一种铝钛合金靶材及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种铝钛合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合铝粉与钛粉，得到混合粉：(2)将步骤(1)所得混合粉依次进行压实和真空热压烧结，得到所述铝钛合金靶材：所述真空热压烧结包括依次进行的第一加压处理、第一升温处理、第一保温保压处理、第二升温处理、第三升温处理和第二加压处理。本发明专利技术先对混合粉进行压实，然后经真空热压烧结制备铝钛合金靶材，通过对混合粉进行压实处理，避免其内部存在孔洞，致密度偏低等问题；然后通过调控真空热压烧结的工艺步骤并结合各项工艺参数的控制，制得的铝钛合金靶材的致密度与纯度较高，内部组织结构优异，能够满足作为溅射靶材的高性能要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于靶材制备，尤其涉及一种铝钛合金靶材及其制备方法。

技术介绍

1、铝钛合金靶材中钛属于高温金属，而铝属于低熔点金属，这类熔点差异大的合金靶材通常是采用粉末冶金烧结方式制作靶坯。由于两种材料的熔点差异，在靶坯制作过程中会更容易出现温度等要求达不到致密化效果，以致于靶坯中通常产生较多的气孔、成分不均等微观缺陷，从而导致合金靶材的致密度低，无法达到磁控溅射的要求。

2、cn113564544a公开了一种铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括：按照靶材的元素比例进行金属单质粉末的混合，将混合后的粉末装入包套中进行冷压成型；然后将包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行一次热等静压处理，得到成型靶坯；将成型靶坯进行真空热处理，然后再次装入包套进行焊接、脱气；将脱气后的包套进行二次热等静压处理，得到铝合金靶材。其中，一次热等静压处理的时间为3～24h，真空热处理的时间为8～20h，一次热等静压处理的时间为3～24h，采取冷等静压+两步热等静压处理+真空热处理的相结合方法制备铝合金，工艺复杂、耗时长。

3、另外，铝钛合金靶材用于半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铝钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述铝粉的平均粒径＜45μm；

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合在保护性气体中进行；

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述压实为：将所得混合粉装入模具中进行压实；

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述第一保温保压处理的温度为300～350℃；

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，步...

【技术特征摘要】

1.一种铝钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述铝粉的平均粒径＜45μm；

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混合在保护性气体中进行；

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述压实为：将所得混合粉装入模具中进行压实；

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述第一保温保压处理的温度为300～350℃；

6.根据权利要求1-5...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，张怡忠，孙慧芳，吴东青，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：