪合金的制备方法。

技术介绍

1、铝钪合金材料在保持与高纯铝相同的电导率、耐热性的基础上，铝钪合金能够数倍地改善薄膜材料的电子迁移和应力位移。在无线通讯设备领域，随着信号频率要求的不断提高，滤波器由sw器件向fbar器件升级，压电薄膜材料也正由氮化铝压电薄膜向铝钪氮化物压电薄膜过渡。相比于氮化铝压电薄膜，铝钪氮化物压电薄膜具有更高的压电常数，更好的压电性能以及更完美的半导体工艺兼容性，受到广泛关注。

2、由于铝钪合金中al和sc的熔点差异很大，形成的合金材料容易在熔炼浇铸过程中产生较多缺陷，导致后期需要车削大量合金以去除缺陷。而钪是一种稀缺的战略物资，在矿藏中分离非常困难，因此提高钪的利用率具有重要意义。

3、目前，铝钪合金靶材的制备方法很多。例如，粉末冶金法通常将铝粉和钪粉按比例混合均匀后，通过热压烧结制备得到均匀、致密的合金，但是存在氧含量超标的问题，一般粉末冶金法的氧含量＞2000ppm(业内要求氧含量≤200ppm)，进一步容易导致靶材表面生成绝缘氧化物，使靶材溅射速率下降，易起弧光，最本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铝钪合金的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述铝原料的纯度≥5N。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述钪原料的纯度≥5N。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述钪原料的质量占铝钪合金液质量的5-20％。

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述真空磁悬浮熔炼处理包括4-8次真空磁悬浮熔炼。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述真空磁...

【技术特征摘要】

1.一种铝钪合金的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述铝原料的纯度≥5n。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述钪原料的纯度≥5n。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述钪原料的质量占铝钪合金液质量的5-20％。

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述真空磁悬浮熔炼处理包括4-8次真空磁悬浮熔炼。

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，周友平，沈学峰，慕二龙，陈石，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：