本发明提供了一种长方形4N高纯铜背板及其制备方法，所述制备方法包括：准备4N高纯铜圆铸锭，在700‑900℃下预热之后，通过锻打将所述4N高纯铜圆铸锭打方，依次进行第一热处理、第一冷却、轧制、第二热处理、第二冷却、机加工，得到长方形4N...

本发明涉及一种含水道铜合金靶材组件的焊接方法，具体涉及焊接领域，所述焊接方法包括：对靶材和背板的焊接面均分别依次进行渗镍处理和等离子体活化，之后进行装配并采用电子束焊接对焊缝进行焊接。本发明提供的焊接方法，通过采用特定的渗镍处理和等离子...

本发明涉及一种镀镍针状散热板的阻焊方法，所述阻焊方法包括以下步骤：(1)在散热板上设计阻焊框的形状，根据阻焊框的形状绘制激光程序；(2)根据步骤(1)绘制的激光程序和设定的激光参数在散热板上进行阻焊，得到阻焊框。本发明提供的阻焊方法能够...

本发明涉及一种钨硅靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钨硅合金原料依次进行夯实装模、冷等静压处理和机加工，得到锭材；所述冷等静压处理包括依次进行的第一升压、第一保压、第二升压、第二保压、第三升压和第三保压；(2)将步骤(1...

本技术提供了一种靶材水道槽的加工夹具，所述加工夹具包括夹具本体，所述夹具本体的一侧表面同轴开设有阶梯型凹槽；所述阶梯型凹槽包括沿开槽封闭的方向依次设置的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽的深度小于所述第二凹槽的深度，所述第一凹槽的宽度大于...

本技术涉及半导体薄膜工艺技术领域，公开了一种溅射靶材检具，用于检测溅射靶材的安装孔深度，包括检测基件和定位测量件。检测基件能覆盖溅射靶材，避免操作时其他零件直接掉落砸伤溅射靶材，在检测基件上设有拟配孔，拟配孔溅射机台的安装孔的数量和位置...

本发明提供了一种AlN陶瓷基板及其制备方法与应用，所述制备方法包括：混合增塑剂、粘结剂和有机溶剂进行加热搅拌，得到混合溶剂；混合分散剂、烧结助剂和部分混合溶剂进行第一阶段混粉，得到第一混料；混合AlN粉末和第一混料进行第二阶段混粉，得到...

本发明提供了一种AlN陶瓷盘的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)湿法混合分散剂与烧结助剂，得到初混料；(2)混合AlN粉末与步骤(1)所得初混料，得到混合料；(3)混合有机溶剂、粘结剂以及步骤(2)所得混合料，得到混合浆料；(4...

本发明提供了一种镍硫合金的晶粒腐蚀方法，所述晶粒腐蚀方法包括对待检测合金依次进行一次打磨、二次打磨、电解抛光和腐蚀处理，得到合金样品，将所述合金样品放置于金相显微镜中观察并分析晶粒。在本发明中，通过对晶粒腐蚀方法的具体步骤设计，使得合金...

本发明涉及一种大尺寸氮化硅陶瓷的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：第一混合烧结助剂与分散剂，得到第一混粉；第二混合氮化硅粉末与第一混粉，得到第二混粉；第三混合粘结剂溶液与第二混粉，得到氮化硅浆料；使用氮化硅浆料进行喷雾造粒，得到球形粉...

本发明提供了一种氮化铝中碳含量的检测方法，所述检测方法包括对氮化铝样品预处理后，依次进行清洗处理和烘烤处理，得到待测样品；将助熔剂覆盖在所述的待测样品的表面后，放置于加热箱中进行碳含量检测；其中，所述加热箱的加热功率不低于5.5kW，所...

本发明属于靶材退火技术领域，公开了一种退火工装及靶材装夹方法。该退火工装包括底座、若干个分隔件和压紧件，底座沿第一方向即靶材的长度方向延伸，其上设置有限位件；若干个分隔件沿第一方向延伸，并活动地设置于底座，靶材竖向放置于分隔件与限位件之...

本发明提供了一种钨硅合金粉末的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合钨粉和硅粉，而后进行煅烧处理，得到钨硅合金；(2)球磨破碎处理步骤(1)所得钨硅合金，得到所述钨硅合金粉末；所述煅烧处理包括依次进行的一次煅烧、二次煅烧、三次煅...

本发明提供了一种半导体零部件腔体用6061铝合金及其制备方法和用途，所述制备方法将6061铝合金坯料依次进行均匀化退火、预热、锻造、固溶处理、冷却、冷压、时效处理，得到半导体零部件腔体用6061铝合金；其中，所述锻造得到厚度≥200mm...

本发明提供一种铝挤压模具的清理方法，所述清理方法包括将使用后的铝挤压模具依次浸入第一溶液和第二溶液中反应后，浸入清洗液中经超声波清洗，得到处理后的铝挤压模具；所述第一溶液包括质量浓度为70％～75％的氢氧化钠溶液；所述第二溶液包括如下质...

本发明提供了一种钛铌氧化物镀膜材料及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：混合五氧化三钛、五氧化二铌、粘结剂、增稠剂以及溶剂，得到浆料；使用浆料进行喷雾造粒，得到粒度D50在45μm以下的粉末；所得粉末经排胶后，使用冷等静压制成生...

本发明属于水压检测技术领域，公开了一种水压检测装置及背板水压测试方法。待检测背板包括主体部和环设于主体部外的凸缘。水压检测装置包括底座以及设置于底座的承托件和测试罩，承托件上设置有多个第一定位槽，多个第一定位槽在承托件上呈阶梯式自上而下...

本发明提供了一种辉光放电质谱检测铝样品中碳含量的制样方法及检测方法，所述制样方法包括：将高纯铝样品依次进行酸洗、水洗和氩离子抛光处理，得到待检测铝样品；所述酸洗和水洗交替进行至少三次；所述酸洗的酸洗液为硝酸、氢氟酸和水的混合溶液。所述制...

本发明属于包装设备技术领域，公开了一种真空包装机改造方法、真空包装机及其使用方法。该真空包装机改造方法先选择与待改造的真空包装机的规格相适配的气压控制件和/或流量控制件；然后将气压控制件和/或流量控制件安装于气体管路，气压控制件可调节气...

本发明提供一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，包括：(1)确定喷砂终止线的区域，测量靶材组件中背板的变形量；(2)在喷砂终止线的区域内粘贴至少1层胶带，记为垫高胶带，保证所述垫高胶带的总厚度大于背板的变形量；(3)在步骤(2)所述...